鍍膜機教學課程.ppt

新銳光學 常熟 有限公司 制三課鍍膜徐名泉 鍍膜機基礎知識 日本RAS 1100機臺 龍翩LP系列 第一課 鍍膜機的構造 鍍膜機時集機械 電子 光學為一體的高科技機器 成本相當高 在生産操作過程中一定要小心謹慎 每位人員都要知道鍍膜機的結搆及各部件之間的動作順序與條件 鍍膜機可分為五大系統(tǒng) 一 真空系統(tǒng)二 控制系統(tǒng)三 膜厚系統(tǒng) 監(jiān)控系統(tǒng) 四 蒸鍍系統(tǒng)五 輔助系統(tǒng) 一 真空系統(tǒng) 工作原理 真空繫統(tǒng)主要是利用壓強原理進行排氣工作 是通過 RPMPDp 的工作來進行壓強原理來排氣工作 真空系統(tǒng)簡單排氣圖 有以下組成 1 冷卻水桶身加熱器冷卻水電磁閥 2 GUN電子鎗冷卻水電磁閥 3 氧氣氣體注入電磁閥 4 ATMATM VAC真空狀態(tài)之顯示 5 加熱器顯示桶身加熱器是否動作 6 監(jiān)控片顯示監(jiān)控片目前位置 7 迴轉顯示桶身迴轉機構是否動作 8 轉速顯示桶身迴轉機構之轉速 9 SH1遮板開關1 10 SH2遮板開關2 11 Gun1無使用 12 Gun2Gun2坩鍋位置顯示 13 RV粗抽閥 14 RSV微粗抽閥 15 HV高真空閥 16 LV1洩氣閥1 17 LV2洩氣閥2 18 DP油擴散邦浦 19 FV前置閥 20 BP機械輔助邦浦 21 RP油迴轉邦浦 22 RLV管路洩氣閥 23 幫浦啟動主機啟動 24 關機關機 25 自動真空流程自動 26 手動真空流程手動 27 警報確認 28 主畫面按下此鍵將回至Screen1中英文選擇畫面 有上圖可知 真空系統(tǒng)由RP DP MV FV LV RV RLV及連接管組成真空是由各級泵浦的運轉工作完成的 抽氣可分為兩個過程 既 A 初抽 真空室 RV MP RP 大氣中B 主抽 真空室 MV DP FV MP RP 大氣中另外 初抽可分為兩個階段 既 A 真空室 RV PBV RP 大氣中B 真空室 RV MP RP 大氣中初抽主要是機械泵的工作 它利用壓強原理來達到抽氣的功能 真空系統(tǒng)有以下組成 RP 機械泵浦 MP 輔助泵浦 DP 擴散泵浦 RP 機械泵浦 工作原理 是靠改變氣缸的體積完成吸氣與排氣工作 氣體被分成兩部分 轉子並非繞著圓心鏇轉 這使吸氣鍴的體積不斷變化 吸氣壓縮與排氣過程是同時進行的 隨著轉子的不斷鏇轉 泵體的兩部分體積的變化 當排氣鍴壓力大于排氣口彈簧的壓力時 空氣分子不斷經RP排到大氣中 注意 RP內壁一定要保持清潔 光滑當機械泵浦裏麵有很多雜質或潤滑油的粘稠度的 否則 轉子很容易磨損 吸氣鍴子與排氣鍴不能完全隔離 造成RP排氣性能降低 RP性能差就是轉子不能與RP內壁完全吻閤 所以 泵浦油用到一定時間后要全部更換 RP油起著潤滑 冷卻與密封的作用 油位不能低于吸口的高度 在工作中要經常去確認RP油的油位 否則會造成機械泵浦燒壞的后果 MP 輔助泵浦 工作原理 是增大兩耑的壓力差使排氣速度加快 它用于初抽與精抽 最大壓力可達到10 4Torr 泵體內部使兩各8字型的轉子 兩個轉子緊密配閤在一起 轉子與轉子 轉子與泵體之間隻有0 2 0 3mm的極小空隙 MP 分解圖 注意 因轉子與轉子 轉子與泵體之間隻有0 2 0 3mm的極小空隙 所以平時要保持泵體內部的清潔度 不能有其它雜質 物 泵體內部沒有油的 油的主要作用是用來潤滑泵浦體的齒輪及軸承 如果有油機臺可能返油或者機械輔助泵浦體的油封磨損 在加註油之前必須讓機臺停下來 以及泵浦處于大氣狀態(tài)下 因為機臺在運轉時泵浦內部處于真空狀態(tài) 如果打開頂部油封會造成大量的油洩漏以及嚴重損壞泵浦 當泵浦停止且處于大氣壓狀態(tài)時 必須停止冷卻水否則當溫度很高時空氣的水分會凝固在泵浦裏 影響泵浦的極限壓力 旋片式真空泵工作原理 旋片式真空泵 簡稱旋片泵 是一種油封式機械真空泵 其工作壓強范圍為101325 1 33 10 2 Pa 屬于低真空泵 它可以單獨使用 也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵 它已廣泛地應用于冶金 機械 軍工 電子 化工 輕工 石油及醫(yī)藥等生產和科研部門 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體 若附有氣鎮(zhèn)裝置 還可以抽除一定量的可凝性氣體 但它不適于抽除含氧過高的 對金屬有腐蝕性的 對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體 旋片泵是真空技術中最基本的真空獲得設備之一 旋片泵多為中小型泵 旋片泵有單級和雙級兩種 所謂雙級 就是在結構上將兩個單級泵串聯起來 一般多做成雙級的 以獲得較高的真空度 旋片式真空泵工作原理 旋片泵的抽速與入口壓強的關系規(guī)定如下 在入口壓強為1333Pa 1 33Pa和1 33 10 1 Pa 下 其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95 50 和20 旋片泵主要由泵體 轉子 旋片 端蓋 彈簧等組成 在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子 轉子外圓與泵腔內表面相切 二者有很小的間隙 轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片 旋轉時 靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸 轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動 兩個旋片把轉子 泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A B C三部分 當轉子按箭頭方向旋轉時 與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的 正處于吸氣過程 而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的 正處于排氣過程 居中的空間B的容積也是逐漸減小的 正處于壓縮過程 由于空間A的容積是逐漸增大 即膨脹 氣體壓強降低 泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強 因此將氣體吸入 當空間A與吸氣口隔絕時 即轉至空間B的位置 氣體開始被壓縮 容積逐漸縮小 最后與排氣口相通 當被壓縮氣體超過排氣壓強時 排氣閥被壓縮氣體推開 氣體穿過油箱內的油層排至大氣中 由泵的連續(xù)運轉 達到連續(xù)抽氣的目的 如果排出的氣體通過氣道而轉入另一級 低真空級 由低真空級抽走 再經低真空級壓縮后排至大氣中 即組成了雙級泵 這時總的壓縮比由兩級來負擔 因而提高了極限真空度 DP 擴散泵 圖 水冷套 2 噴油嘴 3 導流管 4 泵殼 5 加熱器 控制系統(tǒng) F1界面 F