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1、 Q E S 文件編號(hào):EM-EO P-012 文件名稱(chēng) GM-012B 修訂日期 I版本 校訂版別:A 頁(yè)次/總頁(yè)次:1 / 7 清洗RENA機(jī)上下料臺(tái)滾輪 作業(yè)規(guī)范 修訂說(shuō)明 2014-11-26 新版制定 修訂部門(mén) 設(shè)備部 E S 文件編號(hào):EM-EO P-012 文件名稱(chēng) 頁(yè)次/總頁(yè)次:3 / 7 清洗RENA機(jī)上下料臺(tái)滾輪 作業(yè)規(guī)范 校訂版別:A GM-012B 1. 目的 保障RENA機(jī)的良好運(yùn)行,防止?jié)L輪臟污造成設(shè)備堵片,疊片以及油污等設(shè)備和工藝問(wèn) 題的出現(xiàn)。 2. 范圍 適用于電池車(chē)間制絨工序和刻蝕工序所有的 RENA設(shè)備。 3. 定義 4. 職責(zé) 5. 作業(yè)內(nèi)容 5.1作業(yè)前
2、準(zhǔn)備:戴好手套口罩,穿勞保鞋,無(wú)水乙醇一瓶,無(wú)塵紙,清洗滾輪小車(chē)。 如圖1所示。 Q E S 文件編號(hào):EM-EO P-012 清洗RENA機(jī)上下料臺(tái)滾輪校訂版別:A 文件名稱(chēng) 作業(yè)規(guī)范頁(yè)次/總頁(yè)次:11 / 7 圖1 防護(hù)用品:防護(hù)手套,防護(hù)口罩, 勞保鞋 所需工具:清洗滾輪小車(chē),無(wú)塵紙, 無(wú)水乙醇。 操作與溝通:設(shè)備技術(shù)員操作 作業(yè)時(shí)間:3min 注意事項(xiàng): 1、確認(rèn)瓶子內(nèi)確實(shí)是無(wú)水乙醇, 防止他人將其他液體倒入瓶子內(nèi) 5.2將設(shè)備停止:通知生產(chǎn)停止投片,待硅片走完后,在RENA機(jī)操作界面上點(diǎn)擊異常 停止按鈕,設(shè)備停止后轉(zhuǎn)到手動(dòng)模式,掛好設(shè)備維護(hù)牌,如圖2、3所示。 圖2 圖3 5.3拆下
3、上料臺(tái)滾輪中間和旁邊的固定擋桿的螺絲: 防護(hù)用品: 防護(hù)口罩,勞保鞋 無(wú) 所需工具: 作業(yè)時(shí)間: 操作與溝通:首先需要與生產(chǎn)和工藝 技術(shù)員溝通,由設(shè)備維護(hù)技術(shù)員進(jìn)行 作業(yè) 5min 注意事項(xiàng): 1.要確認(rèn)硅片已經(jīng)全部走出設(shè)備。 2設(shè)備維修牌確認(rèn)掛在設(shè)備顯示器前 面,防止員工誤操作設(shè)備。 拆螺絲時(shí),用手將螺絲逆時(shí)針旋轉(zhuǎn), 直到脫落,然后將固定擋桿拆下放在小車(chē)中。如圖 4、5、6、7所示。 GM-012B 圖4 圖5 訓(xùn) 圖6 圖7 Q E S 文件編號(hào):EM-EO P-012 文件名稱(chēng) 清洗RENA機(jī)上下料臺(tái)滾輪 作業(yè)規(guī)范 校訂版別:A 頁(yè)次/總頁(yè)次:4 / 7 圖8 小 -1 一嚴(yán) V 鑒3
4、H - 防護(hù)用品:防護(hù)口罩,防護(hù)手套,勞保鞋 所需工具:無(wú) 操作與溝通:設(shè)備技術(shù)員操作 作業(yè)時(shí)間:3min 注意事項(xiàng): 1. 確保螺絲不要掉到槽體內(nèi)。 2. 收好螺絲,不要丟失,避免安裝時(shí)缺少螺絲。 3.拆下的滾輪擋桿放在清洗小車(chē)中,以待清洗。 5.4拆下上料臺(tái)滾輪:拆下上料臺(tái)的滾輪時(shí),用手先提起滾輪的一頭使?jié)L輪與上料臺(tái)面 之間有個(gè)大約30度的夾角,另一只手握住滾輪中間,兩只手一起用力拔,拆下滾輪。 按順序拆裝,從外到內(nèi)依次拆下然后按順序放在清洗小車(chē)上。如圖8、9、10所示。 圖10 防護(hù)用品:防護(hù)手套,防護(hù)口罩,勞保鞋 所需工具:清洗滾輪專(zhuān)用小車(chē) 作業(yè)時(shí)間:3min 操作與溝通:設(shè)備技術(shù)員操
5、作 注意事項(xiàng): 1. 拆裝滾輪時(shí)需要輕拿輕放,防止?jié)L輪斷裂變形,拆下的滾輪按順序放在清洗小車(chē)中。 2. 清洗小車(chē)托盤(pán)中要放一層干凈的無(wú)塵紙做鋪墊,鋪滿整個(gè)小車(chē)托盤(pán)。 3. 后面拆下料臺(tái)滾輪手法于此相同。 5.5 清洗滾輪:用酒精無(wú)塵紙擦拭滾輪上面的灰塵及臟污,擦干凈后按照順序把滾輪放 好,順序不要弄亂。如圖11,12,13,14所示。 1 圖11 圖12 圖13 圖14 防護(hù)用品:防護(hù)口罩,防護(hù)手套,勞保鞋 所需工具:泡沫盒,酒精,無(wú)塵紙,清洗小車(chē) 操作與溝通:生產(chǎn)員工操作 作業(yè)時(shí)間:10min 注意事項(xiàng): 1. 在倒入酒精時(shí),不可倒的太猛,避免酒精飛濺進(jìn)入眼睛里。 2. 在清洗滾輪時(shí)要按照順
6、序一個(gè)一個(gè)的清洗,特別是有引導(dǎo)輪的滾輪,引導(dǎo)輪的粗細(xì)順序不能 弄亂。 3. 在清洗白色有引導(dǎo)輪的滾輪時(shí),注意不要用力過(guò)大,不要把引導(dǎo)輪擰掉。 5.6安裝上料臺(tái)滾輪:按照順序裝上滾輪,安裝滾輪時(shí),雙手一前一后握住滾輪,將滾 輪一頭對(duì)準(zhǔn)設(shè)備齒輪箱上的滾輪卡槽,使?jié)L輪頭上的銷(xiāo)釘嵌到轉(zhuǎn)子的凹槽中,用力 Q E S 文件編號(hào):EM-EO P-012 文件名稱(chēng) 清洗RENA機(jī)上下料臺(tái)滾輪 作業(yè)規(guī)范 校訂版別:A 頁(yè)次/總頁(yè)次:6 / 7 推滾輪,使?jié)L輪完全進(jìn)入轉(zhuǎn)子凹槽,再將滾輪另一頭放入滾輪支架的凹槽中,如圖 15、16、17、18 所示。 A 圖16 圖17 圖18 防護(hù)用品:防護(hù)手套,防護(hù)口罩,勞保鞋 所需工具:無(wú) 操作與溝通:需要設(shè)備技術(shù)員與工藝技術(shù)員確認(rèn)滾輪保持停止?fàn)顟B(tài),設(shè)備技術(shù)員操作 作業(yè)時(shí)間:3min 注意事項(xiàng): 1. 安裝滾輪前,需要確保滾輪是停止?fàn)顟B(tài); 2. 安裝滾輪時(shí),不可用力過(guò)猛,防止?jié)L輪變形斷裂,特別要注意滾輪節(jié)的粗細(xì)順序不能裝反(越 靠近工藝槽滾輪節(jié)越粗)。 3. 安裝完滾輪后,需要檢查滾輪是否安裝到位。 4. 后面在拆裝下料臺(tái)滾輪時(shí)拆裝滾輪手法于此相同。 5.7安裝上料臺(tái)滾輪擋桿及固定螺絲:安裝螺絲時(shí),把螺絲對(duì)準(zhǔn)螺絲孔,順時(shí)針旋轉(zhuǎn), 直到固定,如圖19, 20, 21所示。 圖19 HU s 圖20 圖21 防護(hù)用品:防護(hù)手套,防護(hù)口
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