機臺培訓(xùn)概要

1、機臺培訓(xùn)概要1Bond headCANON D01 bond三個電磁閥，從左到右依次是bond force，bond blow，bond VAC.注：D02 bond有3個force，分別為bond force，pick force，standby force2Bond arm電磁閥鐵塊里有兩個墊片，下面墊片頂住“軸”上面墊片頂住“水晶片”兩塊墊片作用：防制真空漏氣，注:水晶片如果不在中心或松動,會導(dǎo)致 Chip adsorption failure等上片不穩(wěn)報警。3Dispensing machine界面4Dispensing machine按鍵描述 LCD主顯示屏，顯示主機的參數(shù)信息。 設(shè)

2、置模式按鍵，選擇此模式下可以更換頻道，設(shè)置系統(tǒng)參數(shù)以及設(shè)置功能的參數(shù)。（前提是此頻道開啟了 功能） 點膠模式設(shè)定按鍵，按DIS燈亮?xí)r可以設(shè)定點膠時間，氣壓以及回吸參數(shù)。 預(yù)覽模式按鈕，此模式下可以查看設(shè)定的針筒，連接管信息，選擇需要的頻道，并且可以給頻道取名。 方向鍵，可以設(shè)定數(shù)值。 編輯按鍵，在換行選擇時使用。 選擇按鍵，在按住此鍵加電源開關(guān)鍵開機時，可以進(jìn)入語言選擇 畫面。 電源開關(guān)按鈕。 確認(rèn)鍵，選擇了某項命令后確認(rèn)使用。 時間模式和手動模式切換按鍵，燈亮?xí)r是時間模式，滅時是手動模式。 真空回吸提示燈，燈亮?xí)r回吸打開。 吐出信號鍵，按鍵進(jìn)行吐膠。 232接口，用于連接電腦使用。 快速接口

3、，用于連接連接器。 5Dispensing machine 校準(zhǔn) SOP同時按住“”和電源開關(guān)按鈕開機注：在初次使用本機需要進(jìn)行功能校驗，當(dāng)環(huán)境發(fā)生變化時也需進(jìn)行校驗6Dispensing machine校準(zhǔn)校準(zhǔn) SOP使用“”“”選擇calibration mode,選擇后按“ENT”確認(rèn)選擇supply = 300kpa后再次按“ENT”確認(rèn)7Dispensing machine校準(zhǔn)校準(zhǔn) SOP如圖選擇后，按“ENT”確認(rèn)開始自動校驗，直至校驗完成。8Canon stage useD01 1-2 needle stage double ring and 6wafer ring(14)D02

4、 1-2 needle stage 6-8double/wafer ring(14)9Canon stage useD01 1-2 needle stage8wafer ring (22)D02 1-4 needle stage8wafer ring(22)10Canon stage useD02 1-4 needle stage12wafer table only(32)11Change Epoxy SOP需要更換銀漿，首先清空軌道將無塵布放置在點膠軌道墊板處防止沾污檢查銀漿種類，解凍時間，使用壽命確認(rèn)無誤后，更換銀漿,小心操作預(yù)防濺漏檢查銀漿管是否緊密安裝在固定架上（到達(dá)安全線位置）確認(rèn)無

5、誤后使用dummy基板試運行, 調(diào)節(jié)相關(guān)參數(shù)，檢查dummy基板正面及背面，軌道墊塊表面，確保沒有銀漿殘留Run 1 strip,100%全檢這條產(chǎn)品, 確保畫膠質(zhì)量輸入OEE change Epoxy記錄，開始生產(chǎn)12Canon更換吸嘴 SOP將 pick arm移動到吹風(fēng)的位置，才可以進(jìn)行collet change用手將舊的collet取下?lián)Q上新的collet，注意換上后collet要固緊然后進(jìn)入 BESTEM 菜單chip supply pick up xy position check（Align cursor）調(diào)節(jié)collet的中心，保持三點一線中心重疊重新校正 pick Z-hei

6、ght吸嘴更換完成，手動抓取晶片測試collet的良好情況Run 1 strip 產(chǎn)品， 100%全檢這條產(chǎn)品生產(chǎn)，測量 BLT 位置，確保產(chǎn)品質(zhì)量輸入OEE change collet記錄，開始生產(chǎn)13Canon更換頂針 SOP用內(nèi)六角扳手工具小心的拔掉頂針，并換上新的頂針，須將頂針插到底鎖緊。重新旋上頂針帽，旋轉(zhuǎn)時保持“+”字中心維持在頂針帽的中心。重新調(diào)節(jié)頂針的高度，使頂針的高度和頂針帽的高度持平。進(jìn)入 BESTEM 菜單chip supply change stage（Needle and stage Center align）重新調(diào)節(jié)collet/needle “+”字中心重疊。手動

7、抓取晶片測試頂針的良好情況。14Canon 配件裝置調(diào)試及故障排除當(dāng)機臺開機時，啟動界面停留在“BEST”畫面不動時，故障原因分析以及排除方法,各部件motor的工作原理及認(rèn)識Heat block的水平裝置調(diào)試Transport clamp的水平裝置調(diào)試Needle的中心及頂針座的水平裝置調(diào)試Wafer Table的擴張器下壓上升水平調(diào)試及sensor探測裝置原理Canon 機臺Substrate , Dispense，chip辨識偵測的工作原理15設(shè)備重新啟動之后畫面停留在BESTEM的畫面下，信號塔為綠燈亮，紅燈和黃燈閃爍。交換SL-15和SL-10的連接線，顯示屏畫面顯示如下。注釋：設(shè)備

8、無法啟動時，不要隨便和其他設(shè)備進(jìn)行備件交換作確認(rèn)。應(yīng)該首先通過交換SL-15和SL-10的連接線，判斷故障時控制CP（SL-10）中的狀態(tài)如何。16通常設(shè)備無法啟動時，如果顯示屏畫面停留在BESTEM畫面的話，信號塔完全不亮的情況說明DOM可能壞掉了；信號塔像前頁所述亮的情況則說明DOM本身沒有壞，壞掉的可能是DOM中的數(shù)據(jù)。此時我們可以按照前頁所述之方法，確認(rèn)SL-10的狀態(tài)。通過前頁照片我們得出結(jié)論：即此次故障原因是軌道參數(shù)被破壞，被破壞的原因無法判斷。參數(shù)被破壞之后，DOM中的數(shù)據(jù)變成亂碼導(dǎo)致設(shè)備重新啟動時無法開啟?；謴?fù)方法是把備份的參數(shù)重新寫進(jìn)去。去年年底我曾經(jīng)讓客戶進(jìn)行過數(shù)據(jù)的備份。

9、設(shè)備不能啟動的時候，只要信號塔還正常的話，就說明DOM可能還有救，其方法（即數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法）敘述如后頁。請參考。另外，有個別情況是通過軟件升級可以解決問題。但是這種情況，由于沒有規(guī)律而言，所以無法總結(jié)?？傊鶕?jù)像前頁那樣的畫面和具體現(xiàn)象可以進(jìn)行個別判斷。17DOM中保存的是當(dāng)前生產(chǎn)的品種的超級菜單中的數(shù)據(jù)。HDD中保存的是當(dāng)前品種之外的其他品種的參數(shù)。所謂數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換就是指把HDD中的參數(shù)轉(zhuǎn)換到DOM中去。DOM中的當(dāng)前品種數(shù)據(jù)被破壞之后，開機檢測時會對DOM中的參數(shù)進(jìn)行一個一個的確認(rèn)，如果確認(rèn)的結(jié)果是亂碼的話，DOM就不能能和SL-10進(jìn)行正常通信，如果DOM本身壞了的話，就完全沒有信號給到SL

10、-10，這時候信號塔都不亮，造成無法正常啟動。 如果DOM本身沒有壞的話，雖然有亂碼，但是還有信號（不是正常信號）給到SL-10，這時候雖然也無法正常啟動但是這個時候信號塔是可以亮的。而且如同前頁所述交換SL-10和SL-15的接續(xù)線，這時候SL-10收到的信號中有亂碼部分的信息，這個信息通過顯示屏表示出來，可以判斷是哪一部分（UNIT）的參數(shù)變成亂碼了。18準(zhǔn)備一個鍵盤，在BESTEM的畫面之下，把鍵盤插入USB接口。啟FFFTP軟件，下圖為示意圖，實際操作的畫面背景應(yīng)該有BESTEM字樣。按鍵盤的Windows就可以進(jìn)入下面的畫面。按照的順序，啟動FFFTP軟件。下面的畫面FFFTP軟件在

11、二級菜單中，根據(jù)軟件版本不同軟件也有可能在一級菜單中。這個沒關(guān)系，只要找到FFFTP即可。191FFFTP軟件啟動之后，畫面如下圖所示。點擊下面序號Controller然后點擊序號20使用鍵盤在紅色部分輸入 之后，按回車鍵21輸入下面內(nèi)容之后按回車鍵/home/noa/bin/system/data 22由于前面也提到過，DOM中現(xiàn)在品種的數(shù)據(jù)已經(jīng)被破壞了。設(shè)備啟動時這些數(shù)據(jù)已經(jīng)不行了，我們要通過換新的數(shù)據(jù)，把HDD中的其他品種的好數(shù)據(jù)，用后面幾頁所說的方法先變換其他品種，然后把變換之后的這個品種的數(shù)據(jù)從HDD拷貝到DOM中，這樣的話，設(shè)備就將以另外的品種的數(shù)據(jù)被啟動。這樣首先解決了設(shè)備啟動的

12、問題。設(shè)備正常啟動之后，如果生產(chǎn)需要原來的品種的話，我們可以把已經(jīng)備份好的原來品種的數(shù)據(jù)拷貝回設(shè)備中，如果沒有備份的話，也可以從其他的相同設(shè)備中拷貝同一個品種數(shù)據(jù)，如果連這個也沒有的話，只能請求總部幫助，拿到出廠時的數(shù)據(jù)，否則就需要工程師一個一個參數(shù)重新設(shè)定，這么做雖然也行，但是太花時間，不到萬不得已的話，作為廠家不建議這么做。所以平時注意數(shù)據(jù)的備份，這一點是非常重要的。具體方法請參照以下幾頁的說明。23在左側(cè)的窗口有一個“Current.item”文件,鼠標(biāo)右擊文件,跳出如下圖左側(cè)所示菜單“notepad”這一項,在這里被記述的品種名稱是現(xiàn)在的品種。把這個品種的名稱變更成其他的已經(jīng)在設(shè)備里登

13、錄過的品種名稱。比如說，現(xiàn)在設(shè)備中已經(jīng)登錄的品種有一個叫做“ABC”的，那么就把品種名稱變成“ABC”。名稱變更好之后，保存文件并關(guān)閉文件的窗口。24在上一個步驟3中，進(jìn)行現(xiàn)在品種變更過的“current.item”文件，點擊選擇。252627左側(cè)的窗口中保存有文件TEST_MECHA.MCDTEST_MOTOR.mod然后，在左側(cè)的窗口中尋找，在步驟3中變更過名稱的文件，這個名 稱的文件一共有4個，這些文件不同的是后綴，把這些文件按照和第4步相同的方法進(jìn)行操作。在這里，我們假設(shè)文件的名稱叫做“ABC”，那么這4個文件就是下面這樣的。 ABC.dat ABC.frd ABC.und ABC.wfd在下圖紅色圈起來的地方輸入下列文字之后回車。C：AppDBREC_PROB1DBRStats28左側(cè)窗口有一個文件名字叫MashineStore.csv_右擊這個文件，選擇 notepad把在這里被表示的文字列改寫成現(xiàn)在品種名稱。假設(shè)名稱是“ABC”，那么就改寫成“ABC”。29關(guān)閉所有窗口。按照下面的順序操作關(guān)電