二維微操作平臺壓電陶瓷驅(qū)動器矩陣法動力學(xué)建模干擾觀測器自適應(yīng)滑模控制論文_第1頁
二維微操作平臺壓電陶瓷驅(qū)動器矩陣法動力學(xué)建模干擾觀測器自適應(yīng)滑??刂普撐腳第2頁
二維微操作平臺壓電陶瓷驅(qū)動器矩陣法動力學(xué)建模干擾觀測器自適應(yīng)滑??刂普撐腳第3頁
二維微操作平臺壓電陶瓷驅(qū)動器矩陣法動力學(xué)建模干擾觀測器自適應(yīng)滑模控制論文_第4頁
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文檔簡介

1、面向生物工程的精密定位機(jī)構(gòu)及其動力學(xué)特性研究【摘要】 精密定位技術(shù)在一定程度上體現(xiàn)了一個國家的制造水平和科技實力。隨著生物醫(yī)學(xué)的快速發(fā)展,基于精密定位技術(shù)的顯微操作技術(shù)在細(xì)胞操作領(lǐng)域也得到了大力發(fā)展。由于細(xì)胞操作的特殊性,要求面向生物工程的精密定位系統(tǒng)應(yīng)具有毫米級的工作行程和亞微米級的定位精度。本文結(jié)合教育部博士點基金項目“生物細(xì)胞顯微操作機(jī)器人關(guān)鍵技術(shù)研究”(No.20090095110012)和江蘇省高等學(xué)校研究生培養(yǎng)創(chuàng)新工程“微動工作臺微位移檢測及誤差補(bǔ)償方法研究”(No.CX09B109Z),在吸收和借鑒相關(guān)領(lǐng)域的新思路、新技術(shù)的基礎(chǔ)上,采取理論研究、有限元仿真和實驗驗證相結(jié)合的方法,

2、對壓電式微操作平臺系統(tǒng)的解耦型大行程微操作平臺的構(gòu)型設(shè)計、靜力學(xué)和動力學(xué)建模技術(shù)、微操作平臺的控制技術(shù)等方面進(jìn)行了研究。緊密聯(lián)系面向生物工程的精密定位系統(tǒng)的技術(shù)需求,設(shè)計了一種新型基于直角柔性鉸鏈的集柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和橋式微位移放大機(jī)構(gòu)于一體的全對稱解耦型大行程二維微操作平臺??紤]到柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和橋式微位移放大機(jī)構(gòu)對二維微操作平臺的性能影響,根據(jù)結(jié)構(gòu)的對稱性,利用半結(jié)構(gòu)模型建立了柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的靜剛度模型,利用四分之一模型建立了橋式微. 更多還原【Abstract】 Precision positioning technology reflects the manufacturing le

3、vel andtechnology capabilities of a country. With the rapid development of biomedicalengineering, Micromanipulation technique based on precision positioningtechnology also greatly develops in the field of cell manipulation. Due to theparticularity of cell manipulation, the precision positioning syst

4、em for bioengineeringshould have millimeter working stroke and the displacementresolution to micron or submicron. Based on the Research Fu. 更多還原 【關(guān)鍵詞】 二維微操作平臺; 壓電陶瓷驅(qū)動器; 矩陣法; 動力學(xué)建模; 干擾觀測器; 自適應(yīng)滑??刂?; 【Key words】 two-dimensional microstage; piezo actuator; matrix method; dynamicmodel; distrubance o

5、bserver; adaptive sliding mode controll; 摘要 6-8 Abstract 8-9 Extended Abstract 10-18 圖清單 18-23 表清單 23-24 1 緒論 24-40 1.1 課題研究的背景和意義 24-25 1.2 微操作系統(tǒng)簡介 25-27 1.3 精密定位系統(tǒng)的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 27-36 1.4 課題主要研究內(nèi)容及技術(shù)方案 36-39 1.5 本章小結(jié) 39-40 2 面向生物工程的全對稱解耦型大行程二維微操作平臺的設(shè)計與分析 40-60 2.1 引言 40-41 2.2 全對稱解耦型大行程二維微操作平臺設(shè)計 41-42 2

6、.3 柔性鉸鏈的力學(xué)性能分析 42-48 2.4 柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)靜力學(xué)分析 48-51 2.5 橋式微位移放大機(jī)構(gòu)理論分析 51-54 2.6 二維微操作平臺靜力學(xué)建模研究 54-58 2.7 本章小結(jié) 58-60 3 二維微操作平臺的動力學(xué)建模研究 60-82 3.1 引言 60 3.2 L a g ra n ge 形式的運動微分方程 60-63 3.3 基于有限元方法的柔順導(dǎo)向機(jī)構(gòu)動力學(xué)模型 63-72 3.4 二維微操作平臺動力學(xué)建模 72-80 3.5 本章小結(jié) 80-82 4 基于虛擬樣機(jī)技術(shù)的微操作平臺仿真研究 82-104 4.1 引言 82-83 4.2 A N SY S 軟件及

7、其仿真流程簡介 83-84 4.3 二維微操作平臺有限元模型的建立 84-90 4.4 二維微操作平臺仿真分析 90-102 4.5 本章小結(jié) 102-104 5 壓電式二維微操作平臺控制技術(shù)研究 104-124 5.1 引言 104-105 5.2 壓電式微操作平臺數(shù)學(xué)建模 105-108 5.3 基于干擾觀測器和P ID 的雙回路控制策略研究 108-113 5.4 基于B o u c - W en 逆補(bǔ)償?shù)淖赃m應(yīng)滑??刂撇呗匝芯?113-122 5.5 本章小結(jié) 122-124 6 二維微操作平臺系統(tǒng)實驗研究 124-148 6.1 引言 124 6.2 實驗系統(tǒng)簡介 124-128 6.3 柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)靜剛度實驗 128-130 6.4 橋式微位移放大機(jī)構(gòu)位移放大比實驗 130-132 6.5 二

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