真空鍍膜(PVD)工藝介紹

1、驀ANUS勁勝®35莞勁勝精密組件股彳分肓限公司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited真空鍍膜(PVD)工藝知識(shí)介紹擬訂:張玉立講 M：劉紅亠塚01月加日笏莞勁勝精密組件股份肓限公司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited1. 真空鍍膜技術(shù)及設(shè)備發(fā)展；2. 真空鍍膜的工藝基本流程；3. 真空鍍膜的工藝特性；4. 真空鍍膜工藝對(duì)素材的適鍍性及要求；5. 真空鍍膜工藝關(guān)鍵技術(shù)與先進(jìn)性；6. 真空鍍膜新工藝展示；東莞勁勝精密組件股份有限公司PVD專利介紹;東莞勁勝精

2、密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited真空鍍膜行業(yè)興起背景；隨著歐盟RoHS指 令的實(shí)施及各國(guó)針對(duì)環(huán)保問題紛紛立法。傳統(tǒng) 高污染之電鍍行業(yè)已不符合環(huán)保要求，必將被 新興環(huán)保工藝取代。而真空鍍膜沒有廢水、廢 氣等污染，在環(huán)保上擁有絕對(duì)優(yōu)勢(shì)，必將興起 并普及。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limit

3、ed東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited1. 制膜（或鍍膜）方法可以分為氣相生成法、 氧化法、離子注入法、擴(kuò)散法、電鍍法、 涂布法、液相生成法等。氣相生成法又可 分為物理氣相沉積法（簡(jiǎn)稱PVD法）化學(xué)氣 相沉積法和放電聚合法等。我們今天主要介紹的是物理氣相沉積 法。由于這種方法基本都是處于真空環(huán)境 下進(jìn)行的，因此稱它們?yōu)檎婵斟兡ぜ夹g(shù)。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司Don

4、gGuan JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited2.物理氣相沉積法依據(jù)制作過程工藝不同又分為真空蒸發(fā)鍍膜、磁控濺 射鍍膜和離子鍍膜。a.真空蒸發(fā)鍍膜法：在真空室（鍍爐）中加熱蒸發(fā)容器中待形成薄膜的 原材料，使其原子或分子從表面氣化逸出，形成蒸氣流，入射到固體 （待鍍產(chǎn)品）表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法。真空鍍膜法示意圖電源回路b離子鍍膜法：蒸發(fā)源的加熱和真空鍍膜法相同。由于系統(tǒng)為等 離子狀態(tài)，使金屬離子在樣品表面吸附成

5、膜。金屬離子為高能 量狀態(tài)，成膜時(shí)具有離子結(jié)晶性佳、膜的密著性提高的優(yōu)點(diǎn)。惰性氣體電源回路技術(shù)及設(shè)備;C濺射鍍膜法：給靶材施加高電壓（形成等離子狀態(tài)），使正荷 電氣體離子撞擊靶材、金屬原子飛彈，而在樣品表面形成金屬皮 膜的方法。濺射鍍膜法示意圖東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Compon

6、ents Company LimitedPVD施工流程:素材檢檢組裝治具底涂上下料噴底涂、IR鍍膜（PVD）噴面漆、IR （顏色）- 擦拭產(chǎn)品鍍膜上下料 下治具東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited檢驗(yàn) 包裝產(chǎn)品鍍膜過程為真空環(huán)境,真空度極高。鍍膜機(jī)內(nèi)氣 壓極低，產(chǎn)品中的添加劑、油脂、水分均會(huì)溢出， 所以產(chǎn)品注塑時(shí)不可打脫模劑，不可添加增塑劑， 不可直接加色粉成型。東莞勁

7、勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited的工藝基本流程?hào)|莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited工藝基本流程?hào)|莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company LimitedPVD技術(shù)流程:塑膠件采用專用的uv涂料，用 自動(dòng)涂裝線噴涂，對(duì)素材進(jìn)行 封閉、增加基材平整性。UV涂層膜厚，表面硬度（IR烤箱溫度、UV紫外光固化 能量、波峰值）精確控制，嚴(yán) 格測(cè)試

8、。高純度錫金屬作為蒸發(fā)材料進(jìn)行物 理氣相沉積鍍膜，鍍層金屬膜層厚 度為納米級(jí)（3050NM）金屈原子 微觀上不連接，從而保證不導(dǎo)電性 能，同時(shí)具備較強(qiáng)的金屬質(zhì)感。通過制程各項(xiàng)工程參數(shù)（如真空 度、電流、電壓、時(shí)間、膜材用 量）的精確控制及嚴(yán)格的品質(zhì)監(jiān) 測(cè)流程、設(shè)備（鍍層阻抗測(cè)量、 網(wǎng)絡(luò)分析儀RF射頻測(cè)試）確保制 程品質(zhì)穩(wěn)定。采用H動(dòng)涂裝線對(duì)鍍層噴涂而UV進(jìn)行有 效保護(hù)，并與底層UV有效咬合，通過涂 料專業(yè)品質(zhì)及制程匸藝參數(shù)精確控制確保 成品各項(xiàng)品質(zhì)要求。同時(shí)通過特殊的顏色 獲得技術(shù)（已申報(bào)專利）獲得具金屬質(zhì)感 的豐富多彩的各種顏色效果的制成品。.通過完善先進(jìn)的測(cè)試設(shè)備，方法嚴(yán)格 管控，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品

9、過程及制程品品質(zhì)， 確保產(chǎn)品外觀，電子性能（RF、ESD 性能）耐侯性（RCA耐磨、鉛筆硬度、 鹽霧、冷墊沖擊、耐化妝品）等行業(yè) 品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。讓產(chǎn)品具備極強(qiáng)的市場(chǎng)仆: 命力。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited1納米級(jí)厚度、膜厚均勻。真空鍍膜膜層厚度僅數(shù)十至數(shù)百 納米（一般0.2um）,膜層各部位厚度極為均勻。例：鍍鋁層厚度達(dá)09iim時(shí)就可導(dǎo)電，達(dá)到30nni時(shí)性能就 和固態(tài)鋁材相同，銀鍍層小于5nm時(shí)不能導(dǎo)電。各塑膠產(chǎn)品本 身具有約05um的粗糙度，結(jié)合第1條因素故塑膠表面均在鍍 膜前噴涂UV進(jìn)行

10、封閉流平，以達(dá)到理想的鏡面效果。因鍍膜 層太薄，故對(duì)底涂UV材料外觀要求近乎苛刻，這就要求涂裝 室潔凈度極高。同時(shí)產(chǎn)品外觀面積越大，不良率就可能就越 高（目前奧科生產(chǎn)車間潔凈度為10000級(jí)，噴涂室、烤 箱、 鍍膜車間潔凈度3000級(jí)）。鍍膜厚度目前主要通過光透過率及反射率來控制，鍍層 越厚透光率越差，反射率越高。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited箜舷的工藝特性2. 鍍膜產(chǎn)品放置具有方向性：在立式、臥式鍍爐中，產(chǎn)品 均須于鍍爐工裝平行平面放置。因?yàn)榻饘俨牧想S蒸氣流作直線或弧線運(yùn)動(dòng)，而鍍膜材料一般均

11、與工裝平行放置。鍍膜室空間一定,產(chǎn)品平面面積越大，曲面越深,產(chǎn)能就越低，相應(yīng)生產(chǎn)成本就越高。3. 底涂UV后及鍍膜后產(chǎn)品表面極其脆弱敏感，需特殊保護(hù)。 因鍍膜層僅幾十納米，對(duì)底涂UV層表面不良不具備遮蔽能力 ,另鍍層因太薄，鍍膜層金屬極其柔弱，極易刮傷、碰傷。產(chǎn)品底涂UV后，鍍膜后不能進(jìn)行人工全檢,（用小批量試產(chǎn)的 辦法確定良品率）作業(yè)過程中，通過治具專用手柄、戴指套 、口罩及車用無塵罩等辦法預(yù)防產(chǎn)品表面被污染、破壞。£空賤的工藝特性4. 鍍膜材料或蒸氣流入射速度極高，一般磁控濺射及蒸發(fā)鍍 金屬原子入射速度均在2000米/秒左右。每爐鍍膜時(shí)間（金屬原子累積入射沉淀時(shí)間）一般在1520

12、分鐘左右，磁控濺射 視工藝不同有所區(qū)別。每爐產(chǎn)能以普通翻蓋手機(jī)外殼為例 約450- 800PCS/爐不等，產(chǎn)品大小不同，每爐產(chǎn)能不同。5 顏色制作途徑多樣化，目前有三種顏色制作途徑: 外光起作用，故添加量一般5%左右；是在中涂UV或面涂UV中添加色精。因色精會(huì)與UV紫二、是在鍍膜過程中充入氣體，使氣體與金屬材料反應(yīng) 獲得顏色（如Ar 2+02+鋁金屬可獲得黑色，02+A1獲得黃色）；三、是前述兩者相結(jié)合進(jìn)行生產(chǎn)。一般來說顏色越深、 越濃、越艷；附著力會(huì)越差（加色精工藝）。楚的工藝特性N臭測(cè)劇刪血hblr®t®6鍍膜用金屬材料范圍極廣，除鐵金屬外，各種金屬及金屬 合金，理論上

13、都可用作鍍材。常用的有鋁、銅、錫、珞 等。另因鍍膜是物理過程，對(duì)產(chǎn)品材料本身性能幾乎沒有影 響。7.鍍膜產(chǎn)品能達(dá)到的品質(zhì)水準(zhǔn)：附著力：無脫落。 RCA耐磨：200- 300次。硬度：1H3H ABS+PC素材一般在500g擦1H;PM素材則可達(dá)3比甚至4H。其它諸如高低溫、冷熱沖擊、鹽霧測(cè)試、紫外線測(cè)試. 化妝品測(cè)試、抗人造汗測(cè)試等均可達(dá)到常規(guī)要求。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited的工藝特性8、生產(chǎn)過程時(shí)間局限性：因金屬鍍層長(zhǎng)時(shí)間露置在空氣中會(huì)氧化 發(fā)黑，不同材料氧化速度不同，其中錫鍍層氧化速度

14、最快，8H就 會(huì)明顯發(fā)黑，另底漆UV靜置時(shí)間如過長(zhǎng)，漆膜太厚也會(huì)影響鍍膜 層附著力。故底漆UV、鍍膜及面涂UV幾個(gè)工序之間作業(yè)時(shí)間間隔 依據(jù)實(shí)際作業(yè)經(jīng)驗(yàn)一般限定在8-12H范圍內(nèi)。9、UV涂料及涂料施工特性：鍍膜用的底涂UV及面涂UV涂料相比普 通塑膠噴涂UV涂料有兩個(gè)明顯不同之特性：1 ）涂料材料組成之固 含量高，底漆UV最高；2 ）不含且不能添加普通噴涂用的惰性溶 劑，須特殊調(diào)配專用溶劑。故產(chǎn)品單位涂料用量及成本明顯比普 通塑膠噴涂高出很多，另底漆UV、面涂UV及色精對(duì)UV能量范圍的 要求也較普通UV苛刻，一般底漆UV要求800- 1000n/cm2面涂UV要 求900- 1 100 n?

15、/cm2不同顏色之色精才艮據(jù)實(shí)際情況調(diào)整UV燈能量。 UV生產(chǎn)時(shí)過濾要求也比普通塑膠UV嚴(yán)格，一般要求用600目左右過濾網(wǎng)進(jìn)行過濾。UV膜厚要求為底涂18- 25um,東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited作為真空鍍膜的塑膠素材，其最基本的性能應(yīng)包括附著性能、真空放氣量和 耐熱性外觀設(shè)計(jì)等幾方面的指標(biāo)。1 附著力：被鍍素材應(yīng)與真空鍍膜材料有良好的附著結(jié)合強(qiáng)度，一般認(rèn) 為聚脂類材料和鍍鋁膜層的結(jié)合力最強(qiáng)（如PET） 衡量附著性能良好的標(biāo)準(zhǔn) 是塑膠件表面自由能（表面活性指數(shù)）一般表面自由能 33- 35

16、x 10- 5 N/CM的為弱極性塑膠（如PP）常用塑膠材質(zhì)中附著力高低依次為ABS - ABS+PC- PC -PVCo真空鍍層與素材之間的附著力可以通過實(shí)施底涂來加以提高，還 可以通過化學(xué)材料清洗、浸泡，等離子體預(yù)處理等來提高。2真空放氣量：某些素材中可能含易揮發(fā)小分子（包括水分、增塑劑、 殘留溶劑、未反應(yīng)單體、增加劑等）在真空狀態(tài)下將以氣體形式溢出，破壞 鍍膜層的附著力：平整性和外觀素材在常溫下放氣并不明顯，但在真空狀態(tài) 下，隨溫度上升，放氣量增大。不同材質(zhì)素材，其放氣量差異較大，如一般 ABS、ABS+PC含水量多在0.5%-0.2%之間，真空狀態(tài)下ABS放氣主要含水 分,CO和氫氣，

17、尼龍、尼龍+纖，聚乙烯醇材料等較易吸潮，水分含量更高嚴(yán) 重干擾鍍膜,目前處理此類問題的辦法有二種：一種是預(yù)熱烘烤處理，將水分 含量控制在0.1%以下；另一種方法用底涂UV封閉。但含量太高則不行，如增塑 劑含量10 %以上的增塑劑就會(huì)溢出。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited工藝對(duì)素材的適鍍性及要求八咂3. 耐熱性：真空鍍膜無論采用何種工藝，素材都必須面臨升溫 考驗(yàn)，蒸發(fā)源的輻射熱，鍍膜材料的高能粒子、氣化原子、分子 等離子體等，在素材上的冷凝熱和動(dòng)能都將使素材（淺表層）迅 速升溫，如果素材的耐熱性差

18、，真空鍍膜時(shí)將出現(xiàn)皺紋，甚至整 體收縮，過度受熱還可以導(dǎo)致塑料分解，鍍膜起泡.剝落。不同 塑料的耐熱性千差萬別。一般來說PVC材料的熱穩(wěn)定性較差，熱 變形溫度較低，通常最高只能在60- 70 °C下使用，一般工程塑料 可以在200 °C以下使用，電子塑膠件不是特薄，特細(xì)件一般做真 空鍍膜均不會(huì)產(chǎn)生變形狀況。新項(xiàng)目設(shè)計(jì)開發(fā)時(shí)素材邊緣處盡量設(shè)計(jì)帶R角和有弧度的面， 這樣可以使噴涂的膜厚均勻測(cè)試性能穩(wěn)定。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan

19、 JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited不導(dǎo)電真空鍍爐內(nèi)部結(jié)構(gòu)及高效率圖片展示1:真空獲得設(shè)備配置了先進(jìn) 的空氣冷凝捕集裝置，產(chǎn)品在 鍍膜過程中，從常規(guī)大氣壓抽 到高真空（1.0M0-2PA以上） 只需60-7. 0分鐘，且不受產(chǎn)品 裝入數(shù)量，結(jié)構(gòu)的影響，在同行 業(yè)中處于領(lǐng)先，成本低，效率 高，極具市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。2:真空獲得設(shè)備配置了先進(jìn) 的石英晶體膜厚探測(cè)儀，精確 控制鍍層膜厚，確保不導(dǎo)電性東莞勁勝精密組件月殳份肓限處

20、司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited兩涂產(chǎn)品展示（外觀光澤效 果良好顏色鮮明艷麗）3:特殊的顏色獲得技術(shù)，僅用 二涂UV的實(shí)現(xiàn)工藝，目前同行工 藝實(shí)現(xiàn)（如：NOKIA、索愛的產(chǎn) 品NCVM表面處理）基本采用UV三 涂工藝實(shí)現(xiàn)（即底涂UV、鍍膜、 中涂加顏色、面涂UV）。而我司 只用二涂工藝（具體見前面技術(shù) 流程圖）就可實(shí)現(xiàn)，同時(shí)采用面 涂加顏色的顏色獲得技術(shù)。制成 品品質(zhì)確保達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（如， 三星的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)）。工藝實(shí)現(xiàn)過 程較同行簡(jiǎn)單、效率高.成本低、 品質(zhì)保證，從而具備極強(qiáng)的市場(chǎng) 競(jìng)爭(zhēng)力。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司Do

21、ngGuan JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited網(wǎng)絡(luò)分析儀檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品檢測(cè)中射頻網(wǎng)絡(luò)分析儀檢測(cè)展示4:特殊的兩種金屬材料作為 蒸發(fā)源5錫和錮依據(jù)不同制 品的品質(zhì)要求進(jìn)行不同質(zhì)量 配比，確保不導(dǎo)電性能和制 品髙金屬質(zhì)感。5:針對(duì)不導(dǎo)電性能先進(jìn)的測(cè) 試方法）設(shè)備。對(duì)完成品氷 用射頻網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)試（RF 射頻測(cè)試）確保完成品的質(zhì) 量與追溯，滿足終端通訊產(chǎn) 品的電子性能要求，使產(chǎn)品 更具市場(chǎng)生命力，同行業(yè)基 本沒有此項(xiàng)測(cè)試

22、方法。1:真空鍍膜制程無廢水，廢渣、廢氣排放，極其環(huán)保健 康,完全杜絕了傳統(tǒng)工業(yè)水電鍍的六價(jià)珞、鐮鎘對(duì)環(huán)境的污 染、對(duì)勞動(dòng)者身體健康的威脅。2:使塑料制品具備高質(zhì)感，多顏色的金屬效果，同時(shí)又杜 絕了金屬制品對(duì)通訊產(chǎn)品的電磁屏蔽影響，具備良好的產(chǎn)業(yè) 發(fā)展祈景。3:通過強(qiáng)大的技術(shù)研發(fā)實(shí)力，使整個(gè)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)過程工藝簡(jiǎn) 單、品質(zhì)確保、效率高、成本低，具備良好的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。4:真空鍍膜設(shè)備配置，檢測(cè)設(shè)備配置處于行業(yè)領(lǐng)先水平。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited工藝展示1:新工藝-PVD顏色漸變效果展示東莞勁勝精

23、密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited顏色漸變效果附簡(jiǎn)圖顏色漸變效果 清新自然,金屬質(zhì) 感強(qiáng)。信賴性測(cè)試 無急定，鹽霧測(cè)試、 恒溫恒濕、化妝品、 紫外線、耐水煮等 測(cè)試均0K.東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited珠光效果附簡(jiǎn)圖2:新工藝-PVD珠光效果展示噴涂珠光效果產(chǎn)品耐 化學(xué)性好，具

24、有獨(dú)特的光 澤效果及金屬效果，屬于 不導(dǎo)電特性；半透明體， 反射光極強(qiáng)，顏色種類齊 全可隨意選擇。信賴性測(cè)試穩(wěn)定，鹽 霧測(cè)試、恒溫恒濕、化妝 品、紫外線、耐水煮等測(cè) 試均0K.東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited3:新工藝-PVD拉絲效果展示東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company LimitedPVD拉絲效果附簡(jiǎn)圖PVD拉絲效果清 晰，金屬質(zhì)感強(qiáng)，可 以做啞光、亮光不同 顏色的效果。信賴性測(cè)試穩(wěn)定， 鹽霧測(cè)試、恒溫恒濕、

25、化妝品、紫外線、耐 水煮等測(cè)試均0K。東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company Limited4:新工藝-PVD噴墨效果展示PVD噴墨效果清 晰，圖像質(zhì)量高，色 彩逼真；PVD噴墨效果附簡(jiǎn)圖信賴性測(cè)試穩(wěn)定， 鹽霧測(cè)試、恒溫恒濕、 化妝品、紫外線、耐 水煮等測(cè)試均0K“W有g(shù)科學(xué)技術(shù)成果鑒定榮譽(yù)證書*崗學(xué)憊術(shù)慮媒壽屣誡器一-、臂;山東兌勁勝松密紐件股份仃限公訂J完成的“不導(dǎo)電貞字電鍍（NCVM）裝飾技術(shù)"項(xiàng)11會(huì)經(jīng)過燈疋委員會(huì)充分叢定.形成以下慮見：I、捉供酸定的資料菇本齊全.符合科技成果鑒定嚶求。I、：、該項(xiàng)

26、！1建/了不尋電山字電鍍CNCVM）系統(tǒng)，該系統(tǒng)采川了先逝的空氣|?隕捕集裝 '汽、Y八英品休膜”探測(cè)儀、_1次涂m I V ：藝投術(shù)、錫鈿雙仝丿皿淇發(fā)測(cè)IA，;系統(tǒng)裝備加工藝先迸,效率心,MM好，八仃效化嚇了產(chǎn)品外觀的金屬質(zhì)感|藝、金屈涂以怦度二、孩項(xiàng)I無廢水、決渣和廢氣卅放.利尸環(huán)保：頂I技木產(chǎn)陽(yáng)投入實(shí)際應(yīng) 川.產(chǎn)牛了MJJ顯的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。臨止委員會(huì)認(rèn)為：孩項(xiàng)丨I技術(shù)水v處r國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水 叭同童通過科技成果瘵疋 建議，進(jìn)步擴(kuò)人生產(chǎn)規(guī)怏和應(yīng)用傾域，満足山場(chǎng)需升評(píng)洽、和不丫電件陡“頂董功能治11設(shè)iJ > HV6J-料配色; 控制曹方面具有創(chuàng)新性東莞iIj H ”拾定石心上

27、仃龍衣事i尅壘軍-LfA 宀東莞勁勝精密組件月殳份肓限處司DongGuan JANUS Precision Components Company LimitedAO中華人民共鄆國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)弋局I S沁早專月I a精密組件股份有限公司PVD專利金紹）科學(xué)技術(shù)專利證書中年人民共和r國(guó)家知識(shí)產(chǎn)杈為專利申iff受HB通知書««廉屮*人（5*12"判試1U二小八轟民舛勢(shì)田期牌九饒.第胃十音曲曲奩«««»! 513071廣s n «jb東ji審越應(yīng)龔銀廉席育閉爼陽(yáng)專利申請(qǐng)受理2!知書E0I 號(hào)二200920048709. 4i

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