浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)

1、浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月文檔可自由編輯打印一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（CVD）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，CVD是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成份以化學(xué)方法反應(yīng)形成固體薄膜，作為一種固相反應(yīng)產(chǎn)物凝結(jié)在襯底上。反應(yīng)應(yīng)該接近或就在襯底表面上發(fā)生（復(fù)相反應(yīng)），而且不應(yīng)在氣相下發(fā)生，以免粉末狀淀積生成。反應(yīng)的活化，可以用各種方法實(shí)現(xiàn)。已經(jīng)觀察到，工藝參數(shù)如襯底溫度、氣相壓強(qiáng)、反應(yīng)物的濃度、流率等，對(duì)淀積膜的性質(zhì)有顯著的影響。大約在五十年前，當(dāng)耐熔化合物如金屬碳化物、氮化物、硅化物、硼化物、氧化物以及它們的混合相進(jìn)入廣泛技

2、術(shù)應(yīng)用時(shí)，化學(xué)蒸汽淀積才開始對(duì)薄膜技術(shù)發(fā)生重要影響。今天薄膜技術(shù)的應(yīng)用已擴(kuò)展到制備金屬膜和合金膜、元素半導(dǎo)體膜和化合物半導(dǎo)體膜、超導(dǎo)體膜、耐熔和硬質(zhì)材料膜、透明導(dǎo)體膜及其它特殊膜。考慮下述三種分解反應(yīng)：Ni(CO)4200-300Ni+4COSiH4800-1300Si+2H2CH41000-2000C+2H2顯然，膜淀積要求相當(dāng)高的溫度，對(duì)襯底的高溫加熱，會(huì)導(dǎo)致大量的不必要的熱損傷，這與材料的種類有關(guān)，溫度也影響膜的結(jié)構(gòu)。業(yè)已知道，高溫時(shí)形成的淀積層一般是多晶，而在相對(duì)低的溫度如600以下時(shí)，淀積的材料趨向于非晶態(tài)，它的結(jié)構(gòu)是不穩(wěn)定的。在400以上溫度退火它將會(huì)重新結(jié)晶形成晶粒，并由此引起電

3、阻率、折射率、光吸收、自旋密度和介電常數(shù)等性能的變化。與此相反，在600以上淀積的多晶硅膜則是穩(wěn)定的。620淀積的多晶硅膜經(jīng)過退火，溫度上升到1000在電子顯微鏡下觀察，沒有觀察到其結(jié)構(gòu)有明顯變化，在1100是才略有改變。這表明用SiH4作為反應(yīng)氣體，在620以上淀積的多晶硅膜結(jié)構(gòu)上是穩(wěn)定的。二、工藝技術(shù)參數(shù)1、鍍膜位置溫度：板下錫液溫度62552、玻璃拉引速度：180395m/h 360m/h 是為最佳值3、經(jīng)過減壓器反應(yīng)氣體SiH4、C2H2的壓力為0.25Mpa4、反應(yīng)器工作時(shí)底面石墨距玻璃板面1.53mm5、反應(yīng)氣體原料配比：表1SiH4（M/h）C2H2（M/h）N2（M/h）T（%

4、）B-202.850.22203B-252.70.22253B-302.70.220.8303C-302.550.2303C-352.00.2353C-401.850.2403注：B系列，本體玻璃為藍(lán)色，C系列，本體玻璃為白色。三、鍍膜設(shè)備簡(jiǎn)介鍍膜設(shè)備主要包括三個(gè)部分：供配氣系統(tǒng)、鍍膜機(jī)組及輔助設(shè)備。1、供配氣系統(tǒng)：供配氣系統(tǒng)主要由匯流排、配氣柜和氣體輸送管路組成。匯流排采用40升鋼瓶盛裝、貯存、輸送反應(yīng)氣體和清洗氣體。硅烷采用26瓶位匯流排，6個(gè)瓶為一組，兩組硅烷切換可實(shí)現(xiàn)更換氣瓶不影響生產(chǎn)線上的連續(xù)生產(chǎn)。硅烷匯流排設(shè)有高壓、低壓壓力監(jiān)測(cè)、顯示、報(bào)警和高壓自動(dòng)緊急切斷；乙烯采用21瓶位，乙烯

5、匯流排設(shè)有高壓、低壓壓力監(jiān)測(cè)、顯示、報(bào)警和高壓自動(dòng)緊急切斷；另設(shè)氮?dú)鈪R流排，用于清洗匯流排及管路。將硅烷、乙烯、氮?dú)饨?jīng)減壓器減壓，送入配氣柜進(jìn)行配氣。配氣柜由1個(gè)混合器、2個(gè)質(zhì)量流量控制器、1個(gè)電遠(yuǎn)傳轉(zhuǎn)子流量計(jì)、2個(gè)玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)、2個(gè)壓力表、4個(gè)過濾器、若干閥門及若干管件利用銅管組合而成。配氣柜主要作用是調(diào)節(jié)反應(yīng)器氣體的配比及混合均化。配好的氣體分兩路從錫槽兩側(cè)進(jìn)入反應(yīng)器，進(jìn)入反應(yīng)器之前錫槽底部都設(shè)置兩個(gè)膨脹箱，以使反應(yīng)氣體更加。硅烷、乙烯設(shè)有流量監(jiān)測(cè)、顯示、報(bào)警及控制。2、鍍膜機(jī)組：鍍膜機(jī)組主要設(shè)備有反應(yīng)器、排氣裝置、大車、雙梁車和升降臺(tái)。反應(yīng)器：反應(yīng)器由水冷梁、石墨和四個(gè)輪子組成。石墨固

6、定在水冷梁上，以形成鍍膜氣體通過的U形通道。四個(gè)輪子安裝于水冷梁的輪軸上，支承反應(yīng)器和在雙梁車的水冷軌道上行走。在鍍膜操作時(shí)，反應(yīng)器一端穿過錫槽，橫跨錫槽空間，且反應(yīng)器石墨底面距玻璃板表面很近，錫槽內(nèi)寬2.44米，這要求反應(yīng)器具有良好的剛性來保證石墨底面與玻璃板表面平行。通過撓度計(jì)算和水冷梁結(jié)構(gòu)的合理設(shè)計(jì)，使反應(yīng)器的撓度僅為0.5毫米。鍍膜氣體通過水冷梁內(nèi)部氣室冷卻，防止鍍膜氣體在到達(dá)玻璃板表面之前溫度過高分解造成膜面顏色不均勻。當(dāng)調(diào)配好的鍍膜氣體均等的以一定速度進(jìn)入反應(yīng)器的兩個(gè)進(jìn)氣口時(shí)，經(jīng)過反應(yīng)器氣室出口的特殊噴嘴，使鍍膜氣體穩(wěn)定地分解淀積在玻璃原板上，形成顏色均勻的膜層。排氣裝置：排氣裝置

7、與反應(yīng)器連為一體，排氣裝置上有一能形成均等負(fù)壓的狹縫，以使廢氣均勻排出。錫槽兩側(cè)各設(shè)一個(gè)引設(shè)器，通過調(diào)整壓縮空氣量來調(diào)整排氣負(fù)壓，排氣負(fù)壓設(shè)有監(jiān)測(cè)、顯示。大車：大車在非鍍膜操作時(shí)承載雙梁車、反應(yīng)器和排氣裝置，在鍍膜操作時(shí)使雙梁車順利通過錫槽，與錫槽另一側(cè)的升降臺(tái)銜接，形成橫跨錫槽可升降的水冷梁。它主要由上部框架、底座、行走和升降機(jī)構(gòu)、反應(yīng)器行走機(jī)構(gòu)和反應(yīng)器調(diào)彎等組成。錫槽池壁上沿距玻璃板面3040毫米，在鍍膜操作時(shí)反應(yīng)器石墨底面距玻璃很近，這就要求支承反應(yīng)器和排氣裝置的大車和升降臺(tái)具有調(diào)節(jié)反應(yīng)器石墨底面與玻璃板面距離的性能，并能夠?qū)崿F(xiàn)精密調(diào)節(jié)和快速升降的功能。為了達(dá)到這種要求，在大車（和升降臺(tái)

8、）底座上設(shè)計(jì)了升降機(jī)，通過連桿將升降機(jī)和減速機(jī)連接、減速機(jī)與電機(jī)的傳動(dòng)以及電磁離合器的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了手動(dòng)精密調(diào)節(jié)和電動(dòng)快速升降。并通過控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)大車和升降臺(tái)的同步操作、單獨(dú)操作。由于錫槽側(cè)墻開口周圍環(huán)境溫度很高，為了便于操作所設(shè)計(jì)的控制系統(tǒng)，可在控制室可現(xiàn)場(chǎng)操作大車、升降臺(tái)的升降。雙梁車：雙梁車主要是在鍍膜操作時(shí)支撐反應(yīng)器和排氣裝置。在反應(yīng)器進(jìn)入錫槽前，雙梁車要穿過錫槽與升降臺(tái)銜接，形成錫槽內(nèi)連續(xù)軌道。雙梁車有電動(dòng)行走機(jī)構(gòu)。升降臺(tái)：升降臺(tái)主要是通過驅(qū)動(dòng)升降電機(jī)承接從錫槽另一側(cè)過來的雙梁車水冷軌道，同時(shí)將反應(yīng)器升高或降低到合適的位置或鍍膜位置。可與大車同步操作。3、控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)包括供配氣系

9、統(tǒng)的控制、大車、雙梁車、反應(yīng)器、升降臺(tái)的控制及排氣負(fù)壓監(jiān)測(cè)和工業(yè)電視觀測(cè)?？刂品桨覆捎米詣?dòng)和手動(dòng)兩種控制方法，在自動(dòng)控制中，主要采用可編程序控制器PLC控制。手動(dòng)控制和PLC自動(dòng)控制可單獨(dú)對(duì)整個(gè)鍍膜系統(tǒng)進(jìn)行操作。4、輔助設(shè)備：輔助設(shè)備主要包括壓縮空氣、照明邊封、專用裝配工具。壓縮空氣用于排氣負(fù)壓調(diào)整和排氣裝置清掃氣缸。從壓縮空氣主管道引氣到穩(wěn)壓罐（約1m3），穩(wěn)壓罐減壓后引到錫槽兩側(cè)鍍膜位置，大車側(cè)設(shè)兩個(gè)接頭，用于引射器和清掃氣缸。鍍膜生產(chǎn)前，在靠近鍍膜位置上游及下游錫槽邊封處各放置一個(gè)觀察邊封，在錫槽兩側(cè)的觀察邊封上各裝一個(gè)電視攝像頭，使鍍膜操作觀察方便。專用裝配工具有噴嘴夾塊固定規(guī)和狹縫規(guī)

10、，均用于反應(yīng)器的安裝。四、產(chǎn)品性能1、產(chǎn)品品種：鍍膜產(chǎn)品分為兩個(gè)系列，以寶石藍(lán)玻璃為基片的稱B系列，以白玻璃為基片的稱C系列，B系列三種產(chǎn)品B-20、B-25、B-30，透射為淺灰綠色，反射為藍(lán)色。C系列三種產(chǎn)品C-30、C-35、C-40，透射為淺茶色，反射為銀白色。表2類別代號(hào)透光率外觀性能白鍍膜玻璃（5mm）C-30303%透射為淺茶色，反射為銀白色C-35355%C-40405%寶石藍(lán)鍍膜玻璃（5mm）B-20203%透射為淺灰綠色，反射為藍(lán)色B-25253%B-30303%2、光學(xué)性能：表3性能白鍍膜玻璃（5mm）C-30寶石藍(lán)鍍膜玻璃（5mm）B-20可見光反射率455%485%可

11、見光透射率303%203%太陽光反射率355%365%太陽光透射率355%335%3、耐化學(xué)浸蝕性：符合美國(guó)愛可太陽能產(chǎn)品公司企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，即5%HCl、5%HNO3、5%H2SO4或者20%NaOH和普通氨水分別浸泡1小時(shí)后取出，顏色無變化。強(qiáng)化搞堿性試驗(yàn)：在1N NaOH溶液中煮沸40分鐘取出，膜面無變化。4、耐磨性：符合美國(guó)愛可太陽能公司企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，即用Toble研磨機(jī)磨300轉(zhuǎn)后，可見光透過率T8%。5、均勻性：符合國(guó)家熱反射玻璃標(biāo)準(zhǔn)（報(bào)批稿），色差T4NBS。6、外觀：色彩均勻性、膜層變色、針孔和斑點(diǎn)均符合美國(guó)愛可太陽能產(chǎn)品公司企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。7、發(fā)霧性：在溫度40、濕度90%條件下存放48小時(shí)

12、取出，膜面無變化。8、鋼化性：鍍膜產(chǎn)品經(jīng)過太原平板玻璃廠鋼化車間平鋼化爐整板鋼化，膜面無變化，證明該產(chǎn)品可鋼化處理。9、熱彎性：該產(chǎn)品經(jīng)太原玻璃廠做鍋蓋熱彎，膜面無變化，證明該產(chǎn)品可熱彎。五、鍍膜生產(chǎn)時(shí)出現(xiàn)問題的處理方法1、沿反應(yīng)器石墨底面溢出棕色氣體是由于排氣量不足，應(yīng)將引射器的壓縮空氣量開大。2、玻璃板面出現(xiàn)邊部顏色淡，中間深或有魚鱗狀不均勻現(xiàn)象，可能是排氣抽力過大，應(yīng)將引射器的壓縮空氣關(guān)小。3、玻璃板面出現(xiàn)很細(xì)縱向條紋時(shí)，先檢驗(yàn)反應(yīng)器石墨上游趾及中心塊是否有損傷。若有損傷，及時(shí)補(bǔ)修或更換，若不是由此所至，可能是反應(yīng)器噴嘴局部堵塞所至，應(yīng)及時(shí)清洗噴嘴或更換。4、若玻璃板膜面出現(xiàn)斑點(diǎn)，是鍍膜

13、位置溫度過高，應(yīng)及時(shí)采取措施，使玻璃板面溫度降至鍍膜適宜溫度。5、玻璃板面出現(xiàn)劃傷，是有硬物滯留在反應(yīng)器石墨底面，應(yīng)立即升起反應(yīng)器，清理掉硬物。6、玻璃板面出現(xiàn)白霧，反應(yīng)器在錫槽內(nèi)穩(wěn)定時(shí)間不夠或玻璃板溫度過高。7、若玻璃板面鍍膜深度在寬度方向上由一邊向另一邊逐漸由濃變淡，可能是反應(yīng)器底面距玻璃面一邊高一邊低造成的，或是錫槽本身橫向溫差所致，應(yīng)及時(shí)調(diào)整。六、生產(chǎn)條件1、錫槽兩側(cè)鍍膜操作孔（300mm高900mm寬）。2、至錫槽的純氮?dú)夤艿酪粭l，出口端壓力1000mmH2O，用量10m3/h。3、壓力空氣管道引至錫槽出口處兩側(cè)，設(shè)穩(wěn)壓罐一個(gè)，配有安全閥及調(diào)壓閥。壓力3Kg/cm2，用量1m3/mi

14、n。4、錫槽兩側(cè)冷卻水用量：50m3/h，壓力2Kg/cm2。5、鍍膜位置溫度偏差：縱向應(yīng)小于5，橫向應(yīng)小于10。玻璃帶偏置50mm。6、操作觀察孔4個(gè)。7、供氣站房間一間（最小84米）。8、匯流排固定架。9、排氣管道（2”或3”）。七、工藝流程圖見附頁。八、質(zhì)量檢測(cè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)項(xiàng)目主要有光學(xué)性能、耐磨性、耐化學(xué)浸蝕性、色差及外觀質(zhì)量等，分別按國(guó)內(nèi)有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)試。詳見質(zhì)量檢測(cè)及檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。外觀質(zhì)量檢測(cè)。還要進(jìn)行耐化學(xué)浸蝕強(qiáng)化試驗(yàn)，取5050mm樣片，放在煮沸的1NnaOH溶液中30分鐘膜面不脫落則為合格。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜安全規(guī)程秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月浮法在線汽相淀積鍍膜

15、玻璃生產(chǎn)所有原料有SiH4、C2H4和N2。均以40升鋼瓶裝，SiH4為易燃性氣體，在空氣中能自燃。瓶裝壓力為5Mpa。C2H4為易爆性氣體，在空氣中含量達(dá)到燃燒限遇明火能引起爆炸。裝瓶壓力為3.34Mpa，低溫下為液體。N2為15Mpa高壓氣體。硅烷和乙烯兩種氣體在供氣站中分室布置，不能同時(shí)放在一個(gè)房間，供氣站必須有良好的通風(fēng)及防火防爆設(shè)施。一、安全規(guī)程1、供氣站內(nèi)嚴(yán)禁明火，室內(nèi)門窗全部為鋼口窗，并且貼上防金屬碰撞的橡膠條。供氣站內(nèi)備有硅化干粉滅火器和1211滅火器。2、室內(nèi)照明全部采用防爆燈，照明電線與SiH4管道、C2H4管道相距就大于1.5米，開關(guān)安于室外。3、排風(fēng)機(jī)全部使用防爆軸流風(fēng)

16、機(jī)。4、各種管道涂成不同的顏色以便區(qū)分，硅烷管道涂成紅色，乙烯管道涂成褐色，氮?dú)夤艿劳砍牲S色。5、耐壓試驗(yàn)及氣密性試驗(yàn)：管道安裝后要進(jìn)行嚴(yán)密性試驗(yàn)。以氮?dú)膺M(jìn)行嚴(yán)密性試驗(yàn)。硅烷、乙烯匯流排壓力為7.5Mpa，氮?dú)鈪R流排壓力為15Mpa，管道壓力為0.35Mpa。在管道各連接處抹以肥皂水檢查，觀察無漏氣后保持2小時(shí)，測(cè)定漏氣程度，每小時(shí)漏氣不超過試驗(yàn)開始時(shí)氣體容積5%認(rèn)為合格。6、硅烷滅火使用硅化干粉滅火器，乙烯滅火使用1211滅火器。在供氣站門外放置相應(yīng)的滅火器。7、 匯流排應(yīng)使用規(guī)定的介質(zhì)，不得與其它介質(zhì)混用，以免發(fā)生危險(xiǎn)。硅烷、乙烯匯流排嚴(yán)禁接觸油脂，以免發(fā)生火警事故。氣體匯流排不要裝在有腐

17、蝕性介質(zhì)的地方。氣體匯流排投入使用后，應(yīng)進(jìn)行日常維護(hù)，嚴(yán)禁敲擊管件。正常使用中，每年必須對(duì)壓力表進(jìn)行計(jì)量檢測(cè)。使用滿三年的匯流排，應(yīng)請(qǐng)有經(jīng)驗(yàn)的單位進(jìn)行全部檢查，更換關(guān)鍵部件，以確保使用安全。二、安全技術(shù)措施1、匯流排設(shè)高壓電磁閥（6.3Mpa）及壓力變送器（7Mpa），具有超壓報(bào)警及泄露報(bào)警電磁閥可以做緊急切斷高壓氣體，并提醒操作人員處理。2、房間設(shè)有防爆軸流通風(fēng)機(jī)及自然通風(fēng)管，保證房間內(nèi)通風(fēng)。3、排空管末端設(shè)有水封器，以保證管道與空氣隔絕。4、使用40升鋼瓶裝氣體原料，最大工作壓力為20Mpa，現(xiàn)工作壓力為5Mpa，使用安全系數(shù)為400%。5、使用硅烷氣體的濃度為10%，在空氣中能自燃，但由

18、于濃度低，火焰溫度低，不會(huì)因漏氣灼傷人體。三、氣體的貯存1、硅烷（濃度為10%）與乙烯兩種氣體分室貯存，房間要有通風(fēng)措施，嚴(yán)禁明火，房間內(nèi)無電力電纜，氣體遠(yuǎn)離熱力管，無易燃品。并且備有消防設(shè)備。（硅烷備硅化干粉滅火器，乙烯備1211滅火器）2、按氣體供應(yīng)廠家的具體要求，貯存放置氣瓶。3、原則上氣體不應(yīng)大量長(zhǎng)期貯存，盡量作到使用時(shí)購(gòu)買，庫房做短期貯存用。4、硅烷物理性質(zhì)：（純硅烷）分子量：32.09熔點(diǎn)：-185.0沸點(diǎn)：-111.9臨界溫度：-3.5臨界壓力：47.8kg/cm2粘度：112.410-6比重：1.114（21，與空氣相比）化學(xué)性質(zhì)：無色具有特殊臭味的氣體，有毒。在常溫常壓下與氧

19、氣和空氣接觸會(huì)自燃，產(chǎn)生白色、棕色和黃色固體。能緩慢水解，在堿性溶液中反應(yīng)加快。與乙醇、乙醚等有機(jī)溶劑沒有明顯反應(yīng)。易與硝酸銀溶液反應(yīng)，產(chǎn)生棕黑色的硅化銀沉淀，此反應(yīng)可檢出硅烷的存在。大于600時(shí)，發(fā)生分解。使用注意事項(xiàng)：色標(biāo)：硅烷鋼瓶為紅色瓶體、白字并標(biāo)易燃?jí)嚎s氣體標(biāo)志。使用硅烷的系統(tǒng)必須具有良好的氣密性，否則管道中有氧化硅粉塵，影響工藝衛(wèi)生。充氫的硅烷危險(xiǎn)性大于氮、氬稀釋的，應(yīng)防止與氧混合，嚴(yán)禁與火焰接觸，所以要更加重視安全，防止回火。2.5%濃度的硅烷一般不自燃，自冒白煙。稀釋硅烷使用中要經(jīng)常平放滾動(dòng)，否則長(zhǎng)期直立使用會(huì)發(fā)現(xiàn)越用濃度越高。硅烷是一種強(qiáng)還原性氣體，嚴(yán)禁充強(qiáng)氧化性氣體中去。空

20、氣中極限允許濃度為0.5ppm，吸入后可引起頭痛頭暈。5、乙烯乙烯是一種無色，帶有甜香味的氣體，化學(xué)性質(zhì)活潑。是石油化工的一種基本原料。物理性質(zhì)：分子量：28.05氣體密度：（20，1大氣壓）1.17g/l沸點(diǎn)：-103.7液體密度：（沸點(diǎn)時(shí)）0.57g/ml熔點(diǎn)：-169.5臨界壓力：50.5大氣壓臨界溫度：9.9燃燒限：（空氣中）3.132.0%四、匯流排的安全使用與維護(hù)1、開啟減壓器前的截止閥要緩慢，由壓力表指示壓力，再順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)減壓器調(diào)節(jié)螺桿，此時(shí)低壓壓力表顯示低壓壓力值。向減壓器供氣時(shí)，防止突然開啟，以免沖擊減壓器，使減壓器失靈。2、安裝時(shí)，注意連接部位的清潔，切忌臟物、垃圾進(jìn)入減壓

21、器。3、連接部分出現(xiàn)漏氣時(shí)，一般是由于螺絲扳緊力不夠或熱圈損傷，應(yīng)適當(dāng)扳緊或更換密封熱圈。4、發(fā)現(xiàn)減壓器有損壞或漏氣，或低壓表壓力不斷上升，以及壓力表回不到零位等現(xiàn)象，應(yīng)及時(shí)進(jìn)行修理。五、配氣柜的安全使用與維護(hù)1、氣體經(jīng)過流量計(jì)之前，要先打開流量計(jì)下游的所有閥門，給流量計(jì)供氣時(shí)，要緩慢打開流量計(jì)下游截止閥，使壓力和流量逐漸升高，切忌突然開大截止閥，使浮子撞擊，損壞流量計(jì)。2、氣路安裝完畢，要進(jìn)行氣密性試驗(yàn)，壓力為0.3Mpa，在管道各連接處抹以肥皂水檢查，觀察無漏氣現(xiàn)象即可。3、定期對(duì)壓力表進(jìn)行校驗(yàn)，流量計(jì)要經(jīng)常清洗，不允許有雜物、灰塵等。六、鍍膜機(jī)組應(yīng)急處理1、雙梁車和反應(yīng)器進(jìn)入錫槽之前必須

22、通入冷卻水，同時(shí)反應(yīng)器要通入保護(hù)氣體。鍍膜生產(chǎn)結(jié)束，反應(yīng)器退出錫槽，仍然要通入一段時(shí)間的保護(hù)氣體，一方面作用是清洗反應(yīng)器，另一方面作用是防止高溫下石墨件的氧化。2、鍍膜生產(chǎn)時(shí)若突然臨時(shí)停水，應(yīng)迅速操作電動(dòng)系統(tǒng)，同時(shí)升起反應(yīng)器到達(dá)平衡位置，然后退出反應(yīng)器，再將雙梁車、大車退出錫槽，以防止水冷軌道梁及反應(yīng)器熱變形，或反應(yīng)器落入錫槽發(fā)生重大事故。3、鍍膜生產(chǎn)時(shí)若突然停電，應(yīng)立即停止生產(chǎn)，關(guān)閉氣源，迅速操作手動(dòng)系統(tǒng)，將反應(yīng)器升到平衡位置，同時(shí)手動(dòng)釋放反應(yīng)器、雙梁車驅(qū)動(dòng)電機(jī)制動(dòng)閘，人工將反應(yīng)器拖出錫槽，再將雙梁車、大車拖出錫槽。4、鍍膜生產(chǎn)時(shí)，操作人員要經(jīng)常觀察反應(yīng)器底面距玻璃板面的距離，及時(shí)調(diào)節(jié)，發(fā)現(xiàn)

23、硬物卡在反應(yīng)器與玻璃板之間或反應(yīng)器上游有雜物堵塞，應(yīng)迅速升起反應(yīng)器，排除雜物。上海海諾進(jìn)出口貿(mào)易有限公司長(zhǎng)期供應(yīng)純硅烷和一氧化碳，純硅烷的包裝物為44或47升的鋼瓶，每瓶的充裝量為10或15公斤，硅烷的純度為5N，報(bào)價(jià)為1000元/公斤。一氧化碳的包裝物為40升的鋼瓶和3000Nm3的管束槽箱，純度為2N或3N，其中鋼瓶的充裝量為5Nm3/瓶。有意者請(qǐng)盡快與我們聯(lián)系，我們將為你提供品質(zhì)優(yōu)良，價(jià)格合理的產(chǎn)品。產(chǎn)品規(guī)格：硅烷純度為5N，一氧化碳純度為2N/3N。產(chǎn)品數(shù)量：包裝說明：鋼瓶和管束槽箱價(jià)格說明：純硅烷1000/公斤發(fā)布時(shí)間：2004-9-10 17:04:33有 效 期：2004-12-

24、9上海海諾進(jìn)出口貿(mào)易有限公司錢 琳 女士 (職員) 辦公地址：上海市上海市浦東新區(qū)上海浦東張楊路228號(hào)湯臣中心A座906室郵編：200120電話：86-傳真：86-移動(dòng)電話：電子郵件：公司網(wǎng)址：浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜質(zhì)量檢驗(yàn)與標(biāo)準(zhǔn)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月1、主要內(nèi)容和適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了浮法在線鍍膜玻璃的分類、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于浮法在線汽相淀積法生產(chǎn)的鍍膜玻璃。2、引用標(biāo)準(zhǔn)GB11614-1989 浮法玻璃ISO09050-90（E）建筑玻璃光透過率、日光直接透過率、總太陽能透過率和紫外線透過率的測(cè)定法以及窗玻璃的有關(guān)參數(shù)GB

25、熱反射玻璃滬Q/NJ19-30-89鍍膜裝璜玻璃秦Q/YHQ341-89鍍膜平板玻璃Q/TB001-92吸熱浮法玻璃3、產(chǎn)品分類31按顏色分：白玻璃膜（青銅色）、藍(lán)玻璃膜、綠玻璃膜、茶玻璃膜。32按厚度分：3mm、4mm、5mm、6mm。33按外觀質(zhì)量分：優(yōu)等品、一級(jí)品、合格品三個(gè)等級(jí)。4、尺寸玻璃板為矩形，正常生產(chǎn)尺寸一般不小于2000mm1500mm，其它尺寸由供需雙方協(xié)商。5、外觀質(zhì)量51基片質(zhì)量：厚度偏差、裂口、彎曲度、尺寸偏差（包括偏斜）、邊部凸出或殘缺部分缺角深度、外觀質(zhì)量及等級(jí)確定應(yīng)符合GB11614規(guī)定。52鍍膜質(zhì)量：針孔、斑紋、斑點(diǎn)、劃傷用612方法檢驗(yàn)符合表1規(guī)定。缺 陷等

26、 級(jí)名稱說明優(yōu)等品一級(jí)品合 格針孔直徑12mm集中的不允許集中的每平方米允許2處不限直徑12mm而16mm中部不允許邊緣75mm允許3個(gè)集中的不允許不限直徑16mm而25mm不允許邊部75mm允許4個(gè)，中部允許2個(gè)邊部75mm允許8個(gè)中部2個(gè)直徑25毫米不允許斑紋不允許斑點(diǎn)直徑16mm而5mm不允許4個(gè)8個(gè)劃傷寬度01mm，03 mm的每平方米允許條數(shù)長(zhǎng)度50mm的允許4條長(zhǎng)度100mm的允許4條不限寬度03mm的每平方米允許條數(shù)不允許寬度04長(zhǎng)度100mm的允許1條寬度03長(zhǎng)度100mm的允許2條52理化性能521膜層牢固性：鍍膜玻璃采用621方法試驗(yàn)10次，膜層不脫落為合格。522耐磨性能

27、：鍍膜玻璃的膜面采用622方法磨后，透射率平均值8%。523耐酸堿性能：鍍膜玻璃的采用623方法，在酸或堿溶液中浸泡后取出，膜面無明顯斑點(diǎn)、變色。524耐鹽水浸漬性能：鍍膜玻璃的采用624方法，在鹽水中浸泡后取出，應(yīng)無大于1mm變點(diǎn)。525光學(xué)性能：光學(xué)性能符合表2要求。表2品種測(cè)試項(xiàng)目性能指標(biāo)（%）無色基片鍍膜玻璃（5mm）可見光透過率20-35可見光反射率30-55太陽輻射透過率35-45太陽輻射反射率25-35寶石藍(lán)基片鍍膜玻璃（5mm）可見光透過率20-35可見光反射率30-35太陽輻射透過率30-40太陽輻射反射率20-35526顏色均勻性：鍍膜玻璃的顏色應(yīng)均勻一致。目測(cè)應(yīng)無明顯異色

28、及不均勻現(xiàn)象，且同一批產(chǎn)品以及每片鍍膜玻璃色差應(yīng)不大于4NBS。6檢驗(yàn)方法61外觀質(zhì)量檢驗(yàn)611玻璃厚度偏差、尺寸偏差（包括偏斜）、彎曲度、邊部凸出或殘缺部分，缺角深度等項(xiàng)按GB11614規(guī)定檢驗(yàn)。612針孔、斑紋、斑點(diǎn)、劃傷的檢驗(yàn)用裝有間距300mm5只40W日光燈管的黑色柜架，玻璃垂直放置與日光燈管平行并相距600mm，觀察者距玻璃板2米視線垂直玻璃觀察。疵點(diǎn)尺寸用精確1mm的金屬尺或放大10倍用精度01mm讀數(shù)顯微鏡測(cè)定。62理化性能檢驗(yàn)621膜層牢固性檢驗(yàn)取10025mm樣片三塊，用一段長(zhǎng)35-40mm，寬10-15mm的粘膠帶，密實(shí)地粘貼在膜層上，迅速將膠帶掀起，再換新膠帶在同一部位

29、反復(fù)粘膠10次。622耐磨性能的檢驗(yàn)取100mm100mm的試樣，分別測(cè)四點(diǎn)的透射比，取其平均值。然后在一裝有兩磨輪的水平轉(zhuǎn)臺(tái)上進(jìn)行研磨。兩輪的轉(zhuǎn)數(shù)為65-75轉(zhuǎn)/分，直徑為45-50mm，厚度為125mm，硬度為725IRHD。兩輪擱放在試樣上并施加500g的壓力，旋轉(zhuǎn)300轉(zhuǎn)后，取下試樣，測(cè)其四點(diǎn)透射比的變化值來判斷膜的耐磨性。按下式計(jì)算：T=T2-T1式中：T試樣研磨前后平均透射比的變化值T1試樣研磨前的平均透射比T2試樣研磨后的平均透射比623耐酸堿性的檢驗(yàn)將鍍膜玻璃切成4040mm小塊，分別放入5%HCl、5%HNO3、5%H2SO4、20%NaOH和普通氨水中分別浸泡1小時(shí)后取出，

30、觀察試樣的膜層變化情況。624光學(xué)性能測(cè)試將鍍膜玻璃切成10050mm小塊，放入U(xiǎn)-3400型分光光度計(jì)或與U-3400型分光光度計(jì)相同功能的儀器，測(cè)其可見光的透射比和反射比。625色差在一片鍍膜玻璃的四角和正中取出5050mm試樣5片。試樣外緣距該片玻璃邊部50mm（如附圖所示）以中間樣品作為標(biāo)準(zhǔn)片，其余四片均與該片在顏色分析儀上進(jìn)行透過顏色比較，分別測(cè)得4個(gè)E值，4個(gè)值的平均值定為該片玻璃色差的檢驗(yàn)結(jié)果。50507、檢驗(yàn)規(guī)則71檢驗(yàn)分類711出廠檢驗(yàn)，檢驗(yàn)項(xiàng)目為本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的全部外觀質(zhì)量的技術(shù)要求。712型式檢驗(yàn)，檢驗(yàn)項(xiàng)目為本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的全部技術(shù)要求。72抽樣方法721產(chǎn)品的出廠檢驗(yàn)按表3規(guī)定

31、進(jìn)行隨機(jī)抽樣。表3玻璃批量（片）抽樣數(shù)（片）允許不合格片數(shù)10-20全021-100202101-50030550130005073001-50007010大于50008011722檢驗(yàn)產(chǎn)品的光學(xué)性能、耐磨性能和顏色均勻性時(shí)，一批產(chǎn)品隨機(jī)抽取3片玻璃。73判定規(guī)則731產(chǎn)品的外觀質(zhì)量判定，按本標(biāo)準(zhǔn)的511、512有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。每片玻璃符合上述標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則認(rèn)為該片玻璃該項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)合格。每批產(chǎn)品中若不合格片數(shù)小于或等于表3中規(guī)定的允許不合格片數(shù)時(shí)，則認(rèn)為該批產(chǎn)品上述指標(biāo)合格。732產(chǎn)品的耐磨性、光學(xué)性能和顏色均勻性的判定。3片玻璃試樣全部符合所規(guī)定的技術(shù)要求，認(rèn)為該批玻璃合

32、格。若1片玻璃符合時(shí)為不合格，2片玻璃符合時(shí)再追加檢驗(yàn)3片玻璃，3片玻璃全部符合時(shí)為合格，否則為不合格。8包裝、標(biāo)志81標(biāo)志包裝木箱表面應(yīng)印有工廠名稱、商標(biāo)、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品等級(jí)、規(guī)格數(shù)量、重量（毛重、凈重）、防潮、易碎、堆放方向，轉(zhuǎn)箱日期標(biāo)志。集裝箱也要有相應(yīng)的標(biāo)志。821包裝箱應(yīng)堅(jiān)固。邊角、表面應(yīng)有防碰撞措施，但不準(zhǔn)有漏釘、透釘。822箱底要內(nèi)墊泡沫塑料，箱內(nèi)墊塑料布，玻璃片之間應(yīng)有15mm厚的泡沫塑料軟形保護(hù)材料。823集裝箱（架）包裝。玻璃片之間夾保護(hù)材料，外包塑料布防潮。9、儲(chǔ)存和運(yùn)輸91玻璃必須儲(chǔ)存在干燥房間內(nèi)，運(yùn)輸和裝卸時(shí)應(yīng)有防雨設(shè)施。92玻璃在儲(chǔ)存、運(yùn)輸、裝卸時(shí)箱蓋應(yīng)向上。箱子不

33、得側(cè)放或斜放。93運(yùn)輸時(shí)，箱頭向運(yùn)輸方向，并采取措施，防止傾倒滑動(dòng)。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜操 作 手 冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院藍(lán)光公司一九九六年十一月操作手冊(cè)（宿遷項(xiàng)目）1996年4月一、操作說明鍍膜系統(tǒng)操作分為自動(dòng)操作、點(diǎn)動(dòng)操作和手動(dòng)操作。鍍膜系統(tǒng)的組成：供、配氣系統(tǒng)、鍍膜機(jī)組和輔助設(shè)備三部分。（一）、供、配氣系統(tǒng)供、配氣系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)的硅烷匯流排、乙烯匯流排、高壓氮?dú)鈪R流排和配氣系統(tǒng)的配氣盤、控制臺(tái)組成。1供、配氣系統(tǒng)的操作點(diǎn)：（1）硅烷匯流排上的兩個(gè)高壓電磁閥V1、V2，截止閥S1S13，高壓壓力變送器截止閥BS1、BS2，低壓壓力變送器截止閥BS3。12個(gè)匯流排角閥、兩個(gè)減壓器調(diào)壓

34、閥。（2）乙烯匯流排上的一個(gè)電磁閥V3，截止閥C1C5，高壓壓力變送器截止閥BC1、低壓壓力變送器截止閥BC2和兩個(gè)匯流排角閥，一個(gè)減壓器調(diào)壓閥。（3）氮?dú)鈪R流排上的截止閥N1、N2，兩個(gè)減壓器調(diào)壓閥。（4）硅烷供氣系統(tǒng)的截止閥S14S17。（5）氮?dú)馇鍜呦到y(tǒng)的截止閥N3、N4。（6）配氣盤上的硅烷管路截止閥S18、S19、S20、S21，氮?dú)夤苈方刂归yN6、N7、N8，混合氣平衡流量調(diào)節(jié)閥SC1、SC2。（7）混合氣供氣截止閥SC3、SC4。（8）供配氣控制臺(tái)上，電磁閥V1、V2、V3的開關(guān)按鈕。（9）供配氣控制臺(tái)上硅烷、乙烯的流量控制電源盒。2供、配氣系統(tǒng)的操作過程：（1）開始鍍膜前用氮?dú)?/p>

35、清掃全部管路系統(tǒng)1小時(shí)。（2）安裝、更換硅烷、乙烯、氮?dú)鈿馄繒r(shí)要求在氮?dú)獯祾郀顟B(tài)下安裝，嚴(yán)禁空氣進(jìn)入管路系統(tǒng)。（3）打開硅烷、乙烯氣瓶前，須把氮?dú)夥诺簦⒈ＷC管路系統(tǒng)微正壓（0.1Mpa ）避免空氣進(jìn)入。硅烷、乙烯、氮?dú)饨?jīng)過減壓器減壓。（4）開始鍍膜前先打開截止閥SC3、SC4。（5）控制臺(tái)調(diào)整流量顯示電源盒使流量到設(shè)定值。（6）供氣順序?yàn)橐蚁?、硅烷。?）配氣過程中調(diào)整調(diào)節(jié)閥SC1、SC2，使反應(yīng)器兩側(cè)流量平衡，調(diào)節(jié)原則為一側(cè)調(diào)節(jié)閥開至最大。3供、配氣控制臺(tái)：（1）指示燈：a硅烷高壓電磁閥V1開指示。b硅烷高壓電磁閥V2開指示。c乙烯高壓電磁閥V3開指示。d硅烷低壓壓力過低指示。e乙烯低壓壓

36、力過低指示。f控制臺(tái)通電指示。（2）操作按鈕：a硅烷高壓電磁閥V1開。b硅烷高壓電磁閥V1關(guān)。c硅烷高壓電磁閥V2開。d硅烷高壓電磁閥V2關(guān)。e乙烯高壓電磁閥V3開。f乙烯高壓電磁閥V3關(guān)。（3）流量監(jiān)控：a硅烷流量監(jiān)控：流量控制顯示電源盒。b乙烯流量監(jiān)控：流量控制顯示電源盒。c硅烷流量監(jiān)控：流量顯示變送器。（4）顯示儀表：a1#硅烷匯流排高壓壓力顯示。b2#硅烷匯流排高壓壓力顯示。c乙烯匯流排高壓壓力顯示。d硅烷匯流排低壓壓力顯示及報(bào)警。e乙烯匯流排低壓壓力顯示及報(bào)警。（二）鍍膜機(jī)組鍍膜機(jī)組由大車、雙梁車、行走機(jī)構(gòu)、反應(yīng)器和升降臺(tái)組成，鍍膜機(jī)組設(shè)備在現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試正常后，設(shè)備就位。1大車行走

37、由現(xiàn)場(chǎng)按鈕盒控制，大車進(jìn)/大車退。2雙梁車的進(jìn)退由現(xiàn)場(chǎng)按鈕盒控制，雙梁車進(jìn)/雙梁車退。3行走機(jī)構(gòu)用于拖動(dòng)反應(yīng)器進(jìn)、出錫槽，由現(xiàn)場(chǎng)按鈕盒控制，反應(yīng)器進(jìn)/反應(yīng)器退。4大車、升降臺(tái)的升降可由主控制室、現(xiàn)場(chǎng)按鈕盒和現(xiàn)場(chǎng)手執(zhí)按鈕盒分別操作。大車、升降臺(tái)聯(lián)動(dòng)上升、下降按鈕可在主控室或大車、升降臺(tái)側(cè)現(xiàn)場(chǎng)手執(zhí)按鈕盒操作；大車、升降臺(tái)單獨(dú)上升、下降按鈕可在主控室、大車升降臺(tái)現(xiàn)場(chǎng)按鈕盒操作或手執(zhí)按鈕盒操作。大車、升降臺(tái)點(diǎn)動(dòng)步進(jìn)上升/下降可主控室或現(xiàn)場(chǎng)手執(zhí)按鈕盒操作。大車、升降臺(tái)上下游上升、下降，可由上、下游離合器合/分、大車、升降臺(tái)升、降按鈕操作；大車、升降臺(tái)可由低速/高速選擇開關(guān)實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)低速、高速升降，也可單獨(dú)

38、低速、高速升降。5鍍膜系統(tǒng)主控制臺(tái)：（1）顯示模板指示燈：a大車、升降臺(tái)離合器上游合指示。b大車、升降臺(tái)離合器下游合指示。c大車、升降臺(tái)低速升、降指示。d鍍膜機(jī)組自動(dòng)鍍膜指示。e主控制臺(tái)通電指示。f反應(yīng)器進(jìn)錫槽指示。g反應(yīng)器出錫槽指示。h排氣系統(tǒng)氣缸清掃指示。i雙梁車進(jìn)錫槽指示。j雙梁車出錫槽指示。k升降臺(tái)上升指示。l升降臺(tái)下降指示。m大車前進(jìn)指示。n大車后退指示。o大車上升指示。p大車下降指示。（2）2臺(tái)工業(yè)電視。（3）顯示儀表：a鍍膜位置板下錫液溫度顯示。b錫槽壓力顯示。c大車側(cè)排氣負(fù)壓壓力顯示。d升降臺(tái)側(cè)排氣負(fù)壓壓力顯示。e大車升、降高度轉(zhuǎn)數(shù)顯示。f升降臺(tái)升、降高度轉(zhuǎn)數(shù)顯示。g時(shí)間顯示。

39、h鍍膜時(shí)間顯示。（4）選擇開關(guān)：a大車、升降臺(tái)上游離合器合/分。b大車、升降臺(tái)下游離合器合/分。c大車、升降臺(tái)升、降速度選擇，低速/高速。d大車側(cè)溫度和升降臺(tái)側(cè)溫度選擇，大車側(cè)/升降臺(tái)側(cè)。（5）操作按鈕：a大車上升按鈕。b大車下降按鈕。c升降臺(tái)上升按鈕。d升降臺(tái)下降按鈕。e大車、升降臺(tái)聯(lián)動(dòng)上升按鈕。f大車、升降臺(tái)聯(lián)動(dòng)下降按鈕。g大車、升降臺(tái)點(diǎn)動(dòng)步進(jìn)升按鈕。h大車、升降臺(tái)點(diǎn)動(dòng)步進(jìn)降按鈕。i自動(dòng)鍍膜開始按鈕。j自動(dòng)鍍膜停止按鈕。k排氣系統(tǒng)氣缸清掃按鈕。（三）、輔助設(shè)備輔助設(shè)備主要有工業(yè)電視、排氣負(fù)壓和壓縮空氣三部分組成。工業(yè)電視的操作由主控制室的控制器手動(dòng)操作，排氣負(fù)壓通過調(diào)節(jié)控制室壓縮空氣調(diào)節(jié)閥

40、控制。壓縮空氣使用時(shí)打開閥門即可。二、操作準(zhǔn)備（一）、準(zhǔn)備好對(duì)講機(jī)，將控制臺(tái)加電。（二）、供、配氣系統(tǒng)1給水封加滿水。2關(guān)閉硅烷匯流排、乙烯匯流排、氮?dú)鈪R流排全部角閥S4、S5、S6、S7、S11、S12、S13、S19、C4、C5、SC1、SC2、SC3、SC4、N1、N2、N4、N6、N7、N8截止閥和調(diào)節(jié)閥。其余閥門S1、S2、S8、S9、S14、S15、S16、S17、S18、S20、S21、C1、C2、N3全開，BS1、BS2、BS3、BC1、BC2、S10、C3部分開。3系統(tǒng)清洗：（1）氮?dú)馄垦b入氮?dú)鈪R流排，緩慢打開氮?dú)馄块y、氮?dú)鈪R流排角閥，待壓力平衡后緩慢打開N2截止閥，調(diào)整該路

41、減壓器使低壓壓力調(diào)至0.8Mpa。（2）硅烷匯流排的清洗：打開S13截止閥，使氮?dú)膺M(jìn)入硅烷匯流排，控制臺(tái)上打開電磁閥V2（電磁閥為自保持式），緩慢打開S6、S7截止閥，調(diào)整該路減壓器，使低壓壓力顯示0.3Mpa。打開SC1、SC2、SC3、SC4截止閥，調(diào)整控制臺(tái)硅烷流量控制電源盒，流量顯示50l/min，調(diào)整調(diào)節(jié)閥SC1、SC2使兩側(cè)流量平衡（一側(cè)開至最大為原則）。清洗30分鐘關(guān)閉S6、S7、S2截止閥、流量控制電源盒。打開S12截止閥，同樣方法清洗硅烷匯流排另一側(cè)30分鐘。清洗完畢后，關(guān)閉S4、S5、S1截止閥和流量控制電源盒。電磁閥V1、V2做緊急切斷用。匯流排清洗打開后不再關(guān)閉，匯流排

42、兩側(cè)切換操作使用截止閥S1、S2。（3）乙烯匯流排清洗：打開截止閥C5、電磁閥V3、截止閥，調(diào)整乙烯減壓器使低壓壓力顯示0.3Mpa，控制臺(tái)操作乙烯質(zhì)量流量控制電源盒，調(diào)整流量至8l/min。清洗40分鐘關(guān)閉截止閥C1、流量控制電源盒。乙烯匯流排清洗完畢后電磁閥V3不再關(guān)閉，做緊急切斷用。（4）硅烷、乙烯匯流排清洗完畢后，管路系統(tǒng)用保護(hù)氮?dú)獯祾咧灵_始鍍膜，關(guān)閉N4（或N3）、N8。（5）管路系統(tǒng)氮?dú)獯祾撸篴、用廠保護(hù)氮?dú)?，打開N4（N3關(guān)閉）、N8截止閥，調(diào)整SC1、SC2使兩側(cè)流量平衡。B、用氮?dú)鈪R流排高壓氮?dú)猓蜷_N1截止閥，調(diào)整該路減壓器，使低壓壓力顯示0.3Mpa，同時(shí)調(diào)整截止閥N7和

43、調(diào)節(jié)閥N8，使流量達(dá)到2.4m3/h。（6）把硅烷氣瓶（要求充分滾動(dòng)20分鐘）、乙烯氣瓶分別安裝在匯流排上。裝瓶的同時(shí)要求打開匯流排角閥，在氮?dú)獯祾呦掳惭b，避免空氣進(jìn)入?yún)R流排。氣瓶安裝完成后關(guān)閉S12、S13、C5截止閥，打開匯流排角閥。4、注意事項(xiàng)：（1）所有閥門打開時(shí)要緩慢，待壓力穩(wěn)定后全開。（2）匯流排上安裝氣瓶時(shí)要在氮?dú)獯祾呦掳惭b。（3）不使用質(zhì)量流量控制器時(shí)，將質(zhì)量流量控制器置于關(guān)閉。（4）每次鍍膜前或鍍膜后停止整個(gè)供配氣系統(tǒng)都要氮?dú)馇逑?。?）每次鍍膜前氮?dú)馇鍜邥r(shí)，電磁閥V1、V2、V3打開后不再關(guān)閉，待鍍膜結(jié)束時(shí)再關(guān)閉。（三）、鍍膜機(jī)組1將反應(yīng)器大車置于錫槽鍍膜軌道上。2檢查錫槽

44、兩側(cè)的水源、水壓和水量是否符合鍍膜機(jī)組的要求，檢查錫槽兩側(cè)的控制電源是否到位。3檢查錫槽兩側(cè)的照明邊封、觀察邊封和工業(yè)電視的攝像鏡頭，并打開錫槽兩側(cè)的照明碘鎢燈。4檢查反應(yīng)器大車的進(jìn)水管和出水管，并打開進(jìn)水閥門，同時(shí)觀察反應(yīng)器大車出水情況是否滿足要求。5將反應(yīng)器升降臺(tái)側(cè)的反應(yīng)器進(jìn)氣管用纖維布堵上，將反應(yīng)器大車一側(cè)的進(jìn)氣管與配氣盤出來的混合氣管連接好。6將反應(yīng)器大車、升降臺(tái)橫向調(diào)平，并接好錫槽兩側(cè)反應(yīng)器大車、升降臺(tái)的電纜。7現(xiàn)場(chǎng)啟動(dòng)反應(yīng)器大車的升降電機(jī)，調(diào)節(jié)反應(yīng)器大車高度到平衡位置，使反應(yīng)器石墨底面高出錫槽池壁上沿15毫米左右；同時(shí)啟動(dòng)升降臺(tái)的升降電機(jī)（現(xiàn)場(chǎng)操作），將升降臺(tái)托板降至錫槽池壁上沿以

45、下。8手搖調(diào)彎手輪（反應(yīng)器大車側(cè)），將反應(yīng)器一對(duì)后輪提起軌道（即調(diào)彎手輪轉(zhuǎn)動(dòng)約35圈）。9打開反應(yīng)器大車一側(cè)的供氣截止閥至最大，清洗反應(yīng)器約10分鐘，使反應(yīng)器氣室保持微正壓。同時(shí)拆除反應(yīng)器石墨底面上游夾縫中堵塞物，檢查反應(yīng)器石墨底面和上游夾縫中有無其它雜物。10打開錫槽兩側(cè)鍍膜操作孔。11現(xiàn)場(chǎng)啟動(dòng)大車行走電機(jī)，待大車到位后再啟動(dòng)雙梁車行走電機(jī)，將雙梁車的水冷軌道送至錫槽另一側(cè)，同時(shí)通過觀察邊封觀察雙梁車的水冷軌道進(jìn)入情況，并及時(shí)調(diào)整雙梁車水冷軌道梁高度。12待雙梁車的水冷軌道梁伸出錫槽后，將升降臺(tái)升高，使升降臺(tái)的水冷梁托輥托住水冷軌道梁，并繼續(xù)升高，使水冷軌道梁水平；同時(shí)利用升降臺(tái)兩側(cè)的側(cè)頂機(jī)

46、構(gòu)將雙梁車的水冷軌道梁置于垂直玻璃帶中心位置，將雙梁車水冷梁夾緊。13啟動(dòng)反應(yīng)器行走機(jī)構(gòu)，將反應(yīng)器置于錫槽內(nèi)玻璃原板中心位置。14手搖大車側(cè)調(diào)彎手輪將反應(yīng)器后輪降至水冷軌道梁上（即反方向手搖35圈）。15封好錫槽兩側(cè)鍍膜操作孔，拆除升降臺(tái)一側(cè)反應(yīng)器進(jìn)氣管中纖維布，接好反應(yīng)器升降臺(tái)一側(cè)的進(jìn)氣膠管，打開供氣截止閥N12至最大。16反應(yīng)器在錫槽內(nèi)穩(wěn)定2小時(shí)以上。17注意事項(xiàng)：（1）雙梁車進(jìn)錫槽前一定要把反應(yīng)器后輪提起。（2）反應(yīng)器氮?dú)馇鍜咭欢ㄒ蜷_。（3）反應(yīng)器石墨底面、上游夾縫中應(yīng)無雜物。（4）雙梁車到位后，升降臺(tái)側(cè)側(cè)頂要頂緊。（5）反應(yīng)器行走過程中，要注意觀察反應(yīng)器石墨底面高度。使反應(yīng)石墨底面不

47、與錫槽池壁上沿相碰，反應(yīng)器上部不與錫槽電熱絲相撞。（四）、壓縮空氣：檢查壓縮空氣罐后減壓器壓力是否為0.2Mpa，并將壓縮空氣在錫槽兩側(cè)的端頭與差壓變送器、排氣引射器用膠管連接。將壓縮空氣反應(yīng)器大車側(cè)的端頭與反應(yīng)器氣缸用膠管連接。三、開始鍍膜（一）、鍍膜機(jī)組及輔助設(shè)備操作1反應(yīng)器穩(wěn)定后，將控制系統(tǒng)選擇開關(guān)選擇至聯(lián)機(jī)、高速狀態(tài)，離合器選擇開關(guān)至合位置（上下游）。啟動(dòng)反應(yīng)器大車、升降臺(tái)的聯(lián)動(dòng)降按鈕，快速降低反應(yīng)器高度，使反應(yīng)器石墨底面距玻璃板10毫米左右（降低反應(yīng)器同時(shí)，操作人員通過工業(yè)電視觀察，錫槽兩側(cè)操作人員通過觀察邊填充觀察）。2調(diào)整調(diào)彎裝置，使反應(yīng)器在錫槽橫向基本水平，通過單獨(dú)升降大車、升

48、降臺(tái)的上、下游，調(diào)整反應(yīng)器縱向水平。（操作人員通過工業(yè)電視或錫槽兩側(cè)觀察邊封觀察）。3選擇開關(guān)置于低速，啟動(dòng)反應(yīng)器大車、升降臺(tái)的聯(lián)動(dòng)降按鈕，慢速降低反應(yīng)器高度，降至鍍膜位置，接開關(guān)發(fā)訊，升降電機(jī)停止下降，轉(zhuǎn)數(shù)顯示復(fù)位為零。此時(shí)反應(yīng)器石墨液面距玻璃板1.52mm（倒影距離34mm），降低反應(yīng)器同時(shí)，操作人員通過工業(yè)電視觀察。錫槽兩側(cè)操作人員通過觀察邊封觀察。4將錫槽兩側(cè)排氣管道快速接頭與排氣裝置連接，并將差壓變送器的接管與引射器相應(yīng)管連接，調(diào)整壓縮空氣調(diào)節(jié)閥，使排氣負(fù)壓顯示為50Pa（在鍍膜過程中，觀察排氣狀態(tài)，調(diào)整排氣負(fù)壓為合適狀態(tài)）。（二）、供配氣系統(tǒng)操作開始鍍膜前，供配氣系統(tǒng)氮?dú)馇鍜咭呀?jīng)完

49、成，系統(tǒng)管路里還保持有遺留氮?dú)?。在打開硅烷瓶閥、乙烯瓶閥前，須把氮?dú)夥诺?。打開截止閥S11、C4使硅烷、乙烯低壓壓力表顯示低于0.1Mpa，高壓部分的氮?dú)庖岔毞诺?，但系統(tǒng)不能放空，避免空氣進(jìn)入。1硅烷：（1）選擇硅烷匯流排一側(cè)（6瓶）供氣，選擇右路，關(guān)閉截止閥S4、S5、S1。在打開硅烷氣瓶前檢查系統(tǒng)管路閥門，關(guān)閉截止閥S6、S11、S12、S13、S19。打開匯流排右路所有匯流排角閥、截止閥S2、S7、S9、S14、S15、S16、S17、S20、S21、BS3和電磁閥V2。檢查無誤后緩慢打開匯流排右路已安裝的6個(gè)硅烷氣瓶的瓶閥至全開。（2）壓力穩(wěn)定后緩慢打開截止閥S6至全開。（3）調(diào)整右路

50、減壓器，使低壓壓力顯示0.25Mpa。（4）觀察該組匯流排高壓壓力變化，待高壓壓力到1Mpa時(shí)，準(zhǔn)備好另一組硅烷氣體。操作過程參考（1）。（5）當(dāng)這一組硅烷氣瓶高壓壓力較低，低壓壓力0.1Mpa時(shí)（同時(shí)觀察混和氣流量變化，流量若降低也應(yīng)立即切換），切換另一組硅烷。先關(guān)閉截止閥S2，再打開截止閥S1。手動(dòng)更換硅烷氣瓶。2乙烯：（1）檢查乙烯管路閥門，關(guān)閉截止閥C2、C4、C5，打開電磁閥V3，匯流排一個(gè)角閥和截止閥BC1、BC2、C1、C3無誤后，打開已經(jīng)開啟角閥的對(duì)應(yīng)乙烯氣瓶瓶閥。另一備用的乙烯氣瓶和相應(yīng)角閥應(yīng)各掛一小牌，注明“備用”字樣。（2）調(diào)整乙烯減壓器使低壓壓力顯示0.25Mpa字樣。

51、（3）打開截止閥C2至全開。3配氣：（1）檢查閥門關(guān)閉S19，打開S14、S15、S16、S17、S18、S20、S21、SC1、SC2。（2）鍍膜總控室開始鍍膜指令后，關(guān)閉截止閥N4（或N3）、N8。（3）在配氣控制室把硅烷、乙烯質(zhì)量流量控制電源盒打到閥控位置。按給定參數(shù)調(diào)整流量，打開順序?yàn)橐蚁⒐柰?。?）調(diào)整SC1、SC2，使兩邊流量顯示平衡。（三）、鍍膜過程操作1鍍膜機(jī)組及輔助設(shè)備鍍膜過程操作分自動(dòng)、點(diǎn)動(dòng)和手動(dòng)操作。（1）自動(dòng)操作：A將自動(dòng)/手動(dòng)選擇開關(guān)旋至自動(dòng)位置，按鍍膜開始按鈕，系統(tǒng)進(jìn)入自動(dòng)控制狀態(tài)。B在鍍膜開始20分鐘后，反應(yīng)器大車、升降臺(tái)的升降電機(jī)每隔10分鐘升一圈。C反應(yīng)器排

52、氣清掃氣缸每隔10分鐘啟動(dòng)一次，清掃排氣狹縫。D當(dāng)反應(yīng)器升高到最大鍍膜高度或擦板時(shí)，按自動(dòng)鍍膜停止按鈕。（2）點(diǎn)動(dòng)操作：點(diǎn)動(dòng)步進(jìn)升、降可干預(yù)自動(dòng)操作，但不影響自動(dòng)的正常運(yùn)行。（3）手動(dòng)操作：A將自動(dòng)/手動(dòng)選擇開關(guān)旋至手動(dòng)位置。B在鍍膜開始20分鐘后，每隔10分鐘按點(diǎn)動(dòng)步進(jìn)升按鈕或手搖反應(yīng)器大車、升降臺(tái)的升降手輪一圈，使反應(yīng)器升高一圈。C每隔10分鐘按排氣清掃按鈕，使反應(yīng)器排氣清掃氣缸啟動(dòng)一次，清掃排氣狹縫。D當(dāng)反應(yīng)器升高到最大鍍膜高度或擦板時(shí)，停止鍍膜。2鍍膜開始后，每隔30分鐘取一次樣品，做透過率測(cè)定和抗酸、堿性試驗(yàn)（具體方法看技術(shù)手冊(cè)）。3隨時(shí)觀察鍍膜玻璃有無劃傷，及時(shí)調(diào)整反應(yīng)器高度。4隨

53、時(shí)觀察反應(yīng)器排氣狀態(tài)。5供、配氣系統(tǒng)：（1）供配氣站、隨時(shí)觀察硅烷、乙烯、氮?dú)飧摺⒌蛪呵闆r和流量，做到有問題及時(shí)處理，硅烷氣體及時(shí)切換，氮?dú)鈿馄考皶r(shí)更換。（2）接到總控室停止鍍膜指令后，關(guān)閉硅烷、乙烯質(zhì)量流量控制器。同時(shí)打開截止閥N4（或N3）、N8，保證反應(yīng)器氮?dú)獯祾郀顟B(tài)。硅烷關(guān)閉S5（或S4）、乙烯關(guān)閉C1（停止鍍膜時(shí)間不大于2小時(shí)，否則整個(gè)系統(tǒng)要用氮?dú)馇逑矗?按大車、升降臺(tái)聯(lián)動(dòng)升按鈕，使反應(yīng)器升至錫槽內(nèi)平衡位置，錫槽內(nèi)清掃反應(yīng)器石墨底面。7重復(fù)前邊反應(yīng)器下降操作把反應(yīng)器降到鍍膜位置。8清掃反應(yīng)器后再鍍膜，打開截止閥S5（或S4）、C1，先關(guān)閉截止閥N4（或N3）、N8，再打開乙烯、硅烷

54、質(zhì)量流量控制器到設(shè)定流量參數(shù)。9觀察反應(yīng)器石墨底面粉塵沉積和鍍膜玻璃透過率情況。若需要在線外清掃時(shí)，應(yīng)立即停止鍍膜。（四）、清掃反應(yīng)器1供配氣系統(tǒng)若清掃完反應(yīng)器后鍍膜繼續(xù)進(jìn)行，供配氣系統(tǒng)可按臨時(shí)停止操作，操作情況參考錫槽內(nèi)清掃反應(yīng)器。若反應(yīng)器清掃過后，不再連續(xù)鍍膜（停止時(shí)間大于3小時(shí)），供配氣系統(tǒng)要做徹底清掃。（1）關(guān)閉使用的硅烷、乙烯氣瓶，把硅烷、乙烯匯流排高壓部分放到小于0.1Mpa，但不能放空。（2）打開截止閥N2，調(diào)整該路減壓器，使氮?dú)獾蛪簤毫︼@示為0.8Mpa，打開截止閥S12、S13、C5。（3）按鍍膜過程調(diào)整硅烷、乙烯參數(shù)程序一樣。調(diào)整壓力、流量，清掃硅烷、乙烯管路30分鐘。（4）關(guān)閉N2、S12、S13、C5。（5）打開截止閥N4（或N3）、N8，保證反應(yīng)器氮?dú)獯祾郀顟B(tài)。2反應(yīng)器大車、升降臺(tái)、反應(yīng)器行走機(jī)構(gòu)（1）首先選擇聯(lián)升、高速選擇開關(guān)，按聯(lián)動(dòng)升按鈕，將反應(yīng)器升高至平衡位置，使反應(yīng)器石墨底面距錫槽池壁上沿15mm左右。（2）搖動(dòng)調(diào)彎手輪，將調(diào)彎力去掉。（3）轉(zhuǎn)動(dòng)快速排氣接頭，將兩側(cè)的排氣接頭拆除，同時(shí)拆除升降臺(tái)一側(cè)的反應(yīng)器進(jìn)氣口的膠管