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XPS數(shù)據(jù)分析縱坐標：Intensity(cps)橫坐標：binding energy（eV）除了氫氦元素，其他的元素都可以進行分析；先進行寬掃，確定樣品有何種元素，再對該元素進行窄掃。該元素的不同鍵接方式都對應不同的峰，所以對元素窄掃的峰要進行分峰（分峰之前要進行調(diào)整基線）。如何分峰，不同的鍵接方式會對應不同的結(jié)合能。第一步：先把元素的窄掃峰用origin畫出來；縱坐標：Intensity(cps)橫坐標：binding energy（eV）第二步：調(diào)整基線；選擇Ceate Baseline-next-next-add/modify添加（雙擊）或去除（delete）基點，保證基線水平-Finish最小化圖，會出現(xiàn)調(diào)整基線后的坐標。插入一列，單機右鍵選擇set column values 輸入col（b）-col（d）：即開始縱坐標減去調(diào)整基線后的縱坐標。再用橫坐標與剛開始得到的縱坐標作圖-調(diào)整基線后的XPS窄掃圖。第三步：對峰求積分面積；選擇integrate peaks-next-狂點-完成即area為峰的面積。第四步：分峰較難（有專門的分峰軟件，origin也能分峰）第五步：求組分元素比：元素比等于：窄掃峰面積/XPS靈敏度因子（每一個元素的靈敏度因
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