難加工材料加工技術(shù)

1、針對難加工材料和加工方法的總結(jié)難加工材料的種類很多， 從金屬 到非金屬圍很廣。 從切削加工角度， 初步可分為如下幾 類：1. 高強(qiáng)韌類難加工材料這類材料主要包括超高強(qiáng)度鋼、鈦 合金 、高溫合金等， 其特點(diǎn)主要包括塑性高、韌性好、強(qiáng)度高、強(qiáng)化系數(shù)高、導(dǎo)熱系數(shù)低。在切削加工中，由于高強(qiáng)韌類難 加工材料的強(qiáng)度高，切削時(shí)的切削力大，不但刀具易磨損，而且切屑不易處理。同時(shí)，這類 材料的導(dǎo)熱系數(shù)很低，造成切削過程中切削溫度高，刀具易產(chǎn)生磨料磨損、 粘結(jié)磨損、 擴(kuò)散 磨損和氧化磨損。此外，切削加工時(shí)的切削表面和已加工表面硬化現(xiàn)象嚴(yán)重。對鈦、鎳、鈷 及其他合金，這類材料化學(xué)活性大、 親和性強(qiáng)，切削加工時(shí)易黏結(jié)

2、在刀具上，與刀具材料產(chǎn) 生化學(xué)、物理作用，元素相互擴(kuò)散。鈦合金廣泛應(yīng)用到汽車、化工、體育、醫(yī)學(xué)、建筑、礦 山、航空航天和軍事裝備中。超高強(qiáng)度鋼廣泛應(yīng)用到 火箭發(fā)動(dòng)機(jī)殼體、 飛機(jī)起落架、防彈鋼 板等性能有特殊要求的領(lǐng)域， 而且其使用圍正在不斷地?cái)U(kuò)大到建筑、 機(jī)械制造、 車輛和其它 軍用及民用裝 備。高溫合金廣泛應(yīng)用到航空航天、 工業(yè)燃?xì)廨啓C(jī)、汽車、化工設(shè)備、船舶、 原子能等。2. 高硬脆類難加工材料這類材料主要包括光學(xué)玻璃、硅片、瓷等。特點(diǎn)主要在于硬度高、脆性大， 其加工機(jī)制與高強(qiáng)韌類金屬材料有顯著差別。 這些材料由于耐磨性很好， 切削時(shí)起 磨料作用，故刀具主要承受磨料磨損，高速切削時(shí)也同時(shí)伴隨

3、著物理、化學(xué)磨損。此外，被 加工表面易產(chǎn)生裂紋以及邊緣破損 .這些缺陷將顯著降低零件的強(qiáng)度及使用壽命。主要應(yīng)用于主要應(yīng)用于照相器材、儀器儀表、光學(xué)儀器、醫(yī)療儀器，教學(xué)儀器、幻燈機(jī)、投影儀、紫 外分析儀、金融機(jī)具、機(jī)場燈具，軍工，科研院校、公安等。 硅片到應(yīng)用計(jì)算機(jī)領(lǐng)域、和太 陽能等。瓷廣泛應(yīng)用到電子、信息、航天、能源、軍事和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。3. 兼具高強(qiáng)韌和高硬脆類難加工材料這類材料主要包括金屬基復(fù)合材料、瓷基復(fù)合材料等。其特點(diǎn)主要包括具有高比強(qiáng)度、比模量，良好的導(dǎo)熱性、導(dǎo)電性、耐磨性、高溫性能， 低的線膨脹系數(shù)， 高的尺寸穩(wěn)定性等。 在復(fù)合材料的高效機(jī)械加工中會(huì)出現(xiàn)一些常規(guī)材料所 沒有的問題

4、，如增強(qiáng)相硬且脆 （或堅(jiān)韌 ），使刀具磨損大；某些基體材料韌且不導(dǎo)熱，加工時(shí) 產(chǎn)生的熱量不易散發(fā)，鉆刀具； 層壓復(fù)合材料在加工時(shí)極易分層等。根據(jù)這些特點(diǎn)，加工時(shí) 應(yīng)采取相應(yīng)的措施， 如選擇合適的刀具和合理的加工余量， 制定專門的加工工藝， 采取適當(dāng) 的加工潤滑和冷卻措施。并設(shè)計(jì)專用的加工夾具以保證加工質(zhì)量。對以上難加工材料還是主要用機(jī)械加工來實(shí)現(xiàn)， 下面詳細(xì)介紹加工方法， 實(shí)現(xiàn)難加工材料的 有效加工， 1. 關(guān)鍵在于優(yōu)選刀具材料：高性能高速鋼、新型硬質(zhì)合金、涂層刀具、瓷刀具、 CBN刀具和金剛石刀具； 2. 選擇合適的刀具幾何參數(shù)； 3. 采用適當(dāng)?shù)睦鋮s潤滑條件； 4. 采用 優(yōu)化的加工參數(shù)。

5、高速鋼 High speed steel ： 高速鋼可以鍛造，淬火前可以切削加工，強(qiáng)度高，所以廣泛用于齒輪刀具、螺紋刀具、拉刀 等復(fù)雜刀具。高性能高速鋼：增加 V、 Co、Al 、稀土等元素，提高高速鋼的性能。 高速鋼 M42：是當(dāng)前航空航天生產(chǎn)中應(yīng)用較廣泛的高性能高速鋼，Al 高速鋼 501：在加工高強(qiáng)度鋼等難加工材料時(shí)也具有良好的性能。 粉末冶金高速鋼：粉末冶金高速鋼無碳化物偏析，晶粒粉細(xì)小均勻，雜質(zhì)含量少， 抗彎強(qiáng) 度比冶煉高速鋼提高 2倍以上， 在600時(shí)的高溫硬度高出 23HRC，刀具壽命提高 0.5 2倍。 進(jìn)口牌號(hào) ASP2060、ASP2080 ，國產(chǎn)牌號(hào) M42-P 硬質(zhì)合金

6、 Cemented carbide ：當(dāng)前硬質(zhì)合金刀具材料的進(jìn)展主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面涂層技術(shù) ：涂層技術(shù)分為化學(xué)氣相涂層（ CVD）和物理氣相涂層（ PVD）。 涂層材料：傳統(tǒng)： C、N或O的二元化合物，如 TiC、TiN、Al 2O3 等。新型多元化合物： TiCN、TiAlN、TiCrN、AlCrN、TiAlSiN 氮化碳（ CNx）、氮化物等， 軟涂層刀具： MoS2、 WS2。涂層結(jié)構(gòu)：多層沉積、復(fù)合涂層、納米涂層，涂層數(shù)達(dá)2000層，每層厚度為 2.5nm 。細(xì)化晶粒 ：減小晶粒尺寸可以提高硬質(zhì)合金的硬度、耐磨性、韌性。 普通硬質(zhì)合金的晶粒尺 寸約 10微米以下，細(xì)晶粒 1微米、超

7、細(xì)晶粒 15；因后角大，前角不能過大，以保證刃口強(qiáng)度；采用大 螺旋角銑刀。 切削液 含極壓添加劑的油基切削液，但建議不含氯；高壓（100bar ）噴射冷卻液可成倍提高刀具耐用度。 注意：低速下 YT14和TC4 具有更強(qiáng)的粘接傾向， 易于發(fā)生粘接 磨損，因而YT14 的磨損率高于 YG8，含鈦刀具不適于加工鈦合金； 高速下 YG8和TC4的高元素 差別易于導(dǎo)致擴(kuò)散磨損， 因而 YT14的磨損率低于 YG8，含鈦刀具適于加工鈦合金； 含鈦刀具 不適于加工鈦合金的傳統(tǒng)不全面，需要補(bǔ)充修改。高溫合金及其加工技術(shù)刀具材料及使用條件： 拉刀、絲錐等：鈷高速鋼（M42） ， V=10m/min ；超細(xì)晶粒

8、硬質(zhì)合金、 涂層硬質(zhì)合金： V=3070m/min，硬度增高速度降低； Si3N4瓷， Sialon 瓷、 Al2O3+TiC復(fù)合 瓷、 SiC晶須增韌 Al2O3瓷（肯納 KY4300） ，V200m/min；（低速時(shí)磨損加劇） ，瓷刀具用于 半精加工；高含量 CBN刀具 刀具幾何參數(shù)： 車刀前角 10，后角 15左右；銑刀前角 10左右，后角 15左右，螺旋 角30 45； 瓷刀具、 CBN刀具務(wù)必采用負(fù)前角。切削液：高速鋼刀具采用水基切削液，以冷卻為主，防止刀具熱塑變形； 硬質(zhì)合金刀具采用極化切削油，抑制粘接、擴(kuò)散磨損； 瓷、 CBN刀具慎用切削液：利用工件熱軟化，使切削容易，刀具韌性差

9、，防止熱疲勞和激冷裂紋。高強(qiáng)度鋼加工技術(shù) 刀具材料選擇 高速鋼： Co高速鋼、 Al 高速鋼、粉末冶金高速鋼、涂層高速鋼；硬質(zhì)合金： 添加鉭、鈮或稀土元素 P 類合金、P 類涂層合金及 TiC基和Ti（C 、N） 基合金；瓷刀具： Al2O3 基瓷，如 Al2O3+TiC復(fù)合瓷 （ Si3N4 瓷效果不好 ） ；CBN刀具：低含量高強(qiáng)度材質(zhì)。 刀具幾何 參數(shù)要求刃部強(qiáng)度高，所以硬質(zhì)合金刀前角-2 -4 ，瓷和 CBN-10左右； 刀尖圓弧半徑：粗加工時(shí) 12 mm；精加工時(shí) 0.5 0.8mm。切削用量：切削速度是加工 45鋼時(shí)的30%左右， 強(qiáng)度越高，速度越低；高速鋼 apmax 時(shí)，瓷材料

10、會(huì) 產(chǎn)生脆性破壞； ap 220 mm/ s) 多次 重復(fù)走刀切割工藝 ,可以得到無 裂紋的精細(xì)切口?？尚牡热瞬捎?0.25 MPa 氧氣 作輔助氣體 ,用800 W 的連續(xù)波 CO2 激光 在厚度 13.5 mm 的氮化硅瓷上加工出 了直徑 0.72 mm的無損傷深孔 ,深徑比達(dá) 18.75 5 。 Tsai Chwan2Huei 等人提出 了基于裂紋加工單元的激光銑削方法,他們采用 CO2 和 Nd :YAG激光器對 Al2O3 瓷進(jìn)行了基于裂紋加工單元的激光銑削加工,并在 Al2O3 瓷零件上加工出了 形狀較復(fù)雜的型腔。研究結(jié)果表明 ,采用該方法進(jìn)行激光銑削所需要的功率比通常的方法低。

11、Henry Matt 等人對 TBC 瓷、聚晶金剛石、硬質(zhì)合金和不銹鋼等材 料的激光銑削 工藝進(jìn)行了試驗(yàn)研究。 為把激光加工技術(shù)更好地應(yīng)用于瓷加工中 ,人們還探討了激光預(yù)熱輔 助切 削或磨削等方法 , 其目的是增強(qiáng)瓷被加工部位的韌性 ,以達(dá)到降低切削或磨削 力、提高 加工效率和質(zhì)量等目的。 I. D.Marinescu 等人對 Al2O3 、Ferrite 、 ZrO2 和Si3N4 4 種材 料進(jìn)行了激光預(yù)熱磨削試驗(yàn) ,發(fā)現(xiàn)激光預(yù)熱磨削不僅能減少磨削過程中溫度的影響作用 , 而且還能降低瓷的硬度 , 增大去除量而不引起 磨削裂紋。美國Purduce 大學(xué)的 C. J . Rozzi 等 人對

12、激光輔助切削工程瓷技 術(shù)進(jìn)行了研究 ,建立了激光輔助切削 ZrO2 、 Si3N4 等瓷 材料 的瞬時(shí)三維溫度場 傳遞的物理、數(shù)學(xué)模型 ,并總結(jié)出了相應(yīng)的加工規(guī)律。2. 超聲加工工程瓷 與電火花加工、 電解加工、 激光加工等 特種加工 技術(shù)相比 ,超聲加工既不 依 賴于 材料的 導(dǎo)電性 , 又沒有熱物理作用 ,加工后工件表面無組織改變、殘余應(yīng)力及 燒傷等現(xiàn)象等發(fā)生 ;加工過程中宏觀作用力小 ,適合于加工不導(dǎo)電工程瓷。T. B. THOE 等人對超聲加工 Al2O3 、ZrO2 、SiC 等瓷的工藝規(guī)律和加工機(jī)理進(jìn)行了研究 ,給出了的研究結(jié)果 ,并用超聲加工技術(shù)在 Si3N4 瓷上加工出了 航空

13、航天用的渦輪葉片。 研究資料表明， 采用 超聲磨削工程瓷時(shí) ,當(dāng)磨削深度小于某臨界值時(shí) ,工程 瓷的去除機(jī)理與金屬磨削相似 ,工件材 料在磨刃的作用下通過塑性流動(dòng)形成切屑 ,避免了較深變質(zhì)層的形成 ,塑性磨削可以獲得 Ra 0. 01 m 的表面質(zhì)量。 超 聲磨削工程瓷的優(yōu)點(diǎn)是加工效率比普通磨削高一倍以上,可采用較大的磨削用 量 ,能有效防止砂輪堵塞 ,減少砂輪的修整時(shí)間。3. 3.電火花加工工程瓷 在用電火花工藝加工工程瓷方面 ,日本長岡技術(shù)科學(xué)大學(xué)福澤康與 豐田工 業(yè)大學(xué)毛利尚武的研究成果最具有代表性,他們提出了用輔助電極的方法加工絕緣瓷材料。 該方法是利用放置在瓷表面的金屬輔助電極被擊穿

14、放電時(shí)的熔化 和碳化等作用 , 來形成絕緣瓷表面的導(dǎo)電層以進(jìn)行電火花加工的。此后 ,他們又 探討了采用物理蒸汽沉積TiN 來形成絕緣瓷表面導(dǎo)電層的電火花加工方法,以 及用廉價(jià)的石墨膠體溶液涂敷在工件表面 , 經(jīng)過烘干等工序形成輔助電極的方法。 Apiwat Muttamara 等人用普通電火花成形機(jī)和輔助電極電火花加工系統(tǒng)相結(jié)合,以直徑 45m 銅鎢電極在 0. 3 mm 厚的 Si3N4 瓷工件上成功地加工出了 直徑 55 m 的微孔。4. 電解電火花復(fù)合加工 絕緣工程瓷電解電火花復(fù)合加工時(shí) , 工具電極和輔助電極分別接 電源的 負(fù)、 正極 ,工作液為電解液 , 由電解液的導(dǎo)電作用和電化學(xué)反

15、應(yīng)來形成火花放電的 條件 ,達(dá)到放電蝕除加工的目的。 永紅等人提出了絕緣瓷 材料的 充氣電解電火花復(fù)合加工方 法 ,研究結(jié)果 表明該加工方法具有生產(chǎn)率高和能耗小等優(yōu)點(diǎn)。 B. Bhattacharyya 等人使用 NaOH 溶液作電解液對高純 Al2O3 的加工試驗(yàn)發(fā)現(xiàn) ,加工電壓越高材料去除速度越高 ,但 微裂紋和其他缺陷也相應(yīng)增加 ;電解液濃度越高材料去除率越高 ,但過切 現(xiàn)象也越嚴(yán)重。 試 驗(yàn)顯示能夠同時(shí)獲得較高材料去除率和尺寸精度的加工參數(shù)為 : 加工電壓 80 V 左右 ,電解 液是 NaOH 質(zhì)量分?jǐn)?shù)為 40 %的溶液。另外 ,工具電極的尖 端形狀也是影響電解電火花復(fù)合 加工的一個(gè)

16、重要因素 ,端部為錐形尖端形狀的電 極要比端部為圓柱形的加工效果好。5. 等離子弧切割 等離子弧切割可加工所有導(dǎo)電材料 , 生產(chǎn)成本低、切割速度快、生產(chǎn)率高。 對于非金屬可以采用非轉(zhuǎn)移型等離子弧進(jìn)行切割 ,非轉(zhuǎn)移型等離子弧在切割時(shí)陽 極斑點(diǎn)在 噴嘴上 ,大量熱能經(jīng)水冷散失 ,因此能量利用率低。 由于受弧柱形態(tài)及溫 度場分布限制 ,該加 工技術(shù)很難勝任較大厚度工件的切割。理工大學(xué)進(jìn)行了 絕緣瓷材料附加陽極等離子弧切割 技術(shù)的研究工作 , 其基本原理是在被加工 瓷件下方設(shè)置一個(gè)附加電極 ,利用陰極與附加電極 之間產(chǎn)生的等離子弧進(jìn)行切割 加工。他們用該方法對 6 mm 厚的Al2O3 瓷板進(jìn)行了切割

17、試 驗(yàn),得到了上口寬 5. 0 mm , 下口寬4. 7 mm , 切口角 2. 9 的光滑切口。二、高能束加工在航天材料中 的應(yīng)用 世界各工業(yè)發(fā)達(dá)國家把高能束流譽(yù)為 “21 世紀(jì)加工技 術(shù)”，它是當(dāng)今科技 與制造技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物， 是制造工藝發(fā)展的前沿領(lǐng)域和重要方向， 也 是航空工 業(yè)必不可少的 特種加工 技術(shù)。 高能束流加工是高能量密度束流實(shí)現(xiàn)對材料和構(gòu)件 加工的新鮮型 特種加工 方法，可以用于焊接、切割、打孔、噴吐、刻蝕、表面改 性處理。 高能束正朝著高精度、大功率、高速度及自動(dòng)控制與組合化加工方向發(fā) 展。1 激光加工 激光加工就是利用材料在激光照射下瞬時(shí)急劇熔化和氣化， 并產(chǎn)生強(qiáng)烈的沖

18、 擊波，使熔化物包扎爆炸式地噴射和去除來實(shí)現(xiàn)加工。 激光打孔是最早實(shí)用化的 激光加工， 加工圍（ 0.05 8）mm ，主要應(yīng)用于小孔、窄縫等微細(xì)加工，如圖2 所示。在飛機(jī)機(jī)翼上打5 萬個(gè)直徑為 0.064mm 的小孔，可以大大減小氣流對飛機(jī) 的阻力，取得節(jié)油 40% 的良 好效果。迄今為止，激光束是發(fā)動(dòng)機(jī)冷卻孔系加 工的首先工藝；同時(shí)歐洲一些國家，利用 激光對航天器機(jī)身等一些特種 材料的 焊 接基本取代了傳統(tǒng)的焊接工具和方法。2 電子束加工技術(shù) 電子束加工是在真空條件下，利用電子槍中產(chǎn)生的電子經(jīng)加速、聚焦， 形成 高能量密度的極細(xì)束流， 以及高的速度轟擊工件被加工部位， 使動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能 而

19、導(dǎo) 致該部位的材料在極短的時(shí)間達(dá)到幾千攝氏度以上的高溫， 從而引起該處 材料的 熔化或蒸 發(fā)。其中電子束焊槍可用于航天發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪泵、活門等系統(tǒng)采用 由薄壁膜片（最薄厚度為 0.01mm ）焊接而成膜片組，最后焊接成的有靜密封 環(huán)組成以及薄壁多層波紋管與圓盤、 殼體焊接組成的波紋管組件。 這些組件都是 發(fā)動(dòng)機(jī)的關(guān)鍵件， 結(jié)構(gòu)特殊且均為薄壁件焊接， 焊后尺寸要求高。普通焊接法熱 輸入大，變形大，同時(shí)受結(jié)構(gòu)的限制難以加工，而電子束 焊接正好發(fā)揮了這一方 面的優(yōu)勢，使焊接質(zhì)量滿足了設(shè)計(jì)技術(shù)要求。同時(shí)電子束還可鉆制 深徑比為 20： 1 的微孔，鉆空還可是斜空和彎孔。3 磨粒流加工 磨粒流加工（ Abr

20、asive Flow Machining ，簡稱 AFM ）是通過磨料流運(yùn)動(dòng)且無 研具約束， 因而能根據(jù)與工件的接觸情況自動(dòng)地調(diào)整吃刀量（切削深度） ，并使 磨粒切削方位隨機(jī)變換易于保持磨粒的銳利性， 從而實(shí)現(xiàn)微量切削形成高質(zhì)量的 加工表面。 該工藝在 美國及其他國家的航天領(lǐng)域應(yīng)用較為普遍，解決了精密復(fù)雜 零件主要采用的技術(shù)有超聲振 動(dòng)磨粒流加工、磁磨粒流加工等。根據(jù)國外磨粒 流加工現(xiàn)狀，西南科技大學(xué)聯(lián)合中國燃?xì)?渦輪研究院， 在國家高技術(shù)研究發(fā)展 計(jì)劃的支持下， 課題編號(hào) 2002AA421220 ，利用振 動(dòng)原理共同研制了三維振動(dòng)強(qiáng) 化拋光裝置， 實(shí)現(xiàn)對異型曲面的高效、 低成本強(qiáng)化拋光加工

21、。 三維振動(dòng)強(qiáng)化拋光裝置，工作原理是通過電激振振動(dòng)臺(tái)，使零件與強(qiáng)化拋光 磨流介質(zhì)之間 產(chǎn)生碰撞、摩擦，徹底改變零件微觀不平度，且形成穩(wěn)定的殘余應(yīng) 力，可部分或完全消除 結(jié)構(gòu)應(yīng)力集中，達(dá)到提高零件的抗疲勞強(qiáng)度、抗裂性、硬 度，從而提高工件使用壽命振動(dòng) 強(qiáng)化拋光加工。在實(shí)際使用中出現(xiàn)的低效率、低 壽命、低抗疲勞強(qiáng)度等關(guān)鍵技術(shù)。結(jié)束語 絕緣工程瓷因其獨(dú)特的力學(xué)、 化學(xué)、聲學(xué)和電學(xué)等性能 , 在現(xiàn)代工業(yè)中得 到了 日益廣泛 的應(yīng)用 ,同時(shí)對其制品的加工精度和表面質(zhì)量的要求也越來越高。 采用單獨(dú)的機(jī)械加工方法或單一的 特種加工 方法 ,都難以圓滿實(shí)現(xiàn)其加工要求 , 這就要求人們在對絕緣工程 瓷材料的 機(jī)

22、械磨削、激光加工、超聲加工和電火花 加工的加工工藝、加工機(jī)理進(jìn)行研究的 同時(shí) ,更多地注重于研究開發(fā)復(fù)合加工技術(shù) ,尤其是電火花、電化學(xué)等和機(jī)械磨削相復(fù)合的加工技術(shù)的研究開發(fā)工作。 特種加工 技術(shù)伴隨著我國航天的發(fā)展而逐步壯大，起到的作用 有目共睹， 由 于 特種加工 技術(shù)具有其它常規(guī)加工技術(shù)無法比擬的優(yōu)點(diǎn)， 已成為航天制造技 術(shù)的 重要支撐和關(guān)鍵技術(shù)。 為了保證航天技術(shù)的可靠性， 進(jìn)一步掌握 特種加工 的加工 規(guī)律， 實(shí)現(xiàn)零件加工質(zhì)量的零缺陷十分重要。復(fù)合加工技術(shù)的研究開發(fā)是進(jìn)一步 擴(kuò)大 特種加工 技 術(shù)在航天技術(shù)應(yīng)用。2 鈦合金使用特種加工方法（1）電化學(xué)加工 適用于各種沖、壓、鍛模及三維

23、成型曲面的加工。電化學(xué)加工的特點(diǎn) 加工的質(zhì)量高，無機(jī)械切削力，工件表面無殘余應(yīng)力、飛邊、毛刺和棱角；一次完成加工， 加工的面積大，效率高；對環(huán)境有一定的污染。電火花線切割 適用于各種沖模及二維曲面的成型截割。 電火花線切割的特點(diǎn) 電火花加工是通過工件和工具電極間的放電而有控制地去除工件材料， 以及使材料變形、 改 變性能或被鍍覆的特種加工。其中成形加工適用于各種孔、槽 模具，還可刻字、表面強(qiáng)化、 涂覆等；切割加工適用于各種沖模、 粉末冶金模及 工件， 各種樣板、磁鋼及硅鋼片的沖片， 鉬、鎢、半導(dǎo)體或貴重金屬。激光加工 精密加工小孔、窄縫及成形切割、刻蝕激光加工的特點(diǎn)1 ）幾乎可以加工所有的金屬

24、和非金屬材料。2 ）可進(jìn)行微細(xì)和精密加工：激光能聚焦成極小的光斑，如微細(xì)窄縫和微型孔的加工。3 ）遠(yuǎn)離激光器的隔離室或其它地點(diǎn)進(jìn)行加工：可用反射鏡將激光束進(jìn)行傳輸。4 ）無需用刀具，屬于非接觸加工，無機(jī)械加工變形。5 ）無需加工工具和特殊環(huán)境， 便于自動(dòng)控制連續(xù)加工， 加工效率高， 加工變形和熱變形小。 電子束加工 在各種難加工材料上打微孔、切縫、蝕刻、暴光、焊接 電子束加工特點(diǎn)1）極其微細(xì)地聚焦 （可達(dá)l 0.1 m），進(jìn)行微細(xì)加工。2）加工材料的圍廣。能量密度高，可使任何材料瞬時(shí)熔化、汽化且機(jī)械力的作用極小，不 易產(chǎn)生變形和應(yīng)力，能加工各種力學(xué)性能的導(dǎo)體、半導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料。3）加工在真空中進(jìn)行，污染少，加工表面不易被氧化。4）需要整套的專用設(shè)備和真空系統(tǒng)，價(jià)格較貴，應(yīng)用受到一定程度的限制。 離子束加工 對零件表面進(jìn)行超精密、超微量加工、拋光、蝕刻、攙雜、鍍覆 離子束加工特點(diǎn)1）是當(dāng)前特種加工中最精密、最微細(xì)的加工。離子刻蝕可達(dá)納米級(jí)精度，離子鍍膜可控制 在亞微米級(jí)精度，離子注入的深度和濃度亦可精確地控制。2）在高真空中進(jìn)行，污染少，特別適宜于對易氧化的金屬、合金和半導(dǎo)體材料進(jìn)行加工。3）是靠離子轟擊材料表面的原子來實(shí)現(xiàn)的，是一種微觀作用，加工應(yīng)力和變形極小，適宜 于對各種材料和低剛件零件進(jìn)行加工。水射流切割 在各