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文檔簡介

1、真空區(qū)域的劃分低真空中真空105 102Pa102 10-1Pa（二）（三）高真空超高真空-1-5101 105Pa<10-5Pa流型判斷管道中平均壓力PmPm.d判斷53.304FlowTransitionalPa.cmCLP（四）流導計算a粘性流動1圓直長管（L>20d）粘性流動長管流導Cvl2圓孔流導氣體壓力比X粘性流動圓孔的流導Cvl粘性流動圓孔的流導Cvl3短管流導（L<20d）粘性流動短管流導Cvlb分子流動1圓直長管（L>20d）分子流動長管流導Cml 2圓孔流導分子流動圓孔流導Cml3短管流導（L<20d）修正系數(shù)a分子流動短管流導Cml c過渡流

2、動過渡流動流導Ct1.93E+03 cm3/s抽氣速度 泵名義抽速up 泵抽速效率n 泵有效抽速u 管道的流導C 判斷31.250.825125直徑初選值正確L/sL/sL/s最終得到的流導CFlowMoleculeCircle Hole10242.195220.999099911071989.268 cm3/s68607313.18 cm3/s1.93E+03 cm3/s15810.6993310242.195220.062536307.63673cm3/scm3/scm3/s1.40E+05 cm3/s1.40E+05 cm3/sFlowTra nsiti onal1.40E+05Flow

3、Viscous1071989.268（按圓孔面積）（按管面積）（五）（六）查表數(shù)據(jù)基準摩擦系數(shù)F1基準摩擦系數(shù)F2抽氣時間泵名義抽速up設備開始抽氣的壓力P1經(jīng)時間t后的抽氣壓力P2 修正系數(shù)K抽氣時間t壓力降計算氣體質(zhì)量流量W GWg/D摩擦系數(shù)f管道摩擦系數(shù)入流體流速u1真空管每米管道壓力降厶p管道末端壓力P2 p/P2判斷31.25 L/s100 kPa60 kPa11.638.92E-03kg/h0.01550.071管徑校正系數(shù)Cd1管徑校正系數(shù)Cd21.11E-01146.220.0776.443.57%所選直徑正確（查圖）m/sPaPa3.51溫度校正系數(shù)CT1321溫度校正系數(shù)ct21.51.67CLP15810.699331.40E+05|1.93E+03CSP36307.636731.40E+05|1.93E+03CLP15810.69933140046.9643|1927.5 Z注：1藍色為需要輸入的數(shù)據(jù)2紅色為得到的結(jié)果3有批注的地方需特別注意a10.9650.9310.870.7690.690.6250.57

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