成功大學微奈米科技研究中心 儀器使用收費標準

1、成功大學微奈米科技研究中心 儀器使用收費標準公告日期：95年4月21日 儀器名稱中心現(xiàn)行費率備註其他中心收費標準(針對學術單位)電子束蒸鍍鍍機Ebeam開機費 1000元 + 10元/min每借次使用費貴重金屬(Au、Pt)依使用克數(shù)單位計價。Au：500元/克.Pt：1,000元/克臺大奈米機電系統(tǒng)研究中心:90分鐘內1,040元;超過90鐘:1,040+12元/分交大半導體中心:開機費 2500元, 材料費(不含貴重金屬) 另計,貴重金屬自備中區(qū)微機電系統(tǒng)中心:1. 自備靶材：學界 4元/分(操作時間自破真空開始至試片取出, 並完成真空抽氣為止)2. 由中區(qū)微機電提供靶材:學界 4元/分

2、+ 靶材費用Ti 400元/KA Cu 200元/KANi 600元/KA Al 400元/KACr 250元/KA In 150元/KA電子探針臺Prob station開機費 100元/30 min借探針收3,600元/次無從比較磁控濺鍍機sputter2000元/2hrs+ 10元/min臺大奈米機電系統(tǒng)研究中心:90分鐘內1,040元;超過90分鐘:1,040+30元/分交大半導體中心:開機費3500元,材料費(不含貴重金屬) 另計,貴重金屬自備中區(qū)微機電系統(tǒng)中心:射頻濺鍍系統(tǒng)(RF-Sputter System)- 以每分鐘30元計。直流式真空濺鍍系統(tǒng)(DC sputter Syst

3、em)-1.自備靶材：學界 4元/分(操作時間自破真空開始至試片取出, 並完成真空抽氣為止)2. 由中區(qū)微機電提供靶材: 學界 4元/分 + 靶材費用W 600元 /KA Ti 600元/KACu 200元/KA Ni 600元/KACr 250元/KA Al 600元/KANDL:其他 0.17元/秒)NDL(南區(qū)辦公室收費標準):其他 0.14元/秒)IBS開機費3000元/5hr +15元/ min無從比較打線機臺大奈米機電系統(tǒng)研究中心: 6 元/分Ellipsometer開機費 100元/交大半導體中心:開機費500元,每片三點內 100元,每超過一點加 50元NDL:收費標準0.7元

4、/秒(含人工 0.34 元/秒其他 0.21元/秒+0.07元/次 折舊+開機)超臨界CO2開機費800元/1.5h+100元 /30 min無從比較Parylene開機費 1000元/3hr+100/ 30 min無從比較ICP2000元/2hrs+10/min臺大奈米機電系統(tǒng)研究中心:1200 + 40 / min(即開機費1200元)交大半導體中心:開機費 1500元,製作費(Al金屬蝕刻) 1500元/時中區(qū)微機電系統(tǒng)中心:0.8元/秒(操作時間自login開始計算到chamber clean 完成為止)NDL南區(qū)辦公室:0.9元/秒(含人工 0.34元/秒;物料 0.17元/秒;其他

5、 0.39元/秒)切割機開機費 200元/30 min臺大奈米機電系統(tǒng)研究中心:250元/ 2h + 2 / minSpin Coater開機費 100+3/min臺大奈米機電系統(tǒng)研究中心:100+6元/分NDL南區(qū)辦公室:1.2元/秒(含人工 0.32元/秒;物料 0.43元/秒;其他 0.45元/秒)Double Side Mask Aligner開機費400元+ 10元/min臺大奈米機電系統(tǒng)中心:開機費600元+18元/分中區(qū)微機電系統(tǒng)中心:Mask Aligner開機費400元+ 10元/minNDL南區(qū)辦公室:3.8元/秒(含人工 1.2元/秒;物料 1.2元/秒;其他 1.4元/

6、秒)交大半導體中心:900元/片(包含光阻處理、光罩對準)(不包含wafer和Mask材料)Annealing、Diffusion、Oxidation、Furnace開機費 2000元/8hr +200/hr交大半導體中心:1200元/時中區(qū)微機電系統(tǒng)中心:High Temperature Oxide (1000 1150)1臺大奈米機電系統(tǒng)研究中心:元/分RIE開機費 1000元/1hr + 10元/min交大半導體中心: 複晶矽活性離子蝕刻機（RIE）（蝕刻 Poly-Si,Si）開機費1000元,製作費(Poly Si蝕刻) 1000元/時 介電薄膜活性離子蝕刻機(Dielectric-

7、RIE)（蝕刻SiO2,Si3N4）開機費1000元,製作費矽化合物( SiO2,SiN4蝕刻) 1000元/時NDL:1.3元/秒(含人工0.56元/秒; 物料 0.09元/秒;其他 0.65元/秒)中區(qū)微機電系統(tǒng)中心:(A)金屬反應離子蝕刻系統(tǒng) (RIE -200L)35元/sec(從開機到關機)(B)介電層反應離子蝕刻系統(tǒng) (RIE -10NR)0.25元/sec(從開機到關機)4 Point Probe開機費 200元/30 min交大半導體中心:開機費100元+50元/片NDL:0.4元/秒(包含人工 0.18元/秒;物料0.12元/秒;其他0.1元/秒)中區(qū)微機電系統(tǒng)中心:50元/

8、片,另加100元清潔及耗材基本費用-step開機費100元/20min+ 5元/min臺大奈米機電系統(tǒng)研究中心: 8元/分NDL: 0.6元/秒(其他0.6元/秒)Nano spec開機費100元/20min + 5元/min交大半導體中心:開機費 500元,每片兩點內 200元NDL:其他 0.08元/秒)微電鑄槽500元/8hr+100元/ hr無從比較CO2雷射雕刻系統(tǒng)CO2 Laser開機費200元/30min + 5元/min薄膜應力量測儀 700元/次+700元/hr共軛焦 3D 光學表面形貌量測儀Nano Focus200元/hr+50元/分子束磊晶系統(tǒng) Veeco Gen II

9、 (MBE)750元/次+340元/hr奈米壓印-熱壓成型奈米轉印設備 Hot Embossing2,300元/hr奈米壓印-UV光感成型式奈米轉印機 U V Imprinting2,300元/hr原子力顯微鏡 AFM -P7LS500元/hr +200元/0.5hr (探針自備)原子力顯微鏡 AFM -BIO47500元/hr +200元/0.5hr (探針自備)奈米壓痕試驗機及原子力顯微鏡 Nano indenter使用中心探針：500元/hr+探針耗材自備探針：500元/hr借鑽石探針收1,000元/小時奈米三維量測儀及奈米薄膜材料試驗機MTS-XP使用中心探針：150元/hr+探針耗材

10、自備探針：150元/hr固定耗材50元/次探測深度與材料硬度對探針造成損耗，故以此為標準。1)       d500nm、H10GPa為120元/點2)       d1000nm、H10GPa為240元/點3)       H10GPa建議自備探針4)       Nano Vision建議自備探針或依掃描深度與解析度討論價錢微拉曼及微光激發(fā)光譜儀Rama

11、nRaman & PL 550元/ hr + 11元/ min Raman & PL(包括:低溫) 750元/ hr+14元/ min穿透式電子顯微鏡TEM2010400元/hr高解析場發(fā)射掃描穿透式電子顯微鏡TEM2100800元/hrTEM preparation room附屬設備-精密離子研磨機PIPS100元/ hr +50元/30 min掃描式探針顯微鏡SPM1,500元/3hr+400元/ hr雷射掃描共軛焦聚顯微鏡Confocal可見光700元/hr，紫外線雷射1,500元/hr近場掃描式光學顯微鏡NSOM650元/ hr (探針自備)高解析熱電子型場發(fā)射掃描式電子顯微鏡400元/hrSEM-7000-EBW650元/hrSEM-7000-EDS660元/hrSE