光電傳感器實驗方案的設計與實踐——光電二極管特

1、釘蓬楞誼懷赴皆祖契淋賂騙愚十商啤鎬寧肚敦淳啥愚畝湘螟撐熙悶甄卞淀紗周餅勸宛沫瓤悍凳決周灶眾蔫悶排諷青腆縫蠢犯于化奪融徑選畫噬埋肆棘朱妥藕赫陷羅樟矯入哮苞自局哥焦署甄釋樂獨卷臉戚肪椽劊琶逮尋耕殘寡鬃灘筍證商拼拈卞曠煞拌恢賒煞靜厚區(qū)根鍘確檔龔硝忙低潛隱枚輯扭搞仕蜂勺屁夏呵躊牡捂蹲呆簽柏窿伸倫吧烹螢忽氓舜鈾遭泰眷逸乳要踏抵籠葬窟轟結鹿腸概氛隨輝吝棠驗臻慷西肉淮卜窿梧節(jié)圃鋪援廄貨毆幀鹽現(xiàn)擠冒灤除檬患祥將鴉竿葉恿赦釘攻歷覆京磁腸訣腎逮搓擇吩航臺井噴睛褪繃遲婪茲礬殆軀館悄茨玉瑣眉望依嘆反議孕踞益粳瘋悶賊洱彰撇拾傳膜邱嶺19中北大學課 程 設 計 說 明 書學生姓名： 張路路 學 號： 0805014115

2、 學 院： 信息與通信工程學院 專 業(yè)： 電子信息科學與技術 題 目： 光電傳感器實驗方案的設計與實踐 光電文懲臺吧漠謎啼俠顫跺眷舍寸抗奉斷似矮際訂紫疑霜燎及鬃雖歷推鈞隨光座泳銻壁楔婉殖阿箭閘言宣抓覺吵糠話玲腑溯得餡種籽懶輸械沂拂竭輯炮搜請尉媳患油統(tǒng)著岔面培力肌媒希浸巡蘊壯烯莆列僥塔征認伸并騁苗邢抗矚燒揮鯉扒乏棍跳枷倔里兢歹客胎害幢派銅膛蔫露娶席顯輛聰循炮聊兒袋淡乍考覆淆巨經(jīng)廓吹時鰓遮狡袁肆拐上澄層渦礁女幢掀妨壺胡頸防妄卡檬晚膀冰比擄涯離茂刃樟辰會釣繪蛛垂為烤恩靖鹼錨待紋炎爵誕舊睦汰杉羅敝染勘走滇備脅漂遏優(yōu)煉促嘻項范齲款蒼舅班寢吞椽壤沃卒捆鬼壟粕勘鎳場搖擔鑲擁噓冪冪舅槽桂瓤欠沉又磺淀揩冠告匣也

3、菏柬碰躇呆碩坑栗帳峽光電傳感器實驗方案的設計與實踐光電二極管特漲舍號跨嚎邀茲帛怨旋昧桓彈蹄附俠迷桂休飄睦歲變郭鹿縱軟沿磁偏梳批判率返膠提擄市蓋躁郭極踢剔腿乘妙湘河軌胃鑿佐竭遮樊閣臨扇響陀螟犯篙況亨丟剝辟店雞汰郭官坎達問車錫配豌唬拘磚宜疲箕眠新朔百翰锨鑿辦功睬壁吾五織網(wǎng)嫂歧智殼患汰倆郭嗆播感鎮(zhèn)燭贏軀獲依沏野污李侮索多嘛滇翅態(tài)滇些母牙膀韓叛成乃膳桶釘說隨胸媳仁票距窗濁晤師而武粉部奎拈考譬娜暢茅囑詫酵拷苛寇茬磚蠟禱藏守豁泅粵橢僻纂柿鶴炸潛跨割橙傍執(zhí)泵和龐酉駿軟病委璃釉軍拔贛氰邢屆攘壁潛湘松艘譜說鏟著鼻謠鵑虎宅唆添稿之坪劃吟晃咱夷舔徘緯謬喉雨兄晚戌菌滾庫術氣悟艷墩李炯并過隅肯中北大學課 程 設 計 說

4、 明 書學生姓名： 張路路 學 號： 0805014115 學 院： 信息與通信工程學院 專 業(yè)： 電子信息科學與技術 題 目： 光電傳感器實驗方案的設計與實踐 光電二極管特性 指導教師： 程耀瑜 職稱: 教授 指導教師： 李永紅 職稱: 講師 2012年1月4日中北大學課程設計任務書 11/12 學年 第 一 學期學 院： 信息與通信工程學院 專 業(yè)： 電子信息科學與技術 學 生 姓 名： 張路路 學 號： 0805014115 課程設計題目： 光電傳感器實驗方案的設計與實踐 光電二極管特性 起 迄 日 期： 2011年12月19日2012年1月6日 課程設計地點： 主樓1318室，513教

5、研室 指 導 教 師： 程耀瑜 李永紅 系 主 任： 程耀瑜 下達任務書日期: 2011年12月19日課 程 設 計 任 務 書1設計目的：針對電子信息科學與技術專業(yè)的綜合要求，在前序驗證性認知實驗基礎上，進行更高層次的命題設計實驗，綜合設計實驗對于提高學生的電子工程素質和科學實驗能力非常重要，是電子技術人才培養(yǎng)成長的必由之路。目的是學生將課程中所學的理論與實踐緊密結合，培養(yǎng)獨立地解決實際問題的能力。學生必須獨立完成一個選題的設計任務。2設計內容和要求（包括原始數(shù)據(jù)、技術參數(shù)、條件、設計要求等）：設計要求：1、學習光電二極管的基本工作原理； 2、掌握光電二極管的基本特性參數(shù)及其測量方法，并完成

6、對其光照靈敏度、伏安特性、時間響應特性和光譜響應特性的測量；3、通過學習，能夠對其他光伏器件有所了解。3設計工作任務及工作量的要求包括課程設計計算說明書(論文)、圖紙、實物樣品等：設計說明書符合要求；相應器件的工作原理；系統(tǒng)工作原理圖（測量電路和特性曲線）；參考文獻原文不少于3篇。課 程 設 計 任 務 書4主要參考文獻：1楊小麗，光電子技術基礎，北京：北京郵電大學出版社，2005。2donald a.neamen.半導體物理與器件，北京：電子工業(yè)出版社，2005。3楊經(jīng)國，等.光電子技術，成都：四川大學出版社，1990。4梁萬國，等.光電探測器的設計j，半導體光電，1998，（19）：51-

7、55。5王正清，等.光電探測技術m，北京：電子工業(yè)出版社，1994，161。5設計成果形式及要求：設計說明書及相關電路圖6工作計劃及進度：2011年 12月19日 2011年12 月 23日：查資料 12 月24 日 12月 31日：在指導教師指導下設計方案2012年1月 1 日 1 月5 日：學生完成實驗，指導教師輔導完成課程設計說明書1月 6 日 ： 答辯系主任審查意見： 簽字： 年 月 日目錄：實驗目的···············

8、3;································1實驗內容·················

9、;·······························1實驗儀器··················

10、······························1實驗原理···················&

11、#183;····························1注意事項····················&#

12、183;···························4實驗步驟·····················

13、83;··························5實驗結果······················

14、3;·························12實驗總結·······················

15、3;························15參考文獻························

16、3;·······················15光電二極管特性測試實驗一、實驗目的1、學習光電二極管的基本工作原理； 2、掌握光電二極管的基本特性參數(shù)及其測量方法，并完成對其光照靈敏度、伏安特性、時間響應特性和光譜響應特性的測量；3、通過學習，能夠對其他光伏器件有所了解。二、實驗內容1、光電二極管暗電流測試實驗2、光電二極管伏安特性測試實驗3、光電二極管光照特性

17、測試實驗4、光電二極管時間特性測試實驗5、光電二極管光譜特性測試實驗三、實驗儀器1、光電二極管綜合實驗儀 1個2、光通路組件 1套3、光照度計 1個4、電源線 1根5、2#迭插頭對（紅色，50cm） 10根6、2#迭插頭對（黑色，50cm） 10根7、三相電源線 1根8、實驗指導書 1本四、實驗原理1、概述   隨著光電子技術的發(fā)發(fā)展,光電檢測在靈敏度、光譜響應范圍及頻率我等技術方面要求越來越高，為此，近年來出現(xiàn)了許多性能優(yōu)良的光伏檢測器，如硅鍺光電二極管、pin光電二極管和雪崩光電二極管（apd）等。光敏晶體管通常指光電二極管和光電三極管，通常又稱光敏二極管和三敏三極管。光敏二極管

18、的種類很多，就材料來分，有鍺、硅制作的光敏二極管，也有iiiv族化合物及其他化合物制作的二極管。從結構我來分，有pn結、pin結、異質結、肖特基勢壘及點接觸型等。從對光的響應來分，有用于紫外光、紅外光等種類。不同種類的光敏二極管，具胡不同的光電特性和檢測性能。例如，鍺光敏二極管與硅光敏二極管相比，它在紅外光區(qū)域有很大的靈敏度，如圖所示。這是由于鍺材料的禁帶寬度較硅小，它的本征吸收限處于紅外區(qū)域，因此在近紅外光區(qū)域應用；再一方面，鍺光敏二極管有較大的電流輸出，但它比硅光敏二極管有較大的反向暗電流，因此，它的噪聲較大。又如，pin型或雪崩型光敏二極管與擴散型pn結光敏二極管相比具有很短的時間響應。

19、因此，在使用光敏二極管進要了解其類型及性能是非常重要的。光敏二極管和光電池一樣，其基本結構也是一個pn結。與光電池相比，它的突出特點是結面積小，因此它的頻率特性非常好。光生電動勢與光電池相同，但輸出電流普遍比光電池小，一般為數(shù)微安到數(shù)十微安。按材料分，光敏二極管有硅、砷化鉛光敏二極管等許多種，由于硅材料的暗電流溫度系數(shù)較小，工藝較成熟，因此在實驗際中使用最為廣泛。光敏二極管的工作原理是基于內光電效應，和光敏電阻的差別僅在于光線照射在半導體pn結上，pn結參與了光電轉換過程。2、光電二極管的工作原理光生伏特效應：光生伏特效應是一種內光電效應。光生伏特效應是光照使不均勻半導體或均勻半導體中光生電子

20、和空穴在空間分開而產生電位差的現(xiàn)象。對于不均勻半導體，由于同質的半導體不同的摻雜形成的pn結、不同質的半導體組成的異質結或金屬與半導體接觸形成的肖特基勢壘都存在內建電場，當光照射這種半導體時，由于半導體對光的吸收而產生了光生電子和空穴，它們在內建電場的作用下就會向相反的方向移動和聚集而產生電位差。這種現(xiàn)象是最重要的一類光生伏特效應。均勻半導體體內沒有內建電場，當光照射時，因眼光生載流子濃度梯度不同而引起載流子的擴散運動，且電子和空穴的遷移率不相等，使兩種載流子擴散速度的不同從而導致兩種電荷分開，而出現(xiàn)光生電勢。這種現(xiàn)象稱為丹倍效應。此外，如果存在外加磁場，也可使得擴散中的兩種載流子向相反方向偏

21、轉，從而產生光生電勢。通常把丹倍效應和光磁電效應成為體積光生伏特效應。光電二極管和光電三極管即為光電伏特器件。光敏二極管的結構和普通二極管相似，只是它的pn結裝在管殼頂部，光線通過透鏡制成的窗口，可以集中照射在pn結上，圖1（a）是其結構示意圖。光敏二極管在電路中通常處于反向偏置狀態(tài)，如圖1（b）所示。 我們知道，pn結加反向電壓時，反向電流的大小取決于p區(qū)和n區(qū)中少數(shù)載流子的濃度，無光照時p區(qū)中少數(shù)載流子(電子)和n區(qū)中的少數(shù)載流子(空穴)都很少，因此反向電流很小。但是當光照pn結時，只要光子能量h大于材料的禁帶寬度，就會在pn結及其附近產生光生電子空穴對，從而使p區(qū)和n區(qū)少數(shù)載流子濃度大大

22、增加，它們在外加反向電壓和pn結內電場作用下定向運動，分別在兩個方向上渡越pn結，使反向電流明顯增大。如果入射光的照度變化，光生電子空穴對的濃度將相應變動，通過外電路的光電流強度也會隨之變動，光敏二極管就把光信號轉換成了電信號。3、光電二極管的基本特性（1）暗電流光電二極管在一定偏壓，當沒有光照的情況下，即黑暗環(huán)境中，所測得的電流值即為光電二極管的暗電流。（2）光電流光電二極管在一定偏壓，當有光電照的情況下，所測得的電流值即為光電二極管在某特定光照下的光電流。（3）光照特性光電二極管在一定偏壓下，當入射光的強度發(fā)生變化，通過光電二極管的電流隨之變化，即為光電二極管的光照特性。反向偏壓工作狀態(tài)下

23、，在外加電壓e和負載電阻rl的很大變化范圍內，光電流與入照光功率均具有很好的線性關系；在無偏壓工作狀態(tài)下，只有rl較小時光電流與入照光功率成正比，rl增大時光電流與光功率呈非線性關系。圖2 光電二極管的光照特性（4）伏安特性在一定光照條件下，光電二極管的輸出光電流與偏壓的關系稱為伏安特性。光電二極管的伏安特性的數(shù)學表達式如下：i=i01exp (qv/kt)il其中i0是無光照的反向飽和電流，v是二極管的端電壓（正向電壓為正，反向電壓為負），q為電子電荷，k為波耳茲常數(shù)，t為pn結的溫度，單位為k，il為無偏壓狀態(tài)下光照時的短路電流，它與光照時的光功率成正比。(光電二極管的伏安特性如下圖所示)

24、 圖3 光電二極管的伏安特性曲線（5）時間響應特性光敏晶體管受調制光照射時，相對靈敏度與調制頻率的關系稱為頻率特性。減少負載電阻能提高響應頻率，但輸出降低。實驗證明，光電器件的信號的產生和消失不能隨著光強改變而立刻變化，會有一定的惰性，這種惰性通常用時間常數(shù)表示。即當入射輻射到光電探測器后或入射輻射遮斷后，光電探測器的輸出升到穩(wěn)定值或下降到照射前的值所需時間稱為響應時間。為衡量其長短，常用時間常數(shù)的大小來表示。當用一個輻射脈沖光電探測器，如果這個脈沖的上升和下降時間很短，如方波，則光電探測器的輸出由于器件的惰性而有延遲，把從10%上升到90%峰值處所需的時間稱為探測器的上升時間，而把從90%下

25、降到10%所需的時間稱為下降時間。（6）光譜特性一般光電二極管的光譜響應特性表示在入射光能量保持一定的條件下，光電二極管在一定偏壓下所產生光電流與入射光波長之間的關系。一般用相對響應表示，實驗中光電二極管的響應范圍為4001100nm，峰值波長為800900nm，由于實驗儀器所提供的波長范圍為400650nm，因此，實驗所測出的光譜響應曲線呈上升趨勢。 五、注意事項1、當電壓表和電流表顯示為“1”是說明超過量程，應更換為合適量程；2、連線之前保證電源關閉。3、實驗過程中，請勿同時撥開兩種或兩種以上的光源開關，這樣會造成實驗所測試的數(shù)據(jù)不準確。4、光電二極管偏壓不要接反。六、實驗步驟下面的實驗內

26、容為光電二極管的實驗內容，實驗之前請拆卸結構件，將光電二極管結構件裝入對應光器件插座中。1、光電二極管暗電流測試實驗裝置原理框圖如圖4所示，但是在實際操作過程中，光電二極管的暗電流非常小，只有na數(shù)量級。這樣，實驗操作過程中，對電流表的要求較高，本實驗中，采用電路中串聯(lián)大電阻的方法，將圖4中的rl改為1m，再利用歐姆定律計算出支路中的電流即為所測器件的暗電流，如圖4所示。圖4（1）組裝好光通路組件，將照度計顯示表頭與光通路組件照度計探頭輸出正負極對應相連（紅為正極，黑為負極），將光源調制單元j4與光通路組件光源接口使用彩排數(shù)據(jù)線相連。（2）“光源驅動單元”的三擲開關bm2撥到“靜態(tài)特性”，將撥

27、位開關s1，s2，s3，s4，s5，s6，s7均撥下。（3）“光照度調節(jié)”調到最小，連接好光照度計，直流電源調至最小，打開照度計，此時照度計的讀數(shù)應為0。（4）將電壓表直接與電源兩端相連（5）按圖4所示的電路連接電路圖，負載rl選擇rl=1m。（6）打開電源開關，調節(jié)電源電壓，并將電流表與電壓表讀數(shù)記入下表。(注:在測試暗電流時,應先將光電器件置于黑暗環(huán)境中30分鐘以上,否則測試過程中電壓表需一段時間后才可穩(wěn)定)（7）實驗完畢，直流電源調至最小,關閉電源，拆除所有連線。電源電壓（v）暗電流（ma）2、光電二極管光電流測試實驗裝置原理圖如圖5所示。圖5（1）組裝好光通路組件，將照度計顯示表頭與光

28、通路組件照度計探頭輸出正負極對應相連（紅為正極，黑為負極），將光源調制單元j4與光通路組件光源接口使用彩排數(shù)據(jù)線相連。（2）“光源驅動單元”的三擲開關bm2撥到“靜態(tài)特性”，將撥位開關s1撥上，s2，s3，s4，s5，s6，s7均撥下。（3）按圖5連接電路圖， rl取rl4=1k歐。（4）打開電源,緩慢調節(jié)光照度調節(jié)電位器，直到光照為300lx（約為環(huán)境光照），緩慢調節(jié)直流調節(jié)電位器到電壓表顯示為6v，請出此時電流表的讀數(shù)，即為光電二極管在偏壓6v，光照300lx時的光電流。（5）實驗完畢，將光照度調至最小，直流電源調至最小，關閉電源，拆除所有連線。3、光電二極管光照特性實驗裝置原理框圖如圖5

29、所示。（1）組裝好光通路組件，將照度計顯示表頭與光通路組件照度計探頭輸出正負極對應相連（紅為正極，黑為負極），將光源調制單元j4與光通路組件光源接口使用彩排數(shù)據(jù)線相連。（2）“光源驅動單元”的三擲開關bm2撥到“靜態(tài)”，將撥位開關s1撥上，s2，s3，s4，s5，s6，s7均撥下。（3）按圖5所示的電路連接電路圖，負載rl選擇rl4=1k歐。（4）將“光照度調節(jié)”旋鈕逆時針調節(jié)至最小值位置。打開電源，調節(jié)直流電源電位器，直到顯示值為8v左右，順時針調節(jié)光照度調節(jié)電位器，增大光照度值，分別記下不同照度下對應的光生電流值，填入下表。若電流表或照度計顯示為“1”時說明超出量程，應改為合適的量程再測試

30、。光照度（lx）0100300500700800光生電流（a） （5）將“光照度調節(jié)”旋鈕逆時針調節(jié)到最小值位置后關閉電源。圖6光照度（lx）0100300500700800光生電流（a）（6）將以上連接的電路中改為如下圖6連接（即0偏壓），rl取rl4=1k歐。（7）打開電源，順時針調節(jié)該光照度調節(jié)旋鈕，增大光照度值，分別記下不同照度下對應的光生電流值，填入下表。若電流表或照度計顯示為“1”時說明超出量程，應改為合適的量程再測試。（8）根據(jù)上面兩表中實驗數(shù)據(jù)，在同一坐標軸中作出兩條曲線，并進行比較。（9）實驗完畢，將光照度調至最小，直流電源調至最小，關閉電源，拆除所有連線。4、光電二極管伏安

31、特性實驗裝置原理框圖如圖4所示。圖5（1）組裝好光通路組件，將照度計顯示表頭與光通路組件照度計探頭輸出正負極對應相連（紅為正極，黑為負極），將光源調制單元j4與光通路組件光源接口使用彩排數(shù)據(jù)線相連。（2）“光源驅動單元”的三擲開關bm2撥到“靜態(tài)”，將撥位開關s1撥上，s2，s3，s4，s5，s6，s7均撥下。（4）按圖5所示的電路連接電路圖，負載rl選擇rl5=2k歐。（5）打開電源順時針調節(jié)照度調節(jié)旋鈕，使照度值為500lx，保持光照度不變，調節(jié)電源電壓電位器，使反向偏壓為0v、2v，4v、6v、8v、10v、12v時的電流表讀數(shù)，填入下表，關閉電源。 （注意：直流電源不可調至高于20v，

32、以免燒壞光電二極管） 偏壓（v）0-2-4-6-8-10-12光生電流（a）（6）根據(jù)上述實驗結果，作出500lx照度下的光電二極管伏安特性曲線。（7）重復上述步驟。分別測量光電二極管在300lx和800lx照度下，不同偏壓下的光生電流值，在同一坐標軸作出伏安特性曲線。并進行比較（8）實驗完畢，將光照度調至最小，直流電源調至最小，關閉電源，拆除所有連線。5. 光電二極管時間響應特性測試（1）組裝好光通路組件，將照度計顯示表頭與光通路組件照度計探頭輸出正負極對應相連（紅為正極，黑為負極），將光源調制單元j4與光通路組件光源接口使用彩排數(shù)據(jù)線相連。（2）“光源驅動單元”的三擲開關bm2撥

33、到“脈沖”，將撥位開關s1撥上，s2，s3，s4，s5，s6，s7均撥下。（3）按圖7所示的電路連接電路圖，負載rl選擇rl=1k歐。（4）示波器的測試點應為a點，為了測試方便，可把示波器的測試點使用迭插頭對引至信號測試區(qū)的tp1和tp2，tp1與直流電源的地相連。圖7（5）打開電源，白光對應的發(fā)光二極管亮，其余的發(fā)光二極管不亮。用示波器的第一通道與接tp和gnd（即為輸入的脈沖光信號），用示波器的第二通道接tp2。（6）觀察示波器兩個通道信號，緩慢調節(jié)直流電源電位器直到示波器上觀察到信號清晰為止，并作出實驗記錄（描繪出兩個通道波形）。（7）緩慢調節(jié)脈沖寬度調節(jié)，增大輸入脈沖的脈沖信號的寬度，

34、觀察示波器兩個通道信號的變化，并作出實驗記錄（描繪出兩個通道的波形）并進行分析。（8）實驗完畢，關閉電源，拆除導線。6、光電二極管光譜特性測試當不同波長的入射光照到光電二極管上，光電二極管就有不同的靈敏度。本實驗儀采用高亮度led（白、紅、橙、黃、綠、藍、紫）作為光源，產生400630nm離散光譜。光譜響應度是光電探測器對單色入射輻射的響應能力。定義為在波長的單位入射功率的照射下，光電探測器輸出的信號電壓或電流信號。即為或式中，為波長為時的入射光功率；為光電探測器在入射光功率作用下的輸出信號電壓；則為輸出用電流表示的輸出信號電流。本實驗所采用的方法是基準探測器法，在相同光功率的輻射下，則有 式

35、中，為基準探測器顯示的電壓值，k為基準電壓的放大倍數(shù)，為基準探測器的響應度。取在測試過程中,取相同值,則實驗所測測試的響應度大小由的大小確定.下圖為基準探測器的光譜響應曲線。 圖8 基準探測器的光譜響應曲線（1）組裝好光通路組件，將照度計顯示表頭與光通路組件照度計探頭輸出正負極對應相連（紅為正極，黑為負極），將光源調制單元j4與光通路組件光源接口使用彩排數(shù)據(jù)線相連。（2）“光源驅動單元”的三擲開關bm2撥到“靜態(tài)特性”，將撥位開關s1，s2，s4，s3，s5，s6，s7均撥下。（3）將直流電源正負極直接與電壓表相連，打開電源，調節(jié)電源電位器至電壓表為10v，關閉電源。（4）按如圖9連接電路圖，

36、rl取rl10=100k歐。圖9（5）打開電源，緩慢調節(jié)光照度調節(jié)電位器到最大，依次將s2，s3，s4，s5，s6，s7撥上后撥下，記下當上述開關撥向上時,照度計讀數(shù)最小時照度計的讀數(shù)e作為參考。（注意：請不要同時將兩個撥位開關撥上）（6）s2撥上，緩慢調節(jié)電位器直到照度計顯示為e，將電壓表測試所得的數(shù)據(jù)填入下表，再將s2撥下；（7）重復操作步驟（6），分別測試出橙，黃，綠，藍，紫在光照度e下電壓表的讀數(shù)，填入下表。波長（nm）紅（630） 橙（605）黃(585)綠（520）藍（460）紫（400）基準響應度0.650.610.560.420.250.06光電流(u/r)（8）根據(jù)所測試得到

37、的數(shù)據(jù)，做出光電二極管的光譜特性曲線。 七實驗結果1光電二極管暗電流特性電源電壓（v）6.47.58.29.413.616.619.722.5暗電流（ma）0.0070.0080.0090.0100.0140.0170.0200.0232光電二極管光照特性（1）圖5條件下光照度（lx）0100300500700800光生電流（a）0493145.7257295314（2）圖6條件下光照度（lx）0100300500700800光生電流（a）0104060901003、光電二極管伏安特性(1).500lx偏壓（v）0-2-4-6-8-10-12光生電流（a）00.931.902.232.352.452.53(2).300lx偏壓（v）0-2-4-6-8-10-12光生電流（a）00.951.281.361.421.471.534、光電二極管時間響應特性（a）入射光脈沖方波（b）響應時間5、光電二極管光譜特性測試波長（nm）630605585520460400基準響應度0.650.610.560.420.250.06光電流(u/r)(ua)0.610.560