半導(dǎo)體生產(chǎn)過程控制程序

1、半導(dǎo)體生產(chǎn)二部過程控制程序兼職廣告任務(wù)網(wǎng)分發(fā)部門總經(jīng)辦管代行政部人力資源部生產(chǎn)一部生產(chǎn)二部生產(chǎn)三部品檢部研發(fā)部市場營銷部采購部財務(wù)部項目部動力保障部文控中心檔案室分發(fā)范圍分發(fā)份數(shù) 1.目 的使生產(chǎn)二部生產(chǎn)各階段處于受控狀態(tài)，確保生產(chǎn)過程及其結(jié)果滿足要求。2.適用范圍 本程序文件適用于生產(chǎn)二部生產(chǎn)所有過程的控制。3.引用文件3.1 生產(chǎn)二部生產(chǎn)過程控制程序 3.2 采購部及供應(yīng)商開發(fā)管理控制程序 3.3 倉庫物料控制程序 3.4 品質(zhì)控制程序 3.5 不合格控制程序 4.職 責(zé)4.1 生產(chǎn)經(jīng)理全面負責(zé)本部門工藝、生產(chǎn)、設(shè)備、動力等正常運轉(zhuǎn)及產(chǎn)能有效匹配，工藝改善生產(chǎn)控制，以及所有異常情況處理或協(xié)

2、調(diào)處理；本部門人事組織安排及管理，主持日常會議及其它日常管理工作，協(xié)調(diào)內(nèi)部各方面關(guān)系，注重效益和團隊作用；實時跟蹤所有物料使用情況信息及初步成本核算，有效進行物料控制，包括供應(yīng)商信息、申購、運輸、貯存、使用、規(guī)格及有效期控制等；分析工藝、生產(chǎn)、設(shè)備、動力數(shù)據(jù)信息，分析解決問題，向公司總經(jīng)理定期匯總上報本部門人事、工藝、生產(chǎn)、設(shè)備、動力、物料、供應(yīng)商、客戶等信息月報；對內(nèi)與市場部、采購部、行政人事部、財務(wù)部等部門溝通相關(guān)事宜，協(xié)調(diào)部門間關(guān)系，對外與供應(yīng)商溝通以處理設(shè)備、物料質(zhì)量、期限、維修保養(yǎng)等信息，以及與客戶溝通產(chǎn)品質(zhì)量、規(guī)格、生產(chǎn)進展情況等；負責(zé)督促、檢查及考核生產(chǎn)主管、生產(chǎn)文員、生產(chǎn)領(lǐng)班、

3、生產(chǎn)站長、技術(shù)主管、工藝工程師、工藝技術(shù)員、設(shè)備主管、設(shè)備工程師、設(shè)備技術(shù)員的工作。4.2 生產(chǎn)主管負責(zé)制定相關(guān)生產(chǎn)操作規(guī)范及相關(guān)制度、表格；組織管理人員的管理培訓(xùn)，新員工的制度培訓(xùn)；能組織相關(guān)人員技術(shù)攻關(guān)和工藝改進,提高產(chǎn)品質(zhì)量和勞動生產(chǎn)率,改善勞動條件,降低消耗；組織解決生產(chǎn)現(xiàn)場出現(xiàn)的問題，分析庇病因素，制定對策并組織實施，保證生產(chǎn)正常進行；對生產(chǎn)進度進行統(tǒng)計和調(diào)控，組織生產(chǎn)，安排加班、延點及人員調(diào)配，確保生產(chǎn)任務(wù)的完成；統(tǒng)計記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)、品質(zhì)異常及改善處理方法。4.3 生產(chǎn)文員負責(zé)定期和不定期向各站長了解物料使用情況，進行領(lǐng)料領(lǐng)片投料投片工作，詳細掌握各物料使用信息（包括數(shù)量、規(guī)格、有效

4、期等）；每周五上午收集各報表（生產(chǎn)、績效、會議PPT等）及整理匯總上報；其它與市場部和采購部相關(guān)溝通工作或文字處理（制定相關(guān)表格）工作等。4.4 生產(chǎn)領(lǐng)班負責(zé)上班工作交接，提出注意事項；負責(zé)組織每班上班前約十分鐘會議，會議內(nèi)容包括工作任務(wù)、紀律、注意事項、分析解決問題；及時向相關(guān)工程師或經(jīng)理上報異常情況，協(xié)調(diào)相關(guān)工程師分析處理問題；協(xié)調(diào)整個生產(chǎn)線正常生產(chǎn)、突發(fā)事件的處理（包括工藝、生產(chǎn)、設(shè)備、工程、人員、安全等）；整班出勤記錄、紀律記錄、異常情況記錄、異常處理情況記錄等。4.5 生產(chǎn)站長負責(zé)協(xié)調(diào)本站操作人員工作安排、倒班安排等；本站工作的培訓(xùn)，包括設(shè)備操作、工藝注意點、工作記錄；負責(zé)本站物料控

5、制（包括數(shù)量、有效期、庫存、供應(yīng)商聯(lián)系等），定期向本部文員反映；負責(zé)每天檢查本站設(shè)備、水電氣、環(huán)境等狀態(tài)，如有異常及時向領(lǐng)班或相關(guān)工程師報告；負責(zé)工藝、生產(chǎn)、設(shè)備使用情況、物料使用情況記錄，以及以上異常情況記錄及如何處理。4.6 技術(shù)主管制定相關(guān)工藝生產(chǎn)規(guī)范及相關(guān)制度、表格，編寫生產(chǎn)作業(yè)指導(dǎo)書；組織新進員工培訓(xùn)，包括制度規(guī)范培訓(xùn)、技術(shù)技能培訓(xùn)；工藝改善，工藝糾正預(yù)防措施，品質(zhì)質(zhì)量保證，工藝生產(chǎn)流程安排；協(xié)助研發(fā)部進行工藝開發(fā)及工藝改善、工藝實驗；能不斷提出高業(yè)務(wù)水平和組織技術(shù)、工藝攻關(guān)；能深入生產(chǎn)現(xiàn)場，協(xié)同質(zhì)量部門對不合格品的審理，及時、有效地處理有關(guān) 技術(shù)問題、技術(shù)難點，并通過技改等措施提高

6、生產(chǎn)效率；統(tǒng)計記錄工藝實驗數(shù)據(jù)、工藝異常及改善處理方法。4.7 設(shè)備主管制定相關(guān)設(shè)備制度，包括設(shè)備使用維修制度、維護保養(yǎng)制度（點檢、周檢、月檢、季檢、年檢計劃等）、備件庫建立（包括數(shù)量、規(guī)格、供應(yīng)商信息、價格等）、操作規(guī)范等；負責(zé)整個生產(chǎn)線設(shè)備維修維護保養(yǎng)、定期或不定期進行設(shè)備和水電氣檢查并記錄信息；善于發(fā)現(xiàn)異常前兆防患于未然、立即處理站長領(lǐng)班報告的設(shè)備水電氣相關(guān)問題、制定設(shè)備維修維護時間表、及時與供應(yīng)商溝通處理相關(guān)問題；與工藝生產(chǎn)工工程充分溝通、協(xié)調(diào)工藝生產(chǎn)正常進行；統(tǒng)計記錄設(shè)備使用情況、異常情況及處理措施。4.8 倉庫庫管員根據(jù)領(lǐng)料單負責(zé)原材料的發(fā)料，根據(jù)入庫單負責(zé)成品或半成品的收料，要求

7、單、物、數(shù)相符。5.PPS制造環(huán)境要求及控制流程5.1 工作（生產(chǎn)環(huán)境）要求如下：溫度要求：22±1濕度要求：45%±5%潔凈度要求：黃光室1000級，ICP、清洗間、檢測等為10000級。5.2 PSS制造(控制)流程程序如下圖6.生產(chǎn)過程的控制流程6.1COA作業(yè)控制作業(yè)要求.1Track20分鐘未進行COA作業(yè)時，需空排光刻膠3秒以上，然后作業(yè)；.2嚴格按照coating作業(yè)指導(dǎo)書選擇所需COA程式進行作業(yè)。檢測及作業(yè)內(nèi)容.1作業(yè)時機臺無異常聲音，要求每周對勻膠Chuck進行轉(zhuǎn)速測量及校正；.2光刻膠無過期；.3勻膠后目測晶片外觀色澤均勻完整、無其他異常；要求抽檢3片

8、/每盒（按順序第1、10、20片）；.4顯微鏡下檢查晶片表面無刮痕或掛橫1mm；要求抽檢3片/每盒.5目測晶片表面無光刻膠脫落或脫落面積2m；要求抽檢3片/每盒（按順序第1、10、22片）；.6用膜厚儀對光刻膠進程厚度測量，要求每8小時抽測3批，每片測量5個點，分別為上、中、下、左、右；光刻膠要求厚度為：3.00±0.05um； .7計算光刻膠均勻性；測量公式(max-min)/(max+ min)，要求wafer to wafer 2%;。6.2 EXP作業(yè)控制作業(yè)要求.1不同曝光機選擇正確合適的cassette及曝光時間進行曝光；曝光時，wafer正面朝上；.2作業(yè)過程中注意機臺

9、運行情況。檢測及作業(yè)內(nèi)容.1曝光后觀察光刻膠外觀及色澤，要求外觀完整，色澤均勻；每批抽檢1片；有異常則返工并對整批進行檢查；.2光刻膠無刮痕，或刮痕1mm；.3晶片表面無污染；.4未顯影的晶片嚴禁帶出黃光室或用顯微鏡對其檢測。6.3DEV作業(yè)控制、作業(yè)要求.1作業(yè)前先確保DI水壓正常；.2嚴格按照作業(yè)要求選擇所需程式進行作業(yè)；.3查看顯影液回收桶有無裝滿。檢測及作業(yè)內(nèi)容.1用共聚焦顯微鏡對光刻膠顯影后尺寸進行測量；要求：Height:1.31.7umBottom:2.32.6um，每批抽檢2片；.2目測顯影后光刻膠邊寬要求圓邊2mm,平邊4mm，3片/每盒（按順序第1、10、20片），不合格即

10、返工；.3目檢/顯微鏡檢查光刻膠表面無刮痕，或刮痕1mm 3片/每盒,不合格即返工；.4顯影后無局部脫膠，或脫膠2m；.5顯微鏡下觀察無明顯過顯影或顯影不足現(xiàn)象；.6顯微鏡100倍下觀察曝光場與場之間有無疊加、錯位、分離、色差明顯等現(xiàn)象。6.4 BAKE作業(yè)控制作業(yè)要求.1作業(yè)前先確保oven溫度為130±5度，并已穩(wěn)定；.2片子流出黃光室應(yīng)從傳遞箱流出；.3計時器應(yīng)帶鬧鐘功能，避免忘記。檢測及作業(yè)內(nèi)容.1每批抽檢1片，檢查光刻膠表面有無異常。6.5 ICP作業(yè)控制作業(yè)要求.1使橡皮圈均勻分布在底盤的各個小槽上；.2把蓋子用螺絲力度均勻（用扭力螺絲刀擰緊）地固定在托盤上；.3按要求選

11、擇合適程序進行ICP制程；.4注意三氯化硼流量、腔體壓力，氦氣流量，RF1功率，RF2功率的設(shè)置于變化，異常情況要及時解決；.5每三個RUN做一次腔體清潔；.6作業(yè)過程中，工作人員不得離開崗位。檢測及作業(yè)內(nèi)容.1用共聚焦顯微鏡9點檢查法，檢測圖形規(guī)格；B5C：Depth:1.85±0.1，Bottom:2.90±0.2，Uniformity:5%；BOA：Depth:1.31.7um，Bottom:2.32.6um，Uniformity:5%，要求每7片抽檢1片，不合格即通知工藝工程師；.2用共聚焦顯微鏡檢查5點圖形的深度，要求均勻性5%；.3用顯微鏡或共聚焦顯微鏡檢查圖形

12、有無過蝕刻或蝕刻不足現(xiàn)象；.4用顯微鏡檢查晶片表面有無凸丘、凹坑、殘膠或其他異物；.5任何異常均需詳細記錄。6.6 BATH及SRD作業(yè)控制作業(yè)要求.1要區(qū)分有機清洗、無機清洗和有機+無機清洗；.2查看溶液是否需要更新；.3選擇適當?shù)某绦蜻M行甩干作業(yè)。檢測及作業(yè)內(nèi)容.1清洗溶液溫度是否達標；.2沖水時間是否足夠；.3沖水后放入SRD旋干機中甩干，詳細操作見: SNS-WI-S2-501 A0 甩干機操作規(guī)范.4晶片表面是否有頑固性（殘膠）污漬難以去除，如果有，可采取棉簽拭擦方式將其清除。6.7 PACKING作業(yè)控制任何產(chǎn)品必須經(jīng)過檢驗員確認檢驗合格才能包裝；產(chǎn)品包裝前先對前道工序進行復(fù)檢；包

13、裝時必須做到產(chǎn)品表面、接縫等隱蔽處無灰塵、無油漬；包裝時如發(fā)現(xiàn)工件有質(zhì)量問題需返工返修時，應(yīng)及時補齊；不能補齊時應(yīng)及時做出反饋，以免耽誤出貨；包裝過程中要保證在產(chǎn)品正常搬運過程中撞擊、嚴重傾斜的現(xiàn)象；包裝完后，貼上料號標簽入庫。7.生產(chǎn)考核7.1生產(chǎn)部負責(zé)對生產(chǎn)班組的計劃完成率、工序一次交驗合格率、產(chǎn)品出廠合格率考核。7.2生產(chǎn)班組負責(zé)對生產(chǎn)員工的工時定額完成情況考核，勞動紀律和工藝紀律考核。8.批次管理8.1各工序的加工作業(yè)都必須按PSS作業(yè)記錄單規(guī)定的品種、批次號、批次數(shù)量進行。8.2每批產(chǎn)品均有相對應(yīng)的PSS作業(yè)記錄單。8.3每天的加工完成情況須如實反映在生產(chǎn)二部生產(chǎn)報表上。9.特殊過程

14、的質(zhì)量控制9.1本公司的特殊過程包括：黃光工站。 ICP工站。9.2特殊過程要實行三定：定工藝，定設(shè)備，定人員。9.3特殊過程的質(zhì)量保證主要是通過工藝參數(shù)的監(jiān)控及測試儀的檢測來保證，各相關(guān)人員要做好相關(guān)記錄和設(shè)備上的儀器、儀表的監(jiān)控。當發(fā)現(xiàn)問題時應(yīng)立即報告生產(chǎn)主管及工程師來解決。10.支持文件10.1 coating作業(yè)指導(dǎo)書 SNS-WI-S2-101-A010.2 TRACK換液（丙酮、PR、顯液）規(guī)范 SNS-WI-S2-001-A010.3 stepper作業(yè)指導(dǎo)書 SNS-WI-S2-201-A010.4 Develop作業(yè)指導(dǎo)書 SNS-WI-S2-301-A010.5 Coria

15、l ICP作業(yè)指導(dǎo)書 SNS-WI-S2-401-A010.6 Corial ICP零部件清洗作業(yè)規(guī)范 SNS-WI-S2-402-A010.7 ELEDE ICP作業(yè)指導(dǎo)書 SNS-WI-S2-403-A010.8 ELEDE ICP零部件清洗作業(yè)規(guī)范 SNS-WI-S2-404-A010.9 SLR 作業(yè)指導(dǎo)書 SNS-WI-S2-405-A010.10 SLR 零部件清洗作業(yè)規(guī)范 SNS-WI-S2-406-A010.11 甩干機操作規(guī)范 SNS-WI-S2-501-A010.12 清洗間操作規(guī)范 SNS-WI-S2-60110.13 去膠作業(yè)規(guī)范 SNS-WI-S2-60210.14 硫酸溶液安全使用規(guī)范 SNS-WI-S2-60310.15 成品包裝機作業(yè)規(guī)范 SNS-WI-S2-70110.16 光學(xué)膜厚儀操作規(guī)范 SNS-WI-S2-80110.17 晶片夾取及倒片操作規(guī)范 SNS-WI-S2-90110.18 生產(chǎn)二部崗位職務(wù)說明書 SNS-WI-S2-90210.19烤箱操作規(guī)范指導(dǎo)書 SNS-WI-S2-802 11.質(zhì)量記錄11.1 投片記錄單 SNS-QR-S2-051 11.2 黃光室工藝記錄單 SNS-QR-S2-05211.3 黃光室出片記錄單