微電子學(xué)概論課程教學(xué)大綱

1、微電子學(xué)概論課程教學(xué)大綱課程名稱：微電子學(xué)基礎(chǔ) / Conspectus of Microelectronics課程代碼：020727學(xué)時：32 學(xué)分：2 講課學(xué)時： 32 上機/實驗學(xué)時： 0 考核方式：考查先修課程：模擬電子技術(shù)適用專業(yè)：電子信息工程等電類專業(yè)開課院系：電子電氣工程學(xué)院電子信息系教材： 張興 黃如 劉曉彥主編.微電子學(xué)概論（第二版）.北京：北京大學(xué)出版社,2005年主要參考書：1 郝躍主編.微電子學(xué)概論.北京：高等教育出版社,2003年2 吳德馨主編.現(xiàn)代微電子技術(shù).北京：化學(xué)工業(yè)出版社,2003年 3 編.半導(dǎo)體器件導(dǎo)論.北京：清華大學(xué)出版,2006年一、 課程的性質(zhì)和任

2、務(wù)本課程是電子信息工程類專業(yè)的一門專業(yè)基礎(chǔ)課。該門課程主要介紹了微電子學(xué)發(fā)展史、半導(dǎo)體器件、制造工藝、集成電路和SOC電路的設(shè)計以及計算機輔助設(shè)計技術(shù)。該課程為學(xué)生進(jìn)行微電子技術(shù)研究和集成電路的開發(fā)提供了理論基礎(chǔ)。二、 教學(xué)內(nèi)容和基本要求對本課程的學(xué)習(xí)，要求掌握集成電路的器件、組成、制造工藝及基本設(shè)計方法。教學(xué)內(nèi)容如下：第一章緒論1. 晶體管的發(fā)明和集成電路的發(fā)展史2. 集成電路的分類3. 微電子學(xué)的特點第二章半導(dǎo)體物理和器件物理基礎(chǔ)1. 半導(dǎo)體及其基本特性2. 半導(dǎo)體中的載流子3. pn結(jié)4. 雙極晶體管5. MOS場效應(yīng)管第三章大規(guī)模集成電路基礎(chǔ)1. 半導(dǎo)體集成電路概述 2. 雙極集成電路

3、基礎(chǔ)3. MOS集成電路基礎(chǔ)第四章集成電路制造工藝1. 雙極集成電路工藝流程2. MOS集成電路工藝流程3. 光刻與刻蝕技術(shù)4. 氧化5. 擴散與離子注入6. 化學(xué)氣象淀積7. 接觸與互聯(lián)8. 隔離技術(shù)第五章集成電路設(shè)計i. 集成電路設(shè)計特點與設(shè)計信息描述ii. 集成電路的設(shè)計流程iii. 集成電路的設(shè)計規(guī)則和全定制設(shè)計方法iv. 專用集成電路的設(shè)計方法v. 集中集成電路設(shè)計方法的比較vi. 可測性設(shè)計技術(shù)第六章 集成電路設(shè)計的EDA系統(tǒng)1. VHDL及模擬2. 綜合3. 邏輯模擬4 電路模擬5時序分析和混合模擬6版圖設(shè)計7器件模擬8工藝模擬9計算機輔助測試（CAT）技術(shù)第七章系統(tǒng)芯片（SOC

4、）設(shè)計1系統(tǒng)芯片的基本概念和特點2SOC設(shè)計過程第八章光電子器件1固體中的光吸收和光發(fā)射2 半導(dǎo)體發(fā)光二極管第九章微機電系統(tǒng)1基本概念2. 幾種重要的MEMS器件3MEMS加工工藝4MEMS技術(shù)發(fā)展的趨勢5納機電系統(tǒng)第十章納電子器件1納電子器件概述2碳納米管和半導(dǎo)體納米管3量子電、量子線4單電子晶體管5分子結(jié)器件6場效應(yīng)晶體管7邏輯器件及其電路第十一章微電子技術(shù)發(fā)展的規(guī)律和趨勢1 基本規(guī)律2 趨勢和展望三、 實驗（上機、習(xí)題課或討論課）內(nèi)容和基本要求1. 各章課后均有習(xí)題2關(guān)于微電子發(fā)展、集成電路設(shè)計、光電子、微機電系統(tǒng)及納電子等方面撰寫小論文。四、教學(xué)時數(shù)分配課程內(nèi)容講課實驗習(xí)題課討論課課程設(shè)計上機小計緒論11半導(dǎo)體物理和器件物理基礎(chǔ)11大規(guī)模集成電路基礎(chǔ)22集成電路制造工藝32集成電路設(shè)計55集成電路設(shè)計的EDA系統(tǒng)55系統(tǒng)芯片（SOC）設(shè)計44光電子器件22微機電系統(tǒng)22納電子器件22微電子技術(shù)發(fā)展的規(guī)律和趨勢11復(fù)習(xí)課22考試22共 計3232五、對學(xué)生能力培養(yǎng)的要求通過本課程的學(xué)習(xí)，學(xué)生應(yīng)能基本掌握微電子學(xué)發(fā)展、半導(dǎo)體器件的物理基