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1、目錄第一章基本光學(xué)測(cè)試技術(shù)2第二章 光學(xué)準(zhǔn)直與自準(zhǔn)直5第三章 光學(xué)測(cè)角技術(shù)9第四章:光學(xué)干涉測(cè)試技術(shù)13第六章:光學(xué)系統(tǒng)成像性能評(píng)測(cè)17第一章 基本光學(xué)測(cè)試技術(shù) 對(duì)準(zhǔn)、調(diào)焦的定義、目的; 對(duì)準(zhǔn)又稱橫向?qū)?zhǔn),是指一個(gè)對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)(?)與比較標(biāo)志(?)在垂直瞄準(zhǔn)軸(?)方向像的重合或置中。例:打靶、長(zhǎng)度度量 人眼的對(duì)準(zhǔn)與未對(duì)準(zhǔn): 對(duì)準(zhǔn)的目的:1.瞄準(zhǔn)目標(biāo)(打靶); 2.精確定位、測(cè)量某些物理量(長(zhǎng)度、角度度量)。 調(diào)焦又稱縱向?qū)?zhǔn),是指一個(gè)目標(biāo)像(?)與比較標(biāo)志(?)在瞄準(zhǔn)軸(?)方向的重合。 人眼調(diào)焦:調(diào)焦的目的 :1.使目標(biāo)與基準(zhǔn)標(biāo)志位于垂直于瞄準(zhǔn)軸方向的同一個(gè)面上,也就是使二者位于同一空間深度;
2、 2.使物體(目標(biāo))成像清晰; 3.確定物面或其共軛像面的位置定焦。 人眼調(diào)焦的方法及其誤差構(gòu)成; 常見(jiàn)的調(diào)焦方法有清晰度法和消視差法。清晰度法是以目標(biāo)與比較標(biāo)志同樣清晰為準(zhǔn)。調(diào)焦誤差是由于存在幾何焦深和物理焦深所造成的。消視差法是以眼鏡在垂直平面上左右擺動(dòng)也看不出目標(biāo)和標(biāo)志有相對(duì)橫移為準(zhǔn)的。誤差來(lái)源于人眼的對(duì)準(zhǔn)誤差。(消視差法特點(diǎn):可將縱向調(diào)焦轉(zhuǎn)變?yōu)闄M向?qū)?zhǔn); 可通過(guò)選擇誤差小的對(duì)準(zhǔn)方式來(lái)提高調(diào)焦精確度; 不受焦深影響 ) 對(duì)準(zhǔn)誤差、調(diào)焦誤差的表示方法; 對(duì)準(zhǔn)誤差的表示法 :人眼、望遠(yuǎn)系統(tǒng)用張角表示; 顯微系統(tǒng)用物方垂軸偏離量表示; 調(diào)焦誤差的表示法 :人眼、望遠(yuǎn)系統(tǒng)用視度表示; 顯微系統(tǒng)用
3、目標(biāo)與標(biāo)志軸向間距表示; 常用的對(duì)準(zhǔn)方式; 常見(jiàn)的對(duì)準(zhǔn)方式有壓線對(duì)準(zhǔn),游標(biāo)對(duì)準(zhǔn),夾線對(duì)準(zhǔn),叉線對(duì)準(zhǔn),狹縫叉線對(duì)準(zhǔn)或狹縫夾線對(duì)準(zhǔn)。 光學(xué)系統(tǒng)在對(duì)準(zhǔn)、調(diào)焦中的作用; 提高對(duì)準(zhǔn)、調(diào)焦精度,減小對(duì)準(zhǔn)、調(diào)焦誤差。 提高對(duì)準(zhǔn)精度、調(diào)焦精度的途徑; 使用光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn),調(diào)焦;光電自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、光電自動(dòng)調(diào)焦; 光具座的主要構(gòu)造; 平行光管(準(zhǔn)直儀) ;帶回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡(前置鏡);透鏡夾持器 ;帶目鏡測(cè)微器的測(cè)量顯微鏡 ;底座 平行光管的用途、簡(jiǎn)圖;作用是提供無(wú)限遠(yuǎn)的目標(biāo)或給出一束平行光。簡(jiǎn)圖如下: 三種自準(zhǔn)直目鏡的光路簡(jiǎn)圖; 高斯式自準(zhǔn)直目鏡如下圖1虛線框中所示:圖1阿貝式自準(zhǔn)直目鏡如下圖2虛線框中所
4、示:圖2雙分劃板式自準(zhǔn)直目鏡如下圖3虛線框中所示:圖3 自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡、自準(zhǔn)直顯微鏡(構(gòu)成、光路簡(jiǎn)圖);自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡由自準(zhǔn)直目鏡,物鏡和平面鏡構(gòu)成,由不同的自準(zhǔn)直目鏡構(gòu)成的自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡的光路簡(jiǎn)圖如圖1、2、3所示自準(zhǔn)直顯微鏡由自準(zhǔn)直目鏡,物鏡和球面鏡構(gòu)成。將自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡中的平面鏡換成球面鏡即是自準(zhǔn)直顯微鏡。 放大率法的原理簡(jiǎn)圖及測(cè)量裝置; 原理簡(jiǎn)圖:測(cè)量裝置:光具座(光源、波羅板、平行光管、測(cè)量顯微鏡) 放大率法焦距測(cè)量計(jì)算; 放大率法焦距測(cè)量中的注意事項(xiàng); 負(fù)透鏡(測(cè)量顯微鏡工作距離) 光源光譜組成(色差) 被測(cè)鏡頭像質(zhì) 近軸焦距與全口徑焦距(球差)、測(cè)量顯微鏡NA 第二章 光學(xué)準(zhǔn)直與自準(zhǔn)直
5、準(zhǔn)直、自準(zhǔn)直的概念; 準(zhǔn)直:獲得平行光束 自準(zhǔn)直:利用光學(xué)成像原理,使物和像都在同一個(gè)平面上并重合的方法 準(zhǔn)直的目的、用途; 獲得平行光束 實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直的方法; 激光束:很好的方向性、很高的亮度,是直線性測(cè)量的理想光束 進(jìn)一步提高激光束準(zhǔn)直性(平行性),可采用激光束的準(zhǔn)直技術(shù) 利用倒裝望遠(yuǎn)鏡法,實(shí)現(xiàn)激光束的準(zhǔn)直 自準(zhǔn)直儀的類別; 自準(zhǔn)直儀一般指自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡和自準(zhǔn)直顯微鏡。 實(shí)現(xiàn)自準(zhǔn)直的方法; 自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡法測(cè)量平行差的原理; 實(shí)質(zhì)上是測(cè)量透明玻璃平板平行度的自準(zhǔn)直原理。 什么是第一平行差、第二平行差; 第一光學(xué)平行差I(lǐng):棱鏡展開(kāi)后的玻璃板在主截面內(nèi)的不平行度誤差,是由于棱鏡主截面內(nèi)的角度誤差引起的
6、。 第二光學(xué)平行差I(lǐng) I:棱鏡展開(kāi)后的玻璃板在垂直于主截面方向上的不平行度誤差,是由棱鏡的各個(gè)棱不平行而造成的,也稱棱差或塔差。 直角棱鏡DI-90 光學(xué)平行差測(cè)量原理; 自準(zhǔn)直顯微鏡法測(cè)量球面曲率半徑的原理、簡(jiǎn)圖;凹面鏡:凸面鏡: 即測(cè)量方法為移動(dòng)自準(zhǔn)直顯微鏡使之分別定焦在被測(cè)球面的圓心和定點(diǎn)處,兩次聚焦自準(zhǔn)直顯微鏡移動(dòng)的距離即為球面曲率半徑。 自準(zhǔn)直顯微鏡法測(cè)量透鏡頂焦距的原理、簡(jiǎn)圖; 自準(zhǔn)直顯微鏡法一般不用于測(cè)負(fù)透鏡的焦距、頂焦距 第三章 光學(xué)測(cè)角技術(shù) 精密測(cè)角儀的主要部件關(guān)鍵部件及其作用; 自準(zhǔn)直前置鏡(瞄準(zhǔn)、定位) 平行光管(產(chǎn)生無(wú)限遠(yuǎn)的瞄準(zhǔn)標(biāo)記:狹縫、分劃線等) 精密軸系(圍繞旋轉(zhuǎn)
7、中心平穩(wěn)旋轉(zhuǎn),圓錐軸系、圓柱軸系、空氣靜壓軸系) 圓分度器件(角度基準(zhǔn)) 顯微讀數(shù)系統(tǒng)(將被測(cè)角與度盤進(jìn)行比較,得到角度值) 常見(jiàn)的圓分度器件; 最常用的是度盤,其他的還有多面體、圓光柵、光學(xué)軸角編碼器、感應(yīng)同步器等。 符合成像系統(tǒng)與對(duì)徑讀數(shù)法的用途; 為消除度盤分度圓中心與旋轉(zhuǎn)軸中心不能完全重合帶來(lái)的偏心誤差,可利用在度盤直徑兩端取得讀數(shù)后取平均值的方法,稱為對(duì)徑讀數(shù)法。所采用的光學(xué)讀數(shù)系統(tǒng)為符合成像系統(tǒng)。 符合成像系統(tǒng)使得對(duì)徑刻線的像能夠在同一視場(chǎng)內(nèi)出現(xiàn),并位于分界線兩側(cè)。 如何減小或消除自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡的視差? 如何減小或消除平行光管分劃面的離焦? 掌握至少一種基于測(cè)角儀的棱鏡角度測(cè)量方法;
8、 棱鏡角度測(cè)量(方法1) 測(cè)量步驟:如圖所示當(dāng)光線和被測(cè)鏡的AB面垂直時(shí),自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡看到自準(zhǔn)直現(xiàn)象,轉(zhuǎn)過(guò)一個(gè)角度后,光線垂直于AC,再次觀察到自準(zhǔn)直現(xiàn)象。望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)過(guò)的角度和A角有確定的幾何關(guān)系。棱鏡角度測(cè)量(方法2、3) 相似的,如圖所示光路,自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡會(huì)先后兩次觀察到自準(zhǔn)直現(xiàn)象,自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)過(guò)的角度是角A的2倍。如上圖所示光路,望遠(yuǎn)鏡中會(huì)觀察到平行光管分劃板的像和望遠(yuǎn)鏡分劃板的像重合,轉(zhuǎn)動(dòng)載物臺(tái)再次觀察到重合現(xiàn)象,轉(zhuǎn)過(guò)的角度和角A互補(bǔ)。 V棱鏡法折射率測(cè)量原理及精度水平;測(cè)量原理光路圖如下圖所示: 測(cè)量不確定度可達(dá)到 V棱鏡折光儀的主要構(gòu)造;平行光管 、 V棱鏡、對(duì)準(zhǔn)望遠(yuǎn)鏡 、度盤 、
9、讀數(shù)顯微鏡 折射液的作用; 排除V棱鏡和待測(cè)透鏡之間的空氣,從而提高測(cè)量精度。 光學(xué)玻璃折射率測(cè)量的其它方法及精度水平;最小偏向角法(了解) 精度高,測(cè)量不確定度可達(dá)10-6任意偏向角法(了解) 精度高,測(cè)量不確定度可達(dá)10-6 鏡頭焦距測(cè)量的其它方法; 精密測(cè)角法測(cè)量物鏡焦距:測(cè)量原理光路圖:測(cè)量裝置圖:第四章:光學(xué)干涉測(cè)試技術(shù) 干涉測(cè)量的用途、特點(diǎn);用途:光學(xué)面形檢驗(yàn):平面、球面、二次曲面角度偏差檢驗(yàn):楔鏡、棱鏡、角錐玻璃材料均勻性(折射率)球面曲率半徑測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)波像差:有限共軛,無(wú)限共軛 測(cè)量精度高??蛇_(dá)到幾分之一或幾十分之一光波長(zhǎng) 時(shí)間相干性、空間相干性的實(shí)質(zhì);由于光源的非單色性(頻
10、譜展寬),干涉條紋對(duì)比度會(huì)下降,降低程度與兩相干光波的傳播時(shí)間差有關(guān)。把這種因頻譜展寬引起的相干性問(wèn)題稱為時(shí)間相干性。 通常擴(kuò)展光源上不同的點(diǎn)發(fā)出的光是不相干的,不同點(diǎn)源產(chǎn)生的干涉條紋的非相干疊加會(huì)導(dǎo)致條紋對(duì)比度下降,降低程度與擴(kuò)展光源的空間大小有關(guān)。把這種因光源的空間擴(kuò)展引起的相干性問(wèn)題稱為空間相干性。 等傾干涉、等厚干涉;等傾干涉 (分振幅) :(指相對(duì)于平板法線的傾斜角度相等的入射光線(或反射光線)將發(fā)生干涉。)等厚干涉(分振幅): 影響干涉條紋對(duì)比度的因素; 時(shí)間相干性與空間相干性 ;相干光束的光強(qiáng) ;相干光束的振動(dòng)方向;雜散光 ;振動(dòng)、空氣擾動(dòng) 牛頓干涉儀簡(jiǎn)圖、時(shí)間相干性、空間相干性
11、討論; 牛頓環(huán)的特點(diǎn)、球面曲率半徑估算; 特點(diǎn):零光程暗紋(相位躍變,光疏到光密的反射有相位躍變); 同心圓環(huán)狀條紋; 條紋內(nèi)疏外密;上式可以用來(lái)球面曲率半徑,各字母代表的含義如上圖所示。 干涉法楔角測(cè)量及楔角方向判斷; 楔角 ,其中是條紋間距。楔角方向判斷:上移上層玻璃板,條紋向空氣層稀薄的方向移動(dòng)。 邁克爾遜干涉儀、泰曼干涉儀、菲索干涉儀的特點(diǎn)與區(qū)別; 邁克爾遜干涉儀,采用準(zhǔn)單色擴(kuò)展光源(面光源),需要加補(bǔ)償板,一般不完全是等厚條紋,也存在等傾條紋。泰曼干涉儀:采用電光源,泰曼干涉本質(zhì)上基于牛頓干涉原理,分光路容易受環(huán)境影響;菲索干涉儀分振幅、共光路牛頓干涉儀,本質(zhì)上為牛頓干涉原理。共光路
12、,可減小環(huán)境干擾。 菲索平面干涉儀原理、構(gòu)造、光路簡(jiǎn)圖; 菲索平面干涉儀的時(shí)間相干性、空間相干性; 平面面形誤差檢驗(yàn)的干涉條紋特征; 平面面形凸、凹判斷,目視半徑偏差(光圈數(shù))判讀; 單色光源: 輕輕按壓上面的零件。條紋擴(kuò)散則凸,條紋收縮則凹。 白光光源: 按壓使兩者緊密接觸,中央暗斑、第一亮紋幾乎為白色。其余亮紋內(nèi)側(cè)藍(lán)色、外側(cè)紅色則為凸,反之為凹。 平行平板平行度的干涉測(cè)量方法、條紋特點(diǎn)、棱邊方向、厚薄判斷及角度計(jì)算; 移相干涉術(shù)的特點(diǎn); 精度高,傳統(tǒng)靜態(tài)條紋判讀法/10,移相法/50;可減小或消除系統(tǒng)誤差,放寬對(duì)干涉儀光學(xué)元件制造精度要求 第六章:光學(xué)系統(tǒng)成像性能評(píng)測(cè) 三種像質(zhì)檢測(cè)法的優(yōu)缺
13、點(diǎn);星點(diǎn)檢驗(yàn)基本、直觀簡(jiǎn)便、靈敏度較高,全面主觀、定性或半定性評(píng)價(jià)法,對(duì)檢測(cè)人員專業(yè)技能要求較高分辨率法定量、簡(jiǎn)單方便 主觀性大,信息量少光學(xué)傳遞函數(shù)法客觀、定量設(shè)計(jì)原理復(fù)雜,測(cè)量過(guò)程復(fù)雜(目前已改善) 什么是星點(diǎn)檢驗(yàn)?“點(diǎn)光源”作為物,并放置在無(wú)限遠(yuǎn),俗稱星點(diǎn); “點(diǎn)光源”經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)所成的像稱為星點(diǎn)像; 理想衍射受限系統(tǒng)及其星點(diǎn)像特點(diǎn); 星點(diǎn)像是艾里斑 星點(diǎn)檢驗(yàn)裝置; 星點(diǎn)檢驗(yàn)條件; 星孔大小要適中 不能切割光束; 觀察顯微鏡/前置鏡的放大倍率要足夠大; 觀察顯微鏡/前置鏡的成像質(zhì)量?jī)?yōu)良; 裝調(diào)準(zhǔn)確。 星點(diǎn)檢驗(yàn)?zāi)軝z什么像差,不能檢什么像差? 星點(diǎn)檢驗(yàn)對(duì)慧差、像散、球差靈敏,不能反映畸變、場(chǎng)曲
14、。 三類光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)分辨率表示形式; 望遠(yuǎn)系統(tǒng)用角度表示剛能分辨的兩點(diǎn)之間的最小距離;弧秒顯微系統(tǒng)直接以剛能分辨開(kāi)的兩物點(diǎn)之間的最小距離表示;um照相系統(tǒng)以像面上剛能分辨的兩個(gè)像點(diǎn)間距的倒數(shù)表示。mm-1,lp/mm 空間頻率; 理想衍射受限系統(tǒng)的分辨率定義; 考察兩個(gè)非相干獨(dú)立發(fā)光點(diǎn)在像面上形成的兩個(gè)點(diǎn)像;由于光的衍射,一個(gè)發(fā)光點(diǎn)通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)成像得到一個(gè)衍射斑(艾里斑),兩個(gè)衍射斑重疊部分的光強(qiáng)度為兩個(gè)光斑重疊區(qū)對(duì)應(yīng)強(qiáng)度之和(線性疊加);理想衍射受限系統(tǒng)的理論分辨率數(shù)值,通?;谠撓到y(tǒng)所能分辨的最小間距來(lái)確定。 三類光學(xué)系統(tǒng)的理論光學(xué)分辨率計(jì)算; 瑞利道斯斯派羅望遠(yuǎn)(rad)照相(mm-1
15、)顯微(mm) 分辨率測(cè)量裝置及分辨率板; 理論分辨率分析采用雙像點(diǎn)(艾里斑)分析法。實(shí)際測(cè)量:在平行光管上,采用分辨率板作為分劃板,觀察被測(cè)系統(tǒng)所成的像,判讀所能分辨的最細(xì)密條紋 照相物鏡軸上分辨率測(cè)量與計(jì)算; 1.在光具座上夾好被測(cè)照相物鏡; 2. 通過(guò)觀察顯微鏡判讀可看清的最細(xì)密的四組條紋屬于幾號(hào)板幾單元;3.直接查表得線條寬度p ,或按公式換算出每毫米的線對(duì)數(shù);4.求像面上的軸上目視分辨率。 點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù);星點(diǎn)像的歸一化能量分布(光強(qiáng)分布)即為點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù) 線擴(kuò)展函數(shù); 對(duì)點(diǎn)擴(kuò)展函數(shù)一維方向求積分可得線擴(kuò)展函數(shù)。 或:物平面上的一線光源,經(jīng)過(guò)光學(xué)系統(tǒng)成像后,像的一維光強(qiáng)分布。 空間頻率; 光學(xué)傳遞函數(shù)物理意義、基本定義; 調(diào)制傳遞函數(shù)與相位傳遞函數(shù);光學(xué)傳遞函數(shù)(Opti
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