超純水設(shè)備提純技術(shù)概述資料下載

1、超純水設(shè)備提純技術(shù)概述資料下載在半導(dǎo)體工業(yè)中，超純水被用在晶圓的清潔和蝕刻上。 尤其 是晶圓殘?jiān)?，它是造成晶圓工廠中超純水大量消耗的主要原因。 在制藥工業(yè)中，高純度的水可以做為產(chǎn)品的成分之一，也可以在生產(chǎn)加工中使用。潔凈室洗燙業(yè)盡管只占整個(gè)超純水市場(chǎng)的一小 部分份額，但是在潔凈室市場(chǎng)中，他們卻是超純水的一個(gè)主要用 戶。其他對(duì)超純水有使用要求的工業(yè)領(lǐng)域包括液晶顯示器、生物技術(shù)以及實(shí)驗(yàn)室業(yè)務(wù)。超純水是將市政用水在現(xiàn)場(chǎng)提純，減少其中的污染物濃度， 例如，溶解固體和離子，特別是導(dǎo)致水質(zhì)過硬的成分，如鈣和鎂 等。在先進(jìn)國(guó)家購(gòu)買凈水設(shè)備時(shí)，廠商會(huì)隨機(jī)附送安裝及操作、 維護(hù)手冊(cè)，民眾僅需依照手冊(cè)上所說明的事

2、項(xiàng)操作即可。而認(rèn)證單位(在美國(guó)是國(guó)家衛(wèi)生基金會(huì)， NSF會(huì)依照凈水設(shè)備種類及其 相關(guān)文件進(jìn)行測(cè)試，合于標(biāo)準(zhǔn)的凈水設(shè)備才給予認(rèn)證。 在國(guó)內(nèi)則 應(yīng)以通過中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)方法(CNS)的認(rèn)證才是好的凈水設(shè)備，且 民眾應(yīng)找具有完善操作及維護(hù)手冊(cè)及良好售后服務(wù)的凈水設(shè)備 廠商購(gòu)買凈水設(shè)備。該技術(shù)資料由萊特萊德 拉薩超純水設(shè)備 廠家提供每一種凈水設(shè)備均非萬能， 購(gòu)買前應(yīng)先了解凈水設(shè)備功能與當(dāng)?shù)刈詠硭乃|(zhì)狀況，以免浪費(fèi)金錢而又得不到預(yù)期的效果。 例如某些水質(zhì)并不適用于逆滲透法， 在水中含氯或鐵過高， 可能 會(huì)造成薄膜受損。 又如果水中含鐵過高， 則會(huì)損及紫外線殺菌凈 水設(shè)備的效果。此外，使用凈水設(shè)備時(shí)進(jìn)水溫度

3、應(yīng)避免過高，許 多凈水設(shè)備或?yàn)V心在溫度高時(shí)， 處理效果變差， 材料也會(huì)受損并 減少使用壽命。在新使用的濾心型凈水設(shè)備或凈水單元時(shí) ( 包括 活性碳凈水設(shè)備及陽(yáng)離子交換樹脂軟水器) 應(yīng)先使用清水浸泡過至少 15 分鐘以上，或以清水沖洗，以去除濾心中之雜質(zhì)。以逆 滲透凈水系統(tǒng)而言，前置活性碳濾心及逆滲透膜各約需使用 20 公升左右的水沖洗，以去除碳粒及逆滲透膜保存液。一個(gè)典型的200mm晶片廠每個(gè)月生產(chǎn)近40,000個(gè)晶片，每 天需要 2-3 百萬加侖水， 其中百分之七十的水用來生產(chǎn)超凈高純 水(UHPW)這也是晶圓清潔處理的一部分。這些水大部分都被循環(huán)再利用， 或是回收后用于工廠的其他領(lǐng)域。 大

4、約百分之二十的 水用做其他非超凈高純水的用途，例如用于冷卻塔和熱交換器。 剩下百分之十的水用在工廠中與加工過程無關(guān)的部分， 例如， 草 地、盥洗室和灑水系統(tǒng)。制藥業(yè)使用的注射用水 (WFI) 是經(jīng)過進(jìn)一步提純的，用于醫(yī) 學(xué)產(chǎn)品和制藥潔凈室的清洗(CIP)。WFI水是通過蒸餾或反滲透 得到的。潔凈室洗燙業(yè)開發(fā)出了許多不同的衣服清潔方法， 用來處理 被人體的油污、污垢、棉絨以及化學(xué)著色污染的衣服，只留下非 常少的表面殘留物。 這些開發(fā)大多數(shù)都是有專利的， 尤其是水 ( 或 溶劑 )拋光、洗滌用的化學(xué)藥品和配方。其它的進(jìn)步是由于洗燙 環(huán)境發(fā)展到了現(xiàn)代潔凈室水平而出現(xiàn)的。 穿整套潔凈外套的工人、 經(jīng)H

5、EPA過濾的房間和干燥的空氣、 不易脫落的房間和工作表面、 隔離式洗衣機(jī) (BARRIERWASH ER、 )封袋機(jī)以及在處理和傳輸過程 中對(duì)衣服的保護(hù)， 都對(duì)潔凈室服裝的質(zhì)量產(chǎn)生影響。 潔凈室洗燙 最基本的要求是， 他們的清潔設(shè)備要和使用服裝的潔凈室的清潔 設(shè)備一樣好或是更好。這就必須使用高純度的水。典型的半導(dǎo)體工業(yè)超純水系統(tǒng)包括反滲透、 離子交換、 控制 儀器、除氣設(shè)備、過濾設(shè)備、水泵、閥門、儲(chǔ)存、管路和消毒。 超純水系統(tǒng)的每個(gè)組成部分都一直保持高度的純潔是至關(guān)重要 的凈水設(shè)備濾心的更換頻率， 通?？捎蓮S商提供的操作維護(hù)手 冊(cè)中得知，但必須注意通常廠商所用的水質(zhì)條件及產(chǎn)水量是在標(biāo) 準(zhǔn)的狀況

6、下。 使用者必須注意當(dāng)?shù)氐乃|(zhì)狀況及每天用水量是否 與廠商資料不同，如果原水中污染物濃度愈高，用水量愈大，則 更換濾心換頻率應(yīng)愈高。 使用者必須特別注意， 即使濾心更換時(shí) 間未到，但清水水質(zhì)明顯變化、口感變差或系統(tǒng)的產(chǎn)水量降低， 則必須檢查可能造成的原因， 例如管線連接不當(dāng)、 管線或?yàn)V心破 裂，必要時(shí)必須更換管線或?yàn)V心。此外，逆滲透凈水設(shè)備前置粒 狀物濾心更換時(shí)機(jī)除操作說明書上機(jī)外， 若由肉眼判斷濾心已嚴(yán) 重變成土黃色時(shí)，應(yīng)考慮更換。一般而言，自來水水質(zhì)較硬的地區(qū)（如南部地區(qū)）其清洗頻率 要比軟水地區(qū)為高。部分廠牌的蒸餾水機(jī)有使用前置或后置活性 碳濾心，此部分濾心也有一定使用壽命， 必須參考使用說明定期 更換。為減少吸入過多水中揮發(fā)性氣體， 操作蒸餾水機(jī)時(shí)在煮沸 過程中，盡量避免接近機(jī)器的廢氣孔， 在用一般開飲機(jī)或電熱水 瓶，甚至于燒開水時(shí)，也必須注意這一點(diǎn)。比較復(fù)雜的凈水設(shè)備，例如逆滲透凈水設(shè)備系統(tǒng)， 可委托廠 商三個(gè)月至半年維護(hù)一次，自行維修或更換濾心耗材時(shí)， 在拆下 管線或零件時(shí)，可先在管線或零件上作記號(hào)， 以保證重新連接時(shí) 可以接到正確位置。新逆滲透系統(tǒng)機(jī)器或剛更換濾心的機(jī)器，應(yīng)打開水龍頭