三軸加速度傳感器的技術(shù)原理與市場(chǎng)前景分析

1、三軸加速度傳感器的技術(shù)原理與市場(chǎng)前景分析技術(shù)分類(lèi)： 測(cè)試與測(cè)量 | 2008-06-17 意法半導(dǎo)體公司模擬、功率與微機(jī)電組件產(chǎn)品市場(chǎng)經(jīng)理 郁正德: edn china目前，隨著ipod、iphone、sony ps3，以及wii等游戲和娛樂(lè)類(lèi)系列消費(fèi)類(lèi)產(chǎn)品的成功和熱銷(xiāo)，業(yè)界普遍預(yù)測(cè)微機(jī)電系統(tǒng)（mems，micro electro-mechanical system）類(lèi)產(chǎn)品將成為半導(dǎo)體行業(yè)的下一個(gè)高速增長(zhǎng)點(diǎn)。mems帶來(lái)的的操作、功耗，和尺寸上的革命性變革是其成功進(jìn)入消費(fèi)類(lèi)電子市場(chǎng)的關(guān)鍵。其使更具創(chuàng)新性的電子產(chǎn)品設(shè)計(jì)成為可能，而且能給用戶帶來(lái)全新的使用體驗(yàn)。以上提到的產(chǎn)品中都應(yīng)用了加速度傳感器

2、作為動(dòng)作操控和ui操作的接收裝置。在wii和ps3中，加速度傳感器可以靈敏地感測(cè)游戲者的動(dòng)作，并將其轉(zhuǎn)換為游戲中的虛擬人物、物品或交通工具的動(dòng)作和狀態(tài)等并顯示在畫(huà)面中。ipod和iphone中的加速度傳感器則可以根據(jù)用戶的動(dòng)作而相應(yīng)地對(duì)菜單進(jìn)行操作，例如調(diào)整頁(yè)寬和改變內(nèi)容顯示方向等。目前3軸加速度傳感器的單位售價(jià)已降至1.5美元以下，相信在更大的需求量條件下有望突破1美元。較低的成本在以價(jià)格為主導(dǎo)的消費(fèi)電子市場(chǎng)必將成為優(yōu)勢(shì)之一。車(chē)身安全、控制及導(dǎo)航系統(tǒng)中的應(yīng)用加速度傳感器在進(jìn)入消費(fèi)電子市場(chǎng)之前，實(shí)際上已被廣泛應(yīng)用于汽車(chē)電子領(lǐng)域，主要集中在車(chē)身操控、安全系統(tǒng)和導(dǎo)航，典型的應(yīng)用如汽車(chē)安全氣囊（ai

3、rbag）、abs防抱死剎車(chē)系統(tǒng)、電子穩(wěn)定程序（esp）、電控懸掛系統(tǒng)等。目前車(chē)身安全越來(lái)越得到人們的重視，汽車(chē)中安全氣囊的數(shù)量越來(lái)越多，相應(yīng)對(duì)傳感器的要求也越來(lái)越嚴(yán)格。整個(gè)氣囊控制系統(tǒng)包括車(chē)身外的沖擊傳感器（satellite sensor）、安置于車(chē)門(mén)、車(chē)頂，和前后座等位置的加速度傳感器（g-sensor）、電子控制器，以及安全氣囊等。電子控制器通常為16位或32位mcu，當(dāng)車(chē)身受到撞擊時(shí)，沖擊傳感器會(huì)在幾微秒內(nèi)將信號(hào)發(fā)送至該電子控制器。隨后電子控制器會(huì)立即根據(jù)碰撞的強(qiáng)度、乘客數(shù)量及座椅/安全帶的位置等參數(shù)，配合分布在整個(gè)車(chē)廂的傳感器傳回的數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算和做出相應(yīng)評(píng)估，并在最短的時(shí)間內(nèi)通過(guò)電

4、爆驅(qū)動(dòng)器（squib driver）啟動(dòng)安全氣囊保證乘客的生命安全。除了車(chē)身安全系統(tǒng)這類(lèi)重要應(yīng)用以外，目前加速度傳感器在導(dǎo)航系統(tǒng)中的也在扮演重要角色。專家預(yù)測(cè)便攜式導(dǎo)航設(shè)備（pnd）將成為中國(guó)市場(chǎng)的熱點(diǎn)，其主要利于gps衛(wèi)星信號(hào)實(shí)現(xiàn)定位。而當(dāng)pnd進(jìn)入衛(wèi)星信號(hào)接收不良的區(qū)域或環(huán)境中就會(huì)因失去信號(hào)而喪失導(dǎo)航功能。基于mems技術(shù)的3軸加速度傳感器配合陀螺儀或電子羅盤(pán)等元件一起可創(chuàng)建方位推算系統(tǒng)（dr, dead reckoning），對(duì)gps系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)互補(bǔ)性應(yīng)用。硬盤(pán)抗沖擊防護(hù)目前由于海量數(shù)據(jù)對(duì)存儲(chǔ)方面的需求，硬盤(pán)和光驅(qū)等元器件被廣泛應(yīng)用到筆記本電腦、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)/攝相機(jī)、便攜式dvd機(jī)、pmp

5、等設(shè)備中。便攜式設(shè)備由于其應(yīng)用場(chǎng)合的原因，經(jīng)常會(huì)意外跌落或受到碰撞，而造成對(duì)內(nèi)部元器件的巨大沖擊。為了使設(shè)備以及其中數(shù)據(jù)免受損傷，越來(lái)越多的用戶對(duì)便攜式設(shè)備的抗沖擊能力提出要求。一般便攜式產(chǎn)品的跌落高度為1.21.3米，其在撞擊大理石質(zhì)地面時(shí)會(huì)受到約50kg的沖擊力。雖然良好的緩沖設(shè)計(jì)可由設(shè)備外殼或pcb板來(lái)分解大部分沖擊力，但硬盤(pán)等高速旋轉(zhuǎn)的器件卻在此類(lèi)沖擊下顯得十分脆弱。如果在硬盤(pán)中內(nèi)置3軸加速度傳感器，當(dāng)?shù)浒l(fā)生時(shí)，系統(tǒng)會(huì)檢測(cè)到加速的突然變化，并執(zhí)行相應(yīng)的自我保護(hù)操作，如關(guān)閉抗震性能差的電子或機(jī)械器件，從而避免其受損，或發(fā)生硬盤(pán)磁頭損壞或刮傷盤(pán)片等可能造成數(shù)據(jù)永久丟失的情況。消費(fèi)產(chǎn)品中的

6、創(chuàng)新應(yīng)用3軸加速度傳感器為傳統(tǒng)消費(fèi)及手持電子設(shè)備實(shí)現(xiàn)了革命性的創(chuàng)新空間。其可被安裝在游戲機(jī)手柄上，作為用戶動(dòng)作采集器來(lái)感知其手臂前后、左右，和上下等的移動(dòng)動(dòng)作，并在游戲中轉(zhuǎn)化為虛擬的場(chǎng)景動(dòng)作如揮拳、揮球拍、跳躍、甩魚(yú)竿等，把過(guò)去單純的手指運(yùn)動(dòng)變成真正的肢體和身體的運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)比以往按鍵操作所不能實(shí)現(xiàn)的臨場(chǎng)游戲感和參與感。此外，3軸加速度傳感器還可用于電子計(jì)步器，為電子羅盤(pán)（3d compass）提供補(bǔ)償功能，也可用于數(shù)碼相機(jī)的防抖。以上提到的種種創(chuàng)新應(yīng)用使其成為下一代產(chǎn)品設(shè)計(jì)中必不可少的元件。1姿態(tài)與動(dòng)作識(shí)別3軸加速度傳感器的應(yīng)用范圍很廣，除了文中提到的游戲動(dòng)作操控外，還能用于手持設(shè)備的姿態(tài)識(shí)別

7、和ui操作。例如借助3軸加速度傳感器，手持設(shè)備可實(shí)現(xiàn)畫(huà)面自動(dòng)轉(zhuǎn)向。ipod touch就內(nèi)建了此功能，設(shè)備顯示的畫(huà)面和信息會(huì)根據(jù)用戶的動(dòng)作而自動(dòng)旋轉(zhuǎn)。其通過(guò)內(nèi)部傳感器對(duì)重力向量的方向檢測(cè)來(lái)確定設(shè)備處于水平或垂直狀態(tài)，并自動(dòng)調(diào)整顯示狀態(tài)，給用戶帶來(lái)方便。傳感器對(duì)震動(dòng)的感知性能也可將以前傳統(tǒng)的按鍵動(dòng)作變化為震動(dòng)，用戶可通過(guò)單次或多次震動(dòng)來(lái)進(jìn)行功能的選擇，如曲目的選擇、音量控制等。此外，該功能還可擴(kuò)展至對(duì)用戶界面元素的操控。如屏幕顯示內(nèi)容的上下左右等方向的瀏覽可通過(guò)傾斜手持設(shè)備來(lái)完成。2趣味性擴(kuò)展功能3軸加速度傳感器對(duì)用戶操控動(dòng)作的轉(zhuǎn)變還可轉(zhuǎn)化為許多趣味性的擴(kuò)展功能上，如虛擬樂(lè)器、虛擬骰子游戲，以及

8、“閃訊”（wave message）等。虛擬樂(lè)器內(nèi)置的加速度傳感器可檢測(cè)用戶對(duì)手持設(shè)備的揮動(dòng)來(lái)控制樂(lè)器的節(jié)奏和音量等；骰子游戲也采用類(lèi)似的原理，通過(guò)對(duì)揮動(dòng)等動(dòng)作的感知來(lái)控制虛擬骰子的旋轉(zhuǎn)速度，并借助內(nèi)部數(shù)學(xué)模型抽象的物理定律決定其停止的時(shí)間?！伴W訊”是一個(gè)更富有想象力的應(yīng)用，用戶可利用此功能在空中進(jìn)行文字編輯?！伴W訊”即讓手持設(shè)備通過(guò)加速度傳感器捕捉用戶在空中模擬寫(xiě)字的快速動(dòng)作，主要適合較暗的環(huán)境下使用。手持設(shè)備上會(huì)安裝發(fā)光的led，由于人眼視網(wǎng)膜的視覺(jué)暫留現(xiàn)象，其在空中揮動(dòng)的動(dòng)作會(huì)在其眼中留下短暫的連續(xù)畫(huà)面，完成寫(xiě)字的所有動(dòng)作筆順。3功耗控制功耗一直是便攜設(shè)備設(shè)計(jì)中要考慮的重要因素，內(nèi)置3軸

9、加速度傳感器則使設(shè)備可通過(guò)檢測(cè)設(shè)備的使用狀況來(lái)對(duì)其用電模式加以控制，從而有效延長(zhǎng)電池的使用時(shí)間。thelma制程技術(shù)成熟的制程技術(shù)是3軸加速度傳感器和其他mems產(chǎn)品在消費(fèi)電子產(chǎn)品市場(chǎng)成功的關(guān)鍵之一。目前，為了達(dá)到產(chǎn)量及質(zhì)量控制的嚴(yán)格要求，充分利用全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界的制造和材料資源，以及生產(chǎn)流程控制經(jīng)驗(yàn)，mems類(lèi)元器件大多采用標(biāo)準(zhǔn)的cmos半導(dǎo)體制造技術(shù)，這樣不但能使其生產(chǎn)制造從規(guī)模經(jīng)濟(jì)中受惠，還能讓mems元器件隨光照制程的微型化先進(jìn)制程不斷演進(jìn)和發(fā)展，產(chǎn)品體積更小。然而在制程技術(shù)上，mems類(lèi)組件的生產(chǎn)與其它一般芯片有所差異。早期的mems產(chǎn)品制造中多采用單晶硅為材料，和比較簡(jiǎn)單且穩(wěn)定的體

10、型微加工（bulk micro-machining）技術(shù)，缺點(diǎn)是制造成本較高。目前的制造技術(shù)比較接近集成電路半導(dǎo)體的制程，多采用多晶硅表面微加工（surface micro-machining）科技，使成本有效降低，而且加工的精度和分辨率均更加出色。各廠家的mems類(lèi)元件制程技術(shù)雖然在工藝和加工設(shè)備上較類(lèi)似，大都采用文中提到的cmos制程與表面微加工技術(shù)，但為了與自身的生產(chǎn)制造特點(diǎn)相符，制造商往往會(huì)根據(jù)自己的經(jīng)驗(yàn)開(kāi)發(fā)出其特有的生產(chǎn)加工平臺(tái)及相應(yīng)的流程，以實(shí)現(xiàn)縮短生產(chǎn)周期、提高產(chǎn)品質(zhì)量和降低加工成本的目的。thelma制程技術(shù)，即厚磊晶層（thick epitaxial layer for mi

11、cro-gyroscopes and accelerometer）技術(shù)，是st發(fā)展出的專有表面為加工制程，主要針對(duì)高靈敏度、高探測(cè)范圍的加速度傳感器和陀螺儀等mems元器件的生產(chǎn)加工。其通過(guò)運(yùn)用深度蝕刻技術(shù)及犧牲層（sacrificial-layer）等理論，可在微型裝置中加工出能實(shí)現(xiàn)各種動(dòng)作的精密機(jī)械機(jī)構(gòu)。thelma制程技術(shù)主要包含六個(gè)主要步驟：基底熱氧化、水平互連的沉積與表面圖樣化(patterning)、犧牲層的沉積與表面圖樣化、結(jié)構(gòu)層的磊晶生長(zhǎng)、用通道蝕刻將結(jié)構(gòu)層圖樣化、以及犧牲層的氧化物去除，與接觸金屬化沉積。多晶硅材料具有良好的耐疲勞性及抗沖擊性，且采用cmos制程除了能帶來(lái)較低

12、的成本、更穩(wěn)定的加工流程，芯片與傳感器的功能相獨(dú)立還保證了設(shè)計(jì)上的靈活性。獨(dú)特的thelma技術(shù)還可提供完整的鑄模封裝，使生產(chǎn)出的元器件具有極可靠的物理性質(zhì)，能制造出最佳的制止器（stopper），降低電極之間的靜電摩擦等風(fēng)險(xiǎn)。與傳統(tǒng)工藝相比較，thelma技術(shù)可以減少芯片面積，因而克服體型微加工過(guò)程中常見(jiàn)的設(shè)計(jì)局限。此外，其會(huì)生長(zhǎng)出一塊厚度約15微米（um）的多晶硅磊晶層。該硅結(jié)構(gòu)在增加厚度的同時(shí)也增加了垂直表面積，因而增大平行于基底的靜電啟動(dòng)器的總電容值。加速度傳感器技術(shù)原理mems換能器（transducer）可分為傳感器（sensor）和致動(dòng)器（actuator）兩類(lèi)。其中傳感器會(huì)接受

13、外界的傳遞的物理性輸入，通過(guò)感測(cè)器轉(zhuǎn)換為電子信號(hào)，再最終轉(zhuǎn)換為可用的信息，如加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器等。其主要感應(yīng)方式是對(duì)一些微小的物理量的變化進(jìn)行測(cè)量，如電阻值、電容值、應(yīng)力、形變、位移等，再通過(guò)電壓信號(hào)來(lái)表示這些變化量。致動(dòng)器則接受來(lái)自控制器的電子信號(hào)指令，做出其要求的反應(yīng)動(dòng)作，如光敏開(kāi)關(guān)、mems顯示器等。目前的加速度傳感器有多種實(shí)現(xiàn)方式，主要可分為壓電式、電容式及熱感應(yīng)式三種，這三種技術(shù)各有其優(yōu)缺點(diǎn)。以電容式3軸加速度計(jì)的技術(shù)原理為例。電容式加速度計(jì)能夠感測(cè)不同方向的加速度或振動(dòng)等運(yùn)動(dòng)狀況。其主要為利用硅的機(jī)械性質(zhì)設(shè)計(jì)出的可移動(dòng)機(jī)構(gòu)，機(jī)構(gòu)中主要包括兩組硅梳齒（silicon f

14、ingers），一組固定，另一組隨即運(yùn)動(dòng)物體移動(dòng)；前者相當(dāng)于固定的電極，后者的功能則是可移動(dòng)電極。當(dāng)可移動(dòng)的梳齒產(chǎn)生了位移，就會(huì)隨之產(chǎn)生與位移成比例電容值的改變。 如圖結(jié)構(gòu)中，當(dāng)運(yùn)動(dòng)物體出現(xiàn)變速運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生加速度時(shí)，其內(nèi)部的電極位置發(fā)生變化，就會(huì)反映到電容值的變化（c），該電容差值會(huì)傳送給一顆接口芯片（interface chip）并由其輸出電壓值。因此3軸加速度傳感器必然包含一個(gè)單純的機(jī)械性mems傳感器和一枚asic接口芯片兩部分，前者內(nèi)部有成群移動(dòng)的電子，主要測(cè)量xy及z軸的區(qū)域，后者則將電容值的變化轉(zhuǎn)換為電壓輸出。文中所述的傳感器和asic接口芯片兩部分都可以采用cmos制程來(lái)生產(chǎn)，而在

15、目前的實(shí)際生產(chǎn)制造中，由于二者實(shí)現(xiàn)技術(shù)上的差異，這兩部分大都會(huì)通過(guò)不同的加工流程來(lái)生產(chǎn)，再最終封裝整合到一起成為系統(tǒng)單封裝芯片（sip）。封裝形式可采用堆疊（stacked）或并排（side-by-side）。手持設(shè)備設(shè)計(jì)的關(guān)鍵之一是尺寸的小巧。目前st采用先進(jìn)lga封裝的加速度傳感器的尺寸僅有3 x 5 x 1mm，十分適合便攜式移動(dòng)設(shè)備的應(yīng)用。但考慮到用戶對(duì)尺寸可能提出的進(jìn)一步需求，加速度傳感器的設(shè)計(jì)要實(shí)現(xiàn)更小的尺寸、更高的性能和更低的成本；其檢測(cè)與混合訊號(hào)單元也會(huì)朝向晶圓級(jí)封裝（wlp）發(fā)展。下一代產(chǎn)品的設(shè)計(jì)永遠(yuǎn)是st關(guān)注的要點(diǎn)。就加速度傳感器的發(fā)展而言，單芯片結(jié)構(gòu)自然是必然的趨勢(shì)之一。

16、目前將mems傳感器與cmos接口芯片整合的過(guò)程是最耗費(fèi)成本的加工環(huán)節(jié)，如果能實(shí)現(xiàn)單芯片的設(shè)計(jì)，其優(yōu)點(diǎn)不言而喻，封裝與測(cè)試的成本必然會(huì)大幅度降低。加速度傳感器選用要點(diǎn)加速度傳感器針對(duì)不同的應(yīng)用場(chǎng)景，也在特性上體現(xiàn)為不同的規(guī)格。用戶需根據(jù)自身的具體需要選取最適合的產(chǎn)品。如上文提到的汽車(chē)車(chē)身沖擊傳感器或洗衣機(jī)等家電的振動(dòng)傳感器等來(lái)說(shuō)，需選用高頻（50100hz）的加速度傳感器；對(duì)于硬盤(pán)的跌落和振動(dòng)保護(hù)，需要中頻（2050hz）以上的加速度傳感器；而手持設(shè)備的姿態(tài)識(shí)別和動(dòng)作檢測(cè)只需低頻（020hz）產(chǎn)品即可。線形加速度傳感器的選取還需要考慮滿量程（full scale，fs）、靈敏度及解析度等元件的特性。滿量程表示傳感器可測(cè)量的最大值和最小值間的范圍；靈敏度與adc等級(jí)有關(guān)，是產(chǎn)生測(cè)量輸出值的最小輸入值；解析度則表示了輸入?yún)?shù)最小增量。除此之外，加速度傳感器按輸出的不同還可分為模擬式和數(shù)字式兩種。其中模擬式加速度傳感器輸出值為電壓，還需要在系統(tǒng)中添加模數(shù)轉(zhuǎn)換（adc）；數(shù)字式加速度傳感器的接口芯片中已經(jīng)集成了adc電路，可直接以spi或i2c等實(shí)現(xiàn)數(shù)字傳輸。數(shù)字式產(chǎn)品在成本上也有一定優(yōu)勢(shì)，因?yàn)楦哔|(zhì)量adc通常比較昂貴，價(jià)格甚至可超過(guò)傳感器部分的單獨(dú)售價(jià)。結(jié)論w