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文檔簡介
1、B包.臺式電鏡(含能譜)臺式電鏡+能譜1. 運行環(huán)境1.1. 環(huán)境溫度:22C25C1.2. 相對濕度:w 80%2. 用途:可移動式桌面型材料微觀分析儀,對金屬材 料、非金屬材料、無機材料、有機化合物、 陶瓷材料、半導體材料、化學材料、生物類 樣品等進行表面微觀形貌、組織分布、成分 分析。3. 整套設備原裝進口,設備組成:由臺式電鏡王機、二級電磁透鏡系統(tǒng)、真空 系統(tǒng)、樣品室及自動樣品臺、咼真空二次電 子探測器(SE、高真空背散射電子探測器(BSE、牛津電制冷X射線能譜儀、控制系 統(tǒng)、離子濺射儀、光學減振臺等部分組成。4. 技術指標4.1電子光學系統(tǒng)4.1.1電子槍:發(fā)叉式鎢絲陰極 4.1.2
2、分辨率:高真空二次電子像 < 5.0nm 30kV SE 4.1.3加速電壓范圍:1kV 30kV (30檔連 續(xù)可調) 4.1.4放大倍數(shù)范圍:20X 150, 000X,連 續(xù)可調 4.1.5三級電磁透鏡系統(tǒng):二級聚光鏡+物 鏡,二級電磁透鏡系統(tǒng)。4.2真空系統(tǒng)4.2.1抽真空系統(tǒng):渦輪分子泵+機械泵, 不需要冷卻水4.2.2樣品室最高真空度:優(yōu)于4X103Pa4.2.3抽真空時間:w 2分鐘 4.3自動樣品臺:三軸馬達驅動,X >35mm,Y >35mm,T (045° ) 4.4 SE探測器:高真空二次電子探測器(SE 1 套; 4.5 BSE探測器:高真空
3、背散射電子探測 器(BSE 1套;4.6不少于6個接口,配備X射線能譜儀接口 4.6圖像處理系統(tǒng)4.6.1配套計算機系統(tǒng):不低于 CPU主頻3.0GHz, RAMBG 硬盤1T,光盤刻錄機,24 液晶顯示屏,鍵盤,鼠標,USE接口1臺462存儲圖像格式:TIFF、BMP與 JPEG463 圖像模式(像素):RED選區(qū)(320X 240), TV( 640X 480), SLO(800X 600), Photo (1280X 960,2560 X 1920,5120 X 3840).4.7能譜儀(EDS部分技術指標4.7.1 該設備可與臺式掃描電鏡配套使 用,用于材料的微區(qū)成分分析4.7.2技術
4、指標及配置4.7.2.1 探測器:分析型SDD硅漂移電制 冷探測器,20mm有效面積,超薄窗設計,無 需液氮冷卻,僅消耗電能.4.7.2.2 能量分辨率:Mn Ka保證優(yōu)于 129eV,元素分析范圍:B5Pu944.7.2.3 圓形對稱芯片,最大程度地減少 低能端的能量損失4.7.2.4 FET場效應管同陽極獨立封裝,避 免X射線的轟擊4.7.2.5 譜峰穩(wěn)定性:1,000cps到 100,000cps,Mn Ka峰譜峰漂移小于1eV 4.7.2.6具備零峰修正功能,可以快速穩(wěn)定 譜峰,開機后無需重新修正峰位。4.2.7.8 脈沖處理器與圖形處理器均與 計算機米用分立式設計。4.2.7.9 能
5、譜應用軟件米用最新的AZtecOne平臺,基于 Win7技術,多 線程設計,導航器界面4.2.7.10 高帽濾波法,自動扣除背底4.2.7.11 譜定性分析:可自動標識譜峰, 可進行譜重構,對重疊峰進行手動峰 剝離4.2.7.12 定量分析:米用XPP定量修正 技術,對探測器硬件進行的全面 Q-CAL修正。4.2.7.13 圖像分辨率最高可達 2048*2048, 元素面分布圖分辨率最咼可達 1024*1024。4.2.7.14 具備全譜面分布分析功能。一 次面分布分析即可存儲每一掃描位置 (x, y)的所有元素的信息,用戶隨后 可以在離線狀態(tài)下從圖像上的任何位 置重建譜圖和面分布圖.并可在任
6、意 位置重構線掃描結果。4.2.7.15 具備全譜線掃描分析功能。一次線掃描分析即可存儲所有元素的信 息。427.16可將電鏡圖象傳輸?shù)侥茏V儀的顯示器上,并以該圖為中心做微區(qū)分析。4.2.7.17制造符合IS09001標準4.8原裝進口離子濺射儀4.8.1自動真空控制,條件設置簡單,可以實現(xiàn)快速抽真空(2min);4.8.2完成鍍膜后可以自動卸載真空。4.8.3旋片式機械真空泵:100L/min(60Hz)4.8.4靶的尺寸:直徑50mm4.8.5樣品室內(nèi)徑:100mm4.8.6離子流控制范圍:19mA4.9控制系統(tǒng)4.9.1基于操作系統(tǒng) Windows7的電鏡操作控制軟件4.9.2自動控制功
7、能:電子槍飽和/電子槍對 中/電子槍偏壓/亮度對比度/聚焦4.10、圖像處理分析軟件4.10.1圖像標注編輯存儲4.10.2長度、角度,面積等測量功能4.10.3實時圖像灰度直方圖顯示5、產(chǎn)品配置要求5.1主機系統(tǒng)1套5.2真空系統(tǒng)1套5.3自動樣品臺1套5.4 SE探測器:高真空二次電子探測器(SE)1套;5.5 BSE探測器:高真空背散射電子探測器(BSE 1 套;5.6三級電磁透鏡電子光學系統(tǒng)1套;5.7電鏡控制系統(tǒng)1套5.8牛津電制冷X射線能譜儀1套5.9原裝進口離子濺射儀1套5.10電子槍燈絲50支5.11其它必備備品備件1套5.12光學減振臺1套5.13制樣附件:5.13.1、金相
8、試樣切割機主要參數(shù):最大切割截面:85X 85mm轉速:2800r/min;砂輪片規(guī)格:300X 2X 32mm電 動 機:Y100L2-2, 3kV,380V, 50Hz5.13.2、雙速金相試樣磨拋機.主要參數(shù):磨拋盤直徑:230mm;砂紙直徑:230mm轉速:500 r/min , 1000 r/min;電動 機:YS7124 0.55KW 380V, 50Hz5.13.3、電解拋光腐蝕儀技術參數(shù):電流強度調節(jié)范圍:05A (32V DC);時間精度:1S (默認時間設定90S); 不耐酸銹鋼標準谷器組,電腐蝕圈大?。?0;配不銹鋼容器。6.技術服務:6.1設備安裝調試:電鏡到貨后,根據(jù)買方的 時間安排,賣方盡快安排儀器的安裝調試和 驗收。6.2技術培訓6.2.1標準培訓:儀器安裝調試后,安裝工 程師對用戶操作人員進行不少于 3天的現(xiàn)場 操作培訓。技術人員使用3-6個月后,需免 費安排23人到應用實驗室進行咼層次的應 用培訓。6.2.2提供終身免費培訓:在儀器使用期內(nèi), 提供不限時間,不限名額的終身免費培訓。6.3保修期:提供一年保修服務,保修期從儀 器驗收合格、雙方簽署驗收報告之日算起。 保修期內(nèi),儀器的零配件費用、人工費用
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