表面電阻計量標準技術(shù)報告

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上 計量標準技術(shù)報告 計 量 標 準 名 稱 表面電阻測試儀校準裝置 計 量 標 準 負 責 人 姜 山 建標單位名稱（公章） 宿遷市計量測試所 填 寫 日 期 目 錄一、 建立計量標準的目的（ ）二、 計量標準的工作原理及其組成（ ）三、 計量標準器及主要配套設(shè)備（ ）四、 計量標準的主要技術(shù)指標（ ）五、 環(huán)境條件（ ）六、 計量標準的量值溯源和傳遞框圖（ ）七、 計量標準的重復性試驗（ ）八、 計量標準的穩(wěn)定性考核（ ）九、 檢定或校準結(jié)果的測量不確定度評定（ ）十、 檢定或校準結(jié)果的驗證（ ）十一、 結(jié)論 （ ）十二、 附加說明 （ ） 一、建立計量標準的目的

2、為了滿足我市對表面電阻測試儀的校準需求，保證其量值的準確可靠，我所特申請建立該項目的校準裝置二、計量標準的工作原理及其組成將表面電阻測試儀放入屏蔽裝置中接入可調(diào)式高阻箱,調(diào)節(jié)高阻箱電阻值,使表面電阻測試儀顯示對應(yīng)的電阻值或停留在對應(yīng)的LED燈上，從可調(diào)式高阻箱上讀出電阻表示值對應(yīng)的電阻值。從而確定被檢表面電阻測試儀的示值誤差。被測物LEG+-接地電阻表檢定裝置屏蔽裝置三、選用的計量標準器及主要配套設(shè)備計 量 標 準 器名 稱型 號測量范圍不確定度或準確度等級或最大允許誤差制造廠及出廠編號檢定或校準機構(gòu)檢定證書號兆歐表檢定裝置ZX119-10電阻：0.011012電壓：010000V電阻：0.2

3、2.0級電壓：±（1%RD+2D）鎮(zhèn)江市計量實驗工廠江蘇省計量科學研究院 主 要 配 套 設(shè) 備 主 要 配 套 設(shè) 備游標卡尺0-150mm0150mm0.02mm哈爾濱量具刃具廠1792宿遷市計量測試所耐壓測試儀CC2672電壓：0-5kV，電流：0-200mA,時間：0-99s5級南京長創(chuàng)科技有限公司04180宿遷市計量測試所兆歐表ZC25-30500M10級杭州征達儀器儀表有限公司宿遷市計量測試所電子天平LE6202S06200gII級Sartorius宿遷市計量測試所四、計量標準的主要技術(shù)指標電阻輸出相關(guān)技術(shù)參數(shù)如表1：表1步進盤檔位（）×102×103

4、×104×105×106×107×10810910101011步進盤位數(shù)10101010101010101010準確度%0.20.20.20.20.20.51222電壓測量相關(guān)技術(shù)參數(shù)如表2：表2量程（V）自動量程（四位半直讀顯示）測量范圍0V1999.9V10000V最大允許誤差±（1%RD+2D）五、環(huán)境條件序號項目要 求實際情況結(jié)論1溫度20±523合格2濕度40%60%50%合格六.計量標準的量值溯源和傳遞框圖上一級計量器具高壓高阻檢定裝置測量范圍： 電阻：1021012 M 電壓：05000V準確度等級：電阻：0.

5、052級 電壓：0.1級保存機構(gòu)：江蘇省計量測試所 直接法本本級計量器具比較法計量標準名稱:：表面電阻測試儀校準裝置準確度等級：電阻：0.22.0級電壓：±（1%RD+2D）測量范圍：電阻：0.011012電壓：010000V下一級計量器具計量器具名稱:：表面電阻測試儀準確度等級：2.0級及以下測量范圍：01012七、計量標準的重復性試驗M選取一被檢表面電阻測試儀在該裝置正常工作的條件下，等精度重復測量106上限點10點，各次測量值如下（單位M）序號測量值U 213.190.0040.23.200.0140.33.18-0.0060.43.18-0.0060.53.190.0040.

6、63.190.0040.73.18-0.0060.83.18-0.0060.93.18-0.0060.103.190.0040.3.186小于測量不確定度評定中所采用的重復性數(shù)據(jù)，符合JJF1033-2008要求。八、計量標準的穩(wěn)定性考核根據(jù)要求,在規(guī)定時間內(nèi)對一臺性能穩(wěn)定的表面電阻測試儀，在106上限這一點，測量10次，每次測量間隔均大于1個月,測量日期和結(jié)果如下:（M） 時間測量值序號2014年8月 2014年9月 2014年10月13.193.193.1923.203.183.1933.183.173.1943.183.183.1753.193.183.1763.193.193.1773

7、.183.193.1883.183.193.1893.183.183.18103.193.183.19 3.1863.1833.181 Pmax = 3.186 Pmin =3.181 |Pmax-Pmin|= 0.005M MPE =0.00637M 測量結(jié)果平均值的最大值減去最小值小于計量標準的擴展不確定度九、檢定或校準結(jié)果的測量不確定度評定1 概述1.1測量依據(jù)：依據(jù)JJF1285-2011表面電阻測試儀校準規(guī)范1.2環(huán)境條件：要求 室溫20±5oC, 相對濕度（4060）%。1.3測量標準：表面電阻測試儀校準裝置。1.4測量對象：2.0級以下表面電阻測試儀。1.5測量方法：采

8、用直接法2.數(shù)學模型 式中：R被檢表的標準值； R0標準裝置的指示值；Em被表示值與接地電阻儀檢定裝置的差值。3標準不確定度分量的評定3.1輸入量R產(chǎn)生的標準不確定度分量u1評定輸入量R標準不確定度分量u1的來源主要是被檢表的測量不重復引起的，采用A類評定方法。取一臺ACL380被檢表對其109的上限點，連續(xù)獨立測量10次，得到測量列為：單位：G序號123456789105.195.185.185.185.195.195.185.175.185.18 G單次實驗標準差：G實際測量中是取3次測量的平均值，故G以相對誤差的形式表示7.04×10-43.2輸入量R0產(chǎn)生的標準不確定度分量u

9、2輸入量Ro產(chǎn)生的標準不確定度分量，主要由表面電阻測試儀校準裝置誤差引起的不確定度分量u(Rn)，采用B類方法進行評定，該裝置經(jīng)上級檢定合格，制造廠說明書給出109示值最大誤差為2.0%，在區(qū)間內(nèi)為正態(tài)分布，p=99%，k=2.58,則有 u2=a1/k1=2.0%/2.58=7.75-33.3由測量系統(tǒng)，環(huán)境條件等其他因素引起的測量不確定度分量u3經(jīng)實驗得出的結(jié)論是濕度對于表面電阻的高電阻測量影響顯著，電阻值隨濕度的增加而減小且變化非線性，我所恒溫恒濕實驗室的濕度變化可控制在2%RH內(nèi)，引入的誤差為2.0%，在區(qū)間內(nèi)均勻分布，k=，則有 u3=1.0%/=5.77×10-34 合成標準不確定度評定9.69×10-35 擴展不確定度的確定及表示取置信概率P=95%，查t分布表得包含因子k取2擴展不確定度U為 Urel = k u c=2×9.69×10-3=1.9×10-2（k=2）十、檢定或校準結(jié)果的驗證 取一臺表面電阻測試儀經(jīng)自檢，測得一組數(shù)據(jù)與兄弟所（同級標準）測得一組數(shù)據(jù)比對，結(jié)果如下： 標稱值Y本級計量標準測量的結(jié)果(Y1)修正值上級或同級計量標準測量的結(jié)果(Y0)修正值比對結(jié)果之差的絕對值Y1-Y0106上限0.0