ZYGO干涉儀使用說明書

1、精品文檔作業(yè)文件文件編號ZYGOF涉儀使用說明版本/修訂貝碼1/81目的為了使員工正確熟悉的使用ZYGOF涉儀。本文詳細(xì)說明了如何使用ZYGOT 涉儀來測試晶體的平行度、波前、平面度等指標(biāo)。2范圍本文件涉及用ZYGOF涉儀檢測平面元件的一般方法。3錄取數(shù)據(jù)在檢驗(yàn)過程中將會生成以下記錄：3.1 干涉圖（保存文件名為*Tif ）,在實(shí)時窗口上點(diǎn)擊 FILE-SAVE保存。3.2 測試數(shù)據(jù)（保存文件名為*.Dat ）,測試完成后點(diǎn)擊SAVE DAT睬存。4 Zygo干涉儀的定義4.1 應(yīng)用（application ）應(yīng)用是ZYGOF涉儀中一系列功能的組合，保存為后綴名為“ *.app ”的文 件。不

2、同的應(yīng)用用于不同項(xiàng)目的測量。比較常用的是 GIP.app用于一般的平面 和球面的測量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的測量，Angle.app用于平行角 度的測試。4.2 貓眼像（cateye ）又稱為標(biāo)準(zhǔn)鏡的像。標(biāo)準(zhǔn)鏡的出射光在焦點(diǎn)處被返回時出現(xiàn)的干涉條紋，是透過干涉儀的光線與和它對稱的標(biāo)準(zhǔn)面之間的干涉圖形。4.3 鏡片像從標(biāo)準(zhǔn)鏡出射的光在整個零件表面被原路反射回來與標(biāo)準(zhǔn)面的反射光發(fā)生 干涉產(chǎn)生的干涉圖形。包含待測零件的表面或波前信息，是面形檢測的主要信息 來源。4.4 升降臺可以升降的平臺，帶有小傾角調(diào)節(jié)功能，一般用于放置平面元件。4.5 Align/View 模式按下控制盒

3、上的align/view 切換的2個模式之一。align模式可以看到一 個黑色固定的十字線和反射回干涉儀的光點(diǎn)，一般用于零件對準(zhǔn)，特點(diǎn)是視場較大。View模式是按下控制盒上的align/view 切換的2個模式之一，可以看到 干涉條紋，特點(diǎn)是放大率較高，但是視場較小。一般在align界面對準(zhǔn)后在view 界面觀察條紋。作業(yè)文件文件編號ZYGOF涉儀使用說明版本/修訂貝碼2/84.6標(biāo)準(zhǔn)鏡干涉儀上使用的參考表面，用于生成理想的平面、球面波，作為測量基準(zhǔn)4.7 長度基準(zhǔn)設(shè)定圖像的長度基準(zhǔn)，因?yàn)榉糯舐什煌蛘咔舛炔煌瑯哟笮〉母缮鎴D 所代表的零件大小可能有很大的差異。設(shè)定長度基準(zhǔn)的目的就是告訴干

4、涉儀圖形 中的一段長度相當(dāng)于鏡片中長度的多少，方便控制測量區(qū)域和設(shè)定掩膜。4.8 掩膜（mask）表明干涉圖中有效區(qū)域的工具?？梢愿鶕?jù)需要設(shè)定有效區(qū)域的形狀、大小、 位置，也可以從有效區(qū)域中挖去一部分不需要的。5職責(zé)主要包括以下幾個方面：5.1 zygo干涉儀使用和維護(hù)部門為品管部。品管部經(jīng)理負(fù)責(zé)保證過程實(shí)施 所需的培訓(xùn)及資源。5.2 按照校準(zhǔn)計(jì)劃對設(shè)備定期檢定。5.3 指定的儀器使用者需保證使用過程按按照操作規(guī)程操作儀器。5.4 定期對設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)。6操作主要內(nèi)容.6.1 開機(jī)依次開啟ZYGO示器電源，機(jī)箱控制面板上電源按鈕：MASTERMONITORAUX1 AUX2以及干涉儀主機(jī)箱右側(cè)下

5、方 POWER6.2 運(yùn)行程序進(jìn)入 Windows后，雙擊桌面上的Metropro.exe （如圖一）操作軟件，運(yùn)行 程序，進(jìn)入ZYGOW試操作桌面。啟動完成后會自動進(jìn)入 GPI.app,如果沒有， 關(guān)閉當(dāng)前的窗口，待其縮小為按鈕后，在應(yīng)用選擇窗口中點(diǎn)擊相應(yīng)的應(yīng)用。圖一6.3 平行度測試作業(yè)文件文件編號ZYGOF涉儀使用說明版本/修訂貝碼3/8主要測試步驟如下：6.3.1 按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW/,使監(jiān)視器處于排列 狀態(tài)。扭動參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕， 調(diào)整鏡面方向，使得反射鏡反射回的最 亮光斑與十字分劃線交點(diǎn)重合。完成后,按遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIE

6、W, 使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。雙擊 ZYGCRJ試操作桌面中angle.app按鈕進(jìn)入平行測 試操作界面。6.3.2 調(diào)整好后將待測晶體放置到樣品支架上，通過觀察監(jiān)視器調(diào)整晶體， 使晶體垂直于測試光（監(jiān)視器中晶體邊緣清晰可見。）6.3.3 點(diǎn)擊操作界面左下角Measure Controls 對話框中的Refractiveindex,錄入待測晶體的折射率（選擇 632.8nm時對應(yīng)晶體的折射率，如圖二） 按回車鍵確定。圖6.3.4 點(diǎn)擊測試界面左上角的Calibrate 按鈕，在彈出的對話界面中點(diǎn)擊Fringe按鈕，對話框中圖像顯示會進(jìn)行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。使用鼠標(biāo)標(biāo)記 晶體通光面寬度，

7、在彈出的對話框中，錄入晶體通光面寬度，按回車鍵確定。6.3.5 點(diǎn)擊測試界面中左上角 Mask Data按鈕（如圖三、四所示），在彈出的有 動態(tài)圖像的對話框中，首先從下部選項(xiàng)中選擇晶體外形標(biāo)定（例如正方形則選擇 square）。在動態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出 晶體。并在動態(tài)圖像上方無晶體的空間內(nèi)， 選擇與待測晶體規(guī)格相近的區(qū)域， 此 區(qū)域?qū)⒆鳛閰⒖紖^(qū)域。作業(yè)文件文件編號ZYGOF涉儀使用說明版本/修訂貝碼4/8圖三然后，點(diǎn)擊下部選項(xiàng)中的BG Inc使該按鈕變?yōu)锽G EXC鎖定選擇區(qū)，點(diǎn)擊Define ,定義Acq。之后點(diǎn)擊Test,選擇Unfill ,去除最后標(biāo)定

8、的參考區(qū)域,9歡在下載圖四點(diǎn)擊De巾ne ,定義Test （晶體測試區(qū)域）。再點(diǎn)擊Ref,選擇Fill ,添加最intensity MapWedge Mag16.0 secWedge Ang48, UllllllllllllllseaTria: 0后標(biāo)定的參考區(qū)域，點(diǎn)擊Pick，然后用鼠標(biāo)點(diǎn)擊待測晶體區(qū)域邊框，選才¥ Unfill 去除晶體待測區(qū)域，點(diǎn)擊 Define ,定義Ref （參考區(qū)域）。6.3.6 點(diǎn)擊測試界面中左上角 Measure按鈕，系統(tǒng)進(jìn)行自動測算。當(dāng)監(jiān)視器 中左下角出現(xiàn) Wedge X.X sec （表示被測量器件兩表面的夾角為 X.X秒）時，記 錄下此時X.X即

9、為晶體的平行度。測試完畢后關(guān)閉平行度測試操作界面，點(diǎn)擊 左上角X符號，退回到ZYGOE測試操作桌面。作業(yè)文件文件編號ZYGOF涉儀使用說明版本/修訂 貝碼5/86.4平面度測試6.4.1 調(diào)整監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW/,使監(jiān)視器處于排 列狀態(tài)。移除標(biāo)準(zhǔn)參考反射鏡面，將晶體放置到樣品支架上，調(diào)整晶體方向，使 其反射回的光斑與十字分劃線交點(diǎn)重合。完成后，按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換 鍵，使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。點(diǎn)擊 ZYGOM試操作桌面中GPI.app按鈕進(jìn)入平面 度測試操作界面。6.4.2 點(diǎn)擊測試界面左上角的 Calibrate按鈕（如圖五所示），在彈出的對 話界面中點(diǎn)擊F

10、ringe按鈕，對話框中圖像顯示會進(jìn)行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中 畫面。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對話框中，錄入晶體通光面寬度， 按回車鍵確定。6.4.3 點(diǎn)擊測試界面中左上角 Mask Data按鈕（如圖五所示），在彈出的有 動態(tài)圖像的對話框中，首先從下部選項(xiàng)中選擇晶體外形標(biāo)定（例如正方形則選擇 square）。在動態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出 晶體。點(diǎn)擊Define ,定義待測區(qū)域。6.4.4 點(diǎn)擊測試界面中左上角 Measure按鈕，系統(tǒng)進(jìn)行自動測算。當(dāng)監(jiān)視器 中左上角出現(xiàn) PV X.XXX Wave （表示被測樣品最高點(diǎn)與最低點(diǎn)之間的距離為 X.XX

11、X入）時（如圖六所示），記錄此時X.XXX即為晶體的平面度值。測試完畢后 關(guān)閉測試操作界面，點(diǎn)擊左上角 X符號，退回到ZYGOE測試操作桌面。圖五圖六6.5波前畸變測試主要測試步驟如下：6.5.1 調(diào)整監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW,使監(jiān)視器處于排 列狀態(tài)。扭動參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)整鏡面方向，使得反射鏡反射回的作業(yè)文件文件編號ZYGOF涉儀使用說明版本/修訂貝碼6/8最亮光斑與十字分劃線交點(diǎn)重合。完成后，按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW/,使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。點(diǎn)擊 ZYGOM試操作桌面中 GPI.app 按鈕進(jìn)入波面測試操作界面。6.5.2 將待測

12、晶體放置到樣品支架上，通過觀察監(jiān)視器調(diào)整晶體，使晶體垂 直于測試光（監(jiān)視器中晶體邊緣清晰可見）。6.5.3 點(diǎn)擊測試界面左上角的 Calibrate 按鈕，在彈出的對話界面中點(diǎn)擊 Fringe按鈕，對話框中圖像顯示會進(jìn)行更新，鎖定并顯示監(jiān)視器中畫面。使用鼠標(biāo) 標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對話框中，錄入晶體通光面寬度，按回車鍵確定。6.5.4 點(diǎn)擊測試界面中左上角MaskData按鈕，在彈出的有動態(tài)圖像的對話 框中，首先從下部選項(xiàng)中選擇晶體外形標(biāo)定（例如正方形則選擇square）。在動態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。點(diǎn)擊 Define ,定義待測區(qū)域。6.5.5 點(diǎn)

13、擊測試界面中左上角 Measure按鈕，系統(tǒng)進(jìn)行自動測算。當(dāng)監(jiān)視器 中左上角出現(xiàn) PV X.XXX Wave （表示被測樣品最高點(diǎn)與最低點(diǎn)之間的距離為 X.XXX入）時，記錄此時X.XXX即為晶體的波面數(shù)值（如圖五所示）。測試完畢后 關(guān)閉波面測試操作界面，點(diǎn)擊左上角 X符號，退回到ZYGQfc測試操作桌面。7細(xì)節(jié)說明和結(jié)語7.1 安全要求7.1.1 測量過程中，注意對透鏡的防護(hù)，尤其是表面和邊角容易損壞的部位。7.1.2 標(biāo)準(zhǔn)鏡使用時要插入到位，螺絲擰緊。不用時要擺放到盒子中避免意 外損壞。7.1.3 使用干涉儀測量面形主要包括以下步驟：開機(jī)，選擇、安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡， 找到待測零件表面干涉條紋，輸入

14、零件號等相關(guān)信息，設(shè)定長度基準(zhǔn)，取掩膜， 測量，結(jié)果保存和打印。不同的零件在找干涉條紋和一些設(shè)定方面有所區(qū)別，但是基本步驟差不多。7.2 選擇、安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡選擇：平面和柱面選擇平面標(biāo)準(zhǔn)鏡 TF,球面選擇球面標(biāo)準(zhǔn)鏡。球面標(biāo)準(zhǔn)鏡 在選擇的時候要考慮鏡片的曲率半徑和口徑，參照J(rèn)EMizar的標(biāo)準(zhǔn)鏡選擇。安裝：將標(biāo)準(zhǔn)鏡的兩個插銷對準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)鏡安裝支架上的卡口插入，旋轉(zhuǎn)，安裝到 位，旋轉(zhuǎn)鎖死螺釘固定好。按下控制盒上align/view 切換到align模式，將光 點(diǎn)作業(yè)文件文件編號ZYGOF涉儀使用說明版本/修訂貝碼7/8調(diào)到十字線的中心。7.3 尋找干涉條紋平面：將待測面正對干涉儀主機(jī)放置到升降臺上， 如果

15、是楔角較小的平片或 者直角棱鏡之類的可能需要把背面事先涂上凡士林來消除雜光影響。按下控制盒上的align/view 按鈕切換到align模式，調(diào)整待測零件的俯仰和水平旋轉(zhuǎn)在動 態(tài)窗口中找到零件表面反射回來的光點(diǎn)，并將其調(diào)整到十字線中心。再次按下 align/view 按鈕切換到view模式，微調(diào)零件或者標(biāo)準(zhǔn)鏡的俯仰和水平旋轉(zhuǎn)， 將條紋調(diào)到3根左右。球面：將鏡片夾到六位調(diào)整架上，彳f測面正對干涉儀主機(jī)。切換到 view界 面，沿導(dǎo)軌前后移動調(diào)整架至干涉儀的出射光聚焦到零件表面（可用一張小紙條貼于零件表面觀察）。此時干涉儀中出現(xiàn)的條紋稱為貓眼像 （cateye）,也常稱作 標(biāo)準(zhǔn)鏡的像。調(diào)整六位調(diào)整

16、架，使零件上下移動把條紋調(diào)到充滿整個視場，微調(diào)標(biāo)準(zhǔn)鏡的位置，使得條紋對稱。凸面靠近，凹面遠(yuǎn)離干涉儀主機(jī)尋找表面像，緊 盯剛才找到的貓眼條紋，它會漸漸變小然后又慢慢變大，再次變大的條紋就是零 件的表面像，微調(diào)六維調(diào)整架將條紋調(diào)到3根。在整個尋找過程中，光點(diǎn)可能會移動，通過調(diào)整來保持光點(diǎn)始終在屏幕中心。如果僅僅要測量面形，找到像之后進(jìn)入步驟9.4即可；如果還要測量曲率半徑，則在找到鏡片表面像之后按下 光柵尺面板上的“ X”按鈕讓示數(shù)歸零，再次回到貓眼像位置，此時光柵尺的示數(shù) 即為待測零件的曲率半徑。注意：整個回歸貓眼的過程中不可觸碰任何調(diào)整旋鈕。 柱面：柱面的情況比平面和球面要復(fù)雜一些，除了要使用

17、平面標(biāo)準(zhǔn)鏡以外還需要使用一塊柱面輔助鏡CGH使用時，切換到align模式，將CGH的平面對準(zhǔn)干 涉儀，調(diào)整左右旋轉(zhuǎn)，把第3個光點(diǎn)調(diào)到十字線中心。切換到 view模式，微 調(diào)標(biāo)準(zhǔn)鏡位置，把CGH周圍的圓環(huán)調(diào)到無條紋，然后再切換到 align模式。將 待測柱面母線按與CGH平行的方向放置到調(diào)整架上，移動調(diào)整架至CGH焦點(diǎn)處， 微調(diào)待測柱面的左右偏轉(zhuǎn)，在電腦屏幕中看到有一個現(xiàn)狀亮斑， 微微旋轉(zhuǎn)柱面的 母線方向，使得母線方向與 CGH的母線方向完全一致，此時屏幕中看到一 條細(xì)亮的豎線。調(diào)整前后將細(xì)線縮小成點(diǎn)，并調(diào)整到十字線中間。切換到view模 式，再次微調(diào)柱面的旋轉(zhuǎn)和角度將條紋調(diào)正，微調(diào)前后將條紋在

18、弧面方向調(diào)直。7.4 輸入零件信息,點(diǎn)擊 measurement control 按鈕，在 part number 欄中輸入貨號， serial number欄中輸入零件編號。作業(yè)文件文件編號ZYGOF涉儀使用說明版本/修訂貝碼8/8如果測量的是球面還需要在ISO10110窗口中輸入曲率半徑標(biāo)稱值、 實(shí)測值、 測試波長、零件有效口徑。7.5 設(shè)定長度基準(zhǔn)點(diǎn)擊calibrate 按鈕，在彈出的窗口中劃一條已知長度的線，并在彈出的 窗口中輸入長度。一般平面可以以零件邊緣或者標(biāo)準(zhǔn)鏡邊緣為基準(zhǔn)，球面可以以干涉圖形的邊緣作為基準(zhǔn)。如果測量不到整個面面形的球面按照 R/ (F/#)計(jì)算實(shí)際測量的口徑，作為長度基準(zhǔn)。7.6 取掩膜自動掩膜：測量圓形(球形)零件的時候，可以使用自動掩膜功能，按一定 的百分比選取有效測量區(qū)域。點(diǎn)擊 analysis control按