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1、傳真：(8621)68043332卡姆丹克公司公司地址：上海南匯工業(yè)園區(qū)園迪路16號郵編:201314電話:(8621)68043010E-mail:sales單晶硅準(zhǔn)方片技術(shù)規(guī)格編號項(xiàng)目規(guī)格單位NO.ITEMSSPECIFICATIONSUNITS1拉制方式CZGrowingMethod2材料Material單晶硅MonocrystallineSilicon3導(dǎo)電類型&摻雜劑Type&DopantP/BorP/Ga4硅片尺寸125*125+0.5156*1560.5mmWaferSize（見附圖1）(SeeFigure1)5直徑Diameter150+0.5200+0.5mm6垂直度Perp

2、endicularity90+0.37厚度200+20gm8Thickness總厚度變化30gmTTV9電阻率A:0.5p3B:3p10MinorityCarrierLifenS11晶向+2.0Orientation12位錯(cuò)密度3000pcs/cm2DislocationDensity13氧含量OxygenContent1*1018(ASTMF121-83)atoms/cm314碳含量5*1016(ASTMF123-83)atoms/cm3CarbonContent15崩邊深度Depth0.3mm,長度Length0.5mmEdgeDefect(最多2處)(Max2pieces)16沾污無ContaminationAreaNone17線痕20SawMarkgm18翹曲度50gmWarpage硅片型號WaferType尺寸(mm)DimensionABCDMaxMinMaxMinMaxMinMaxMin125I125.5124.5150.5149.584823129125II125.5124.5165.5164.51091071311156I156.5155.5200.5199.51261

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