感測(cè)技術(shù)--ch3

1、第3章 數(shù)字式傳感器 3.1 光柵傳感器光柵傳感器3.2 編碼器編碼器3.3 感應(yīng)同步器感應(yīng)同步器3.1 光光 柵柵 傳傳 感感 器器 3.1.1 光柵的結(jié)構(gòu)及工作原理光柵的結(jié)構(gòu)及工作原理 1. 光柵結(jié)構(gòu)光柵結(jié)構(gòu) 在鍍膜玻璃上均勻刻制許多有明暗相間、等間距分布的細(xì)小條紋（又稱為刻線），這就是光柵，圖3-1為透射光柵的示意圖。圖中a為柵線的寬度（不透光），b為柵線間寬（透光）， a+b=W稱為光柵的柵距柵距（也稱光柵常數(shù)）。通常a=b=W/2，也可刻成a b=1.1 0.9。目前常用的光柵每毫米刻成10、25、50、 100、250條線條。 圖13 1 透射光柵示意圖 2. 光柵測(cè)量原理光柵測(cè)量

2、原理 把兩塊柵距相等的光柵（光柵1、光柵2）面向?qū)ΟB合在一起，中間留有很小的間隙，并使兩者的柵線之間形成一個(gè)很小的夾角，如圖3-2所示，這樣就可以看到在近于垂直柵線方向上出現(xiàn)明暗相間的條紋，這些條紋叫莫爾條紋。由圖3 - 2可見(jiàn)，在d - d線上，兩塊光柵的柵線重合，透光面積最大， 形成條紋的亮帶， 它是由一系列四棱形圖案構(gòu)成的；在f - f線上，兩塊光柵的柵線錯(cuò)開(kāi)，形成條紋的暗帶，它是由一些黑色叉線圖案組成的。因此莫爾條紋的形成是由兩塊光柵的遮光和透光效應(yīng)形成的。 圖3-2 光柵莫爾條紋的形式 莫爾條紋測(cè)位移具有以下三個(gè)方面的特點(diǎn)。 (1) 位移的放大作用 當(dāng)光柵每移動(dòng)一個(gè)光柵柵距W時(shí)， 莫

3、爾條紋也跟著移動(dòng)一個(gè)條紋寬度BH，如果光柵作反向移動(dòng)，條紋移動(dòng)方向也相反。莫爾條紋的間距BH與兩光柵線紋夾角之間的關(guān)系為 WWBH2sin（3 - 1） 越小，BH越大，這相當(dāng)于把柵距W放大了1/倍。例如=0.1，則1/573，即莫爾條紋寬度BH是柵距W的573倍， 這相當(dāng)于把柵距放大了573倍，說(shuō)明光柵具有位移放大作用， 從而提高了測(cè)量的靈敏度。 （2） 莫爾條紋移動(dòng)方向 如光柵1沿著刻線垂直方向向右移動(dòng)時(shí)，莫爾條紋將沿著光柵2的柵線向上移動(dòng)；反之，當(dāng)光柵1向左移動(dòng)時(shí)，莫爾條紋沿著光柵2的柵線向下移動(dòng)。 因此根據(jù)莫爾條紋移動(dòng)方向就可以對(duì)光柵1的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行辨向。 (3) 誤差的平均效應(yīng) 莫爾條紋

4、由光柵的大量刻線形成，對(duì)線紋的刻劃誤差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期誤差的影響。 3.1.2 光柵傳感器的組成光柵傳感器的組成 光柵傳感器作為一個(gè)完整的測(cè)量裝置包括光柵讀數(shù)頭、光柵數(shù)顯表兩大部分。光柵讀數(shù)頭利用光柵原理把輸入量（位移量）轉(zhuǎn)換成響應(yīng)的電信號(hào)；光柵數(shù)顯表是實(shí)現(xiàn)細(xì)分、辨向和顯示功能的電子系統(tǒng)。 1. 光柵讀數(shù)頭光柵讀數(shù)頭 光柵讀數(shù)頭主要由標(biāo)尺光柵、指示光柵、光路系統(tǒng)和光電元件等組成。標(biāo)尺光柵的有效長(zhǎng)度即為測(cè)量范圍。指示光柵比標(biāo)尺光柵短得多，但兩者一般刻有同樣的柵距，使用時(shí)兩光柵互相重疊，兩者之間有微小的空隙。 標(biāo)尺光柵一般固定在被測(cè)物體上，且隨被測(cè)物體一起移動(dòng)，其長(zhǎng)度取決于

5、測(cè)量范圍，指示光柵相對(duì)于光電元件固定。光柵讀數(shù)頭的結(jié)構(gòu)示意圖見(jiàn)圖3- 3。 圖3 3 光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)示意圖 x123451光源；2透鏡；3標(biāo)尺光柵；4指示光柵；5光電元件 前面分析的莫爾條紋是一個(gè)明暗相間的帶。從圖3-2看出，兩條暗帶中心線之間的光強(qiáng)變化是從最暗到漸暗，到漸亮，一直到最亮，又從最亮經(jīng)漸亮到漸暗， 再到最暗的漸變過(guò)程。 主光柵移動(dòng)一個(gè)柵距W，光強(qiáng)變化一個(gè)周期，若用光電元件接收莫爾條紋移動(dòng)時(shí)光強(qiáng)的變化，則將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，接近于正弦周期函數(shù)(如圖3 -4所示)， 如以電壓輸出，即 WxUUumoo22sin（13 - 2） 式中： uo光電元件輸出的電壓信號(hào)； Uo輸出信號(hào)中的

6、平均直流分量； Um輸出信號(hào)中正弦交流分量的幅值。 由式（3 - 2）可見(jiàn)，輸出電壓反映了位移量的大小。 輸出電壓uoUmUoabcdefg位移 x正最大負(fù)最大正最大圖3-4 光柵位移與光強(qiáng)、輸出電壓的關(guān)系 2. 光柵數(shù)顯表光柵數(shù)顯表 光柵讀數(shù)頭實(shí)現(xiàn)了位移量由非電量轉(zhuǎn)換為電量，位移是向量， 因而對(duì)位移量的測(cè)量除了確定大小之外，還應(yīng)確定其方向。 為了辨別位移的方向， 進(jìn)一步提高測(cè)量的精度，以及實(shí)現(xiàn)數(shù)字顯示的目的，必須把光柵讀數(shù)頭的輸出信號(hào)送入數(shù)顯表作進(jìn)一步的處理。光柵數(shù)顯表由整形放大電路、細(xì)分電路、辨向電路及數(shù)字顯示電路等組成。 （1） 辨向原理 采用圖3-3中一個(gè)光電元件的光柵讀數(shù)頭， 無(wú)論主

7、光柵作正向還是反向移動(dòng)，莫爾條紋都作明暗交替變化， 光電元件總是輸出同一規(guī)律變化的電信號(hào)，此信號(hào)不能辨別運(yùn)動(dòng)方向。為了能夠辨向，需要有相位差為/2的兩個(gè)電信號(hào)。 圖13 - 5為辨向的工作原理和它的邏輯電路。在相隔BH/4間距的位置上，放置兩個(gè)光電元件1和2，得到兩個(gè)相位差/2的電信號(hào)u1和u2（圖中波形是消除直流分量后的交流分量），經(jīng)過(guò)整形后得兩個(gè)方波信號(hào)u1和u2。 從圖中波形的對(duì)應(yīng)關(guān)系可看出，當(dāng)光柵沿A方向移動(dòng)時(shí)，u1經(jīng)微分電路后產(chǎn)生的脈沖, 正好發(fā)生在u2的“1”電平時(shí)，從而經(jīng)Y1輸出一個(gè)計(jì)數(shù)脈沖；而u1經(jīng)反相并微分后產(chǎn)生的脈沖，則與u2的“0”電平相遇，與門Y2被阻塞，無(wú)脈沖輸出。在

8、光柵沿A方向移動(dòng)時(shí)，u1的微分脈沖發(fā)生在u2為“0”電平時(shí)，與門Y1無(wú)脈沖輸出；而u1的反相微分脈沖則發(fā)生在u2 的“1”電平時(shí)， 與門Y2輸出一個(gè)計(jì)數(shù)脈沖,則說(shuō)明u2的電平狀態(tài)作為與門的控制信號(hào)，來(lái)控制在不同的移動(dòng)方向時(shí)，u1所產(chǎn)生的脈沖輸出。 這樣就可以根據(jù)運(yùn)動(dòng)方向正確地給出加計(jì)數(shù)脈沖或減計(jì)數(shù)脈沖， 再將其輸入可逆計(jì)數(shù)器，實(shí)時(shí)顯示出相對(duì)于某個(gè)參考點(diǎn)的位移量。 圖3 5 辨向邏輯工作原理 Y1Y2AA1u2uAABB3124uu1u20 xW1u2u4HB4W2W43W1、2光電元件；3、4光柵；A( )光柵移動(dòng)方向； B( ) 與A ( )對(duì)應(yīng)的莫爾條紋移動(dòng)方向ABA (2) 細(xì)分技術(shù) 在

9、前面討論的光柵測(cè)量原理中可知，以移過(guò)的莫爾條紋的數(shù)量來(lái)確定位移量，其分辨率為光柵柵距。為了提高分辨率和測(cè)量比柵距更小的位移量，可采用細(xì)分技術(shù)。所謂細(xì)分，就是在莫爾條紋信號(hào)變化一個(gè)周期內(nèi)，發(fā)出若干個(gè)脈沖，以減小脈沖當(dāng)量，如一個(gè)周期內(nèi)發(fā)出n個(gè)脈沖，即可使測(cè)量精度提高到n倍，而每個(gè)脈沖相當(dāng)于原來(lái)柵距的1/n。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻率提高到了n倍，因此也稱之為n倍頻。細(xì)分方法有機(jī)械細(xì)分和電子細(xì)分兩類。下面介紹電子細(xì)分法中常用的四倍頻細(xì)分法， 這種細(xì)分法也是許多其它細(xì)分法的基礎(chǔ)。 在上述辨向原理中可知，在相差BH/4位置上安裝兩個(gè)光電元件，得到兩個(gè)相位相差/2的電信號(hào)。 若將這兩個(gè)信號(hào)反相就可以得到四個(gè)依

10、次相差/2的信號(hào)，從而可以在移動(dòng)一個(gè)柵距的周期內(nèi)得到四個(gè)計(jì)數(shù)脈沖，實(shí)現(xiàn)四倍頻細(xì)分。也可以在相差BH/4位置上安放四個(gè)光電元件來(lái)實(shí)現(xiàn)四倍頻細(xì)分。這種方法不可能得到高的細(xì)分?jǐn)?shù)，因?yàn)樵谝粋€(gè)莫爾條紋的間距內(nèi)不可能安裝更多的光電元件。它有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，就是對(duì)莫爾條紋產(chǎn)生的信號(hào)波形沒(méi)有嚴(yán)格要求。 3.2 編編 碼碼 器器 將機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)的模擬量（位移）轉(zhuǎn)換成以數(shù)字代碼形式表示的電信號(hào)，這類傳感器稱為編碼器。編碼器以其高精度、 高分辨率和高可靠性被廣泛用于各種位移的測(cè)量。 編碼器的種類很多， 主要分為脈沖盤式（增量編碼器）和碼盤式編碼器（絕對(duì)編碼器），其關(guān)系如下所示： 編碼器 脈沖盤式編碼器(增量編碼器) 碼盤式編

11、碼器(絕對(duì)編碼器) 接觸式編碼器 電磁式編碼器 光電式編碼器 脈沖盤式編碼器的輸出是一系列脈沖，需要一個(gè)計(jì)數(shù)系統(tǒng)對(duì)脈沖進(jìn)行加減(正向或反向旋轉(zhuǎn)時(shí))累計(jì)計(jì)數(shù)，一般還需要一個(gè)基準(zhǔn)數(shù)據(jù)即零位基準(zhǔn)，才能完成角位移測(cè)量。絕對(duì)編碼器不需要基準(zhǔn)數(shù)據(jù)及計(jì)數(shù)系統(tǒng)，它在任意位置都可給出與位置相對(duì)應(yīng)的固定數(shù)字碼輸出， 能方便地與數(shù)字系統(tǒng)（如微機(jī)）連接。 編碼器按其結(jié)構(gòu)形式有接觸式、光電式、電磁式等， 后兩種為非接觸式編碼器。非接觸式編碼器具有非接觸、體積小和壽命長(zhǎng)，且分辨率高的特點(diǎn)。三種編碼器相比較，光電式編碼器的性價(jià)比最高，它作為精密位移傳感器在自動(dòng)測(cè)量和自動(dòng)控制技術(shù)中得到了廣泛的應(yīng)用。目前我國(guó)已有23位光電編碼

12、器， 為科學(xué)研究、軍事、航天和工業(yè)生產(chǎn)提供了對(duì)位移量進(jìn)行精密檢測(cè)的手段。 3.2.1 光電式編碼器光電式編碼器 光電式編碼器主要由安裝在旋轉(zhuǎn)軸上的編碼圓盤（碼盤）、 窄縫以及安裝在圓盤兩邊的光源和光敏元件等組成?；窘Y(jié)構(gòu)如圖3-6所示。碼盤由光學(xué)玻璃制成，其上刻有許多同心碼道， 每位碼道上都有按一定規(guī)律排列的透光和不透光部分，即亮區(qū)和暗區(qū)。碼盤構(gòu)造如圖3-7所示，它是一個(gè)6位二進(jìn)制碼盤。當(dāng)光源將光投射在碼盤上時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)碼盤，通過(guò)亮區(qū)的光線經(jīng)窄縫后， 由光敏元件接收。光敏元件的排列與碼道一一對(duì)應(yīng)， 對(duì)應(yīng)于亮區(qū)和暗區(qū)的光敏元件輸出的信號(hào)，前者為“1”，后者為“0”。 當(dāng)碼盤旋至不同位置時(shí)，光敏元件輸

13、出信號(hào)的組合，反映出按一定規(guī)律編碼的數(shù)字量，代表了碼盤軸的角位移大小。 編碼器碼盤按其所用碼制可分為二進(jìn)制碼、 十進(jìn)制碼、 循環(huán)碼等。 對(duì)于圖3-7所示的6位二進(jìn)制碼盤，最內(nèi)圈碼盤一半透光， 一半不透光，最外圈一共分成26=64個(gè)黑白間隔。每一個(gè)角度方位對(duì)應(yīng)于不同的編碼。例如零位對(duì)應(yīng)于000000（全黑）；第23個(gè)方位對(duì)應(yīng)于010111。這樣在測(cè)量時(shí)， 只要根據(jù)碼盤的起始和終止位置，就可以確定角位移，而與轉(zhuǎn)動(dòng)的中間過(guò)程無(wú)關(guān)。一個(gè)n位二進(jìn)制碼盤的最小分辨率，即能分辨的角度為=360/2n， 一個(gè)6位二進(jìn)制碼盤， 其最小分辨的角度5.6。 124531光源；2透鏡；3碼盤；4窄縫；5光電元件組圖3

14、-6 光電式編碼器示意圖圖3-7 碼盤構(gòu)造 采用二進(jìn)制編碼器時(shí)，任何微小的制作誤差，都可能造成讀數(shù)的粗誤差。 這主要是因?yàn)槎M(jìn)制碼當(dāng)某一較高的數(shù)碼改變時(shí)， 所有比它低的各位數(shù)碼均需同時(shí)改變。如果由于刻劃誤差等原因， 某一較高位提前或延后改變，就會(huì)造成粗誤差。 為了消除粗誤差，可用循環(huán)碼代替二進(jìn)制碼。表3-1 給出了四位二進(jìn)制碼與循環(huán)碼的對(duì)照表。從表中看出，循環(huán)碼是一種無(wú)權(quán)碼，從任何數(shù)變到相鄰數(shù)時(shí)，僅有一位數(shù)碼發(fā)生變化。如果任一碼道刻劃有誤差，只要誤差不太大，且只可能有一個(gè)碼道出現(xiàn)讀數(shù)誤差，產(chǎn)生的誤差最多等于最低位的一個(gè)比特。所以只要適當(dāng)限制各碼道的制造誤差和安裝誤差，都不會(huì)產(chǎn)生粗誤差。 由于這

15、一原因使得循環(huán)碼碼盤獲得了廣泛的應(yīng)用。圖13 - 8所示的是一個(gè)6位的循環(huán)碼碼盤。對(duì)于n位循環(huán)碼碼盤，與二進(jìn)制碼一樣，具有2n種不同編碼，最小分辨率=360/2n。 表表3-1 四位二進(jìn)制碼與循環(huán)碼對(duì)照表四位二進(jìn)制碼與循環(huán)碼對(duì)照表 圖3-8 6位循環(huán)碼碼盤 循環(huán)碼是一種無(wú)權(quán)碼，這給譯碼造成一定困難。通常先將它轉(zhuǎn)換成二進(jìn)制碼然后再譯碼。 按表3 -1 所列，可以找到循環(huán)碼和二進(jìn)制碼之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系為 11iiiiiinnCRCCCRCR或 式中： R循環(huán)碼； C二進(jìn)制碼。 (3-3) 根據(jù)上式用與非門構(gòu)成循環(huán)碼-二進(jìn)制碼轉(zhuǎn)換器，這種轉(zhuǎn)換器所用元件比較多。如采用存貯器芯片可直接把循環(huán)碼轉(zhuǎn)換成二進(jìn)制碼

16、或任意進(jìn)制碼。 大多數(shù)編碼器都是單盤的，全部碼道則在一個(gè)圓盤上。但如要求有很高的分辨率時(shí)，碼盤制作困難，圓盤直徑增大，而且精度也難以達(dá)到。如要達(dá)到1左右的分辨率，至少采用 20 位的碼盤。對(duì)于一個(gè)刻劃直徑為 400mm的20位碼盤，其外圈分劃間隔不到1.2m，可見(jiàn)碼盤的制作不是一件易事，而且光線經(jīng)過(guò)這么窄的狹縫會(huì)產(chǎn)生光的衍射。這時(shí)可采用雙盤編碼器， 它的特點(diǎn)是由兩個(gè)分辨率較低的碼盤組合成為高分辨率的編碼器。 3.2.2 磁編碼器磁編碼器 磁編碼器是近幾年發(fā)展起來(lái)的新型傳感器。它主要由磁鼓與磁阻探頭組成， 它的構(gòu)成如圖3-9所示。多極磁鼓常用的有兩種：一種是塑磁磁鼓， 在磁性材料中混入適當(dāng)?shù)恼澈?/p>

17、劑，注塑成形； 另一種是在鋁鼓外面覆蓋一層粘結(jié)磁性材料而制成。多極磁鼓產(chǎn)生的空間磁場(chǎng)由磁鼓的大小和磁層厚度決定，磁阻探頭由磁阻元件通過(guò)微細(xì)加工技術(shù)而制成，磁阻元件電阻值僅和電流方向成直角的磁場(chǎng)有關(guān)， 而與電流平行的磁場(chǎng)無(wú)關(guān)。 圖圖3 9 磁編碼器的基本結(jié)構(gòu)磁編碼器的基本結(jié)構(gòu)1磁鼓；2氣隙；3磁敏傳感部件；4磁敏電阻元件1432NNSSNNSSNNSS 電磁式編碼器的碼盤上按照一定的編碼圖形，做成磁化區(qū)（導(dǎo)磁率高）和非磁化區(qū)（導(dǎo)磁率低），采用小型磁環(huán)或微型馬蹄形磁芯作磁頭， 磁環(huán)或磁頭緊靠碼盤，但又不與碼盤表面接觸。每個(gè)磁頭上繞兩組繞組，原邊繞組用恒幅恒頻的正弦信號(hào)激勵(lì)，副邊繞組用作輸出信號(hào)，副

18、邊繞組感應(yīng)碼盤上的磁化信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，其感應(yīng)電勢(shì)與兩繞組匝數(shù)比和整個(gè)磁路的磁導(dǎo)有關(guān)。 當(dāng)磁頭對(duì)準(zhǔn)磁化區(qū)時(shí)，磁路飽和，輸出電壓很低，如磁頭對(duì)準(zhǔn)非磁化區(qū)，它就類似于變壓器， 輸出電壓會(huì)很高，因此可以區(qū)分狀態(tài)“1”和“0”。幾個(gè)磁頭同時(shí)輸出，就形成了數(shù)碼。 電磁式編碼器由于精度高，壽命長(zhǎng)，工作可靠，對(duì)環(huán)境條件要求較低，但成本較高。 3.3 感感 應(yīng)應(yīng) 同同 步步 器器 3.3.1 結(jié)構(gòu)原理結(jié)構(gòu)原理 感應(yīng)同步器有直線式和旋轉(zhuǎn)式兩種，分別用于直線位移和角位移測(cè)量，兩者原理相同。直線式（長(zhǎng)）感應(yīng)同步器由定尺和滑尺組成，如圖3-10所示。旋轉(zhuǎn)式（圓）感應(yīng)同步器由轉(zhuǎn)子和定子組成，如圖3-11所示。在定尺和轉(zhuǎn)

19、子上的是連續(xù)繞組， 在滑尺和定子上的則是分段繞組。分段繞組分為兩組， 在空間相差90相角，故又稱為正弦、余弦繞組。工作時(shí)如果在其中一種繞組上通以交流激勵(lì)電壓，由于電磁耦合，在另一種繞組上就產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)，該電動(dòng)勢(shì)隨定尺與滑尺（或轉(zhuǎn)子與定子）的相對(duì)位置不同而呈正弦、余弦函數(shù)變化，再通過(guò)對(duì)此信號(hào)的檢測(cè)處理， 便可測(cè)量出直線或轉(zhuǎn)角的位移量。 圖3-10 長(zhǎng)感應(yīng)同步器示意圖(a) 定尺； (b) 滑尺 exUsUc正弦繞組余弦繞組W41(a)(b) 圖3-11 圓感應(yīng)同步器示意圖(a) 定子； (b) 轉(zhuǎn)子 3.3.2 信號(hào)處理方式信號(hào)處理方式 按信號(hào)處理方式來(lái)分，可分為鑒相和鑒幅方式兩種。它們的特征

20、是用輸出感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的相位或幅值來(lái)進(jìn)行處理。下面以長(zhǎng)感應(yīng)同步器為例進(jìn)行敘述。 1. 鑒相方式鑒相方式 滑尺的正弦、余弦繞組在空間位置上錯(cuò)開(kāi)1/4定尺的節(jié)距， 激勵(lì)時(shí)加上等幅等頻，相位差為90的交流電壓，即分別以sint和cost來(lái)激勵(lì)，這樣，就可以根據(jù)感應(yīng)電勢(shì)的相位來(lái)鑒別位移量， 故叫鑒相型。 當(dāng)正弦繞組單獨(dú)激勵(lì)時(shí)勵(lì)磁電壓為us=Um sint，感應(yīng)電勢(shì)為 sincos tUkems式中，k為耦合系數(shù)。 當(dāng)余弦繞組單獨(dú)激勵(lì)時(shí)（勵(lì)磁電壓為uc=Umcost）, 感應(yīng)電勢(shì)為 sincos tUkemc按疊加原理求得定尺上總感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)為 )sin(cossinsincostUktUktUkeeemmm

21、cs式中的=2x/稱為感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的相位角，它在一個(gè)節(jié)距W之內(nèi)與定尺和滑尺的相對(duì)位移有一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系，每經(jīng)過(guò)一個(gè)節(jié)距， 變化一個(gè)周期（2）。 2. 鑒幅方式鑒幅方式 如在滑尺的正弦、余弦繞組加以同頻、 同相但幅值不等的交流激磁電壓，則可根據(jù)感應(yīng)電勢(shì)振幅來(lái)鑒別位移量， 稱為鑒幅型。 加到滑尺兩繞組的交流勵(lì)磁電壓為 tUutUuccsscoscos(3-7)(3-8)式中 Us=Um sin； Uc=Um cos；Um激勵(lì)電壓幅值；給定的電相角。 它們分別在定尺繞組上感應(yīng)出的電動(dòng)勢(shì)為 es=kUs sint sinec=kUc sint cos定尺的總感應(yīng)電勢(shì)為 e=es+ec=kUs sint sin+kUc sint cos=kUm sint(cos cos+sinsin) =kUm sint cos(-)式中把感應(yīng)同步器兩尺的相對(duì)位移x=2/和感應(yīng)電勢(shì)的幅值kUm cos(-)聯(lián)系了起來(lái)。 3.3.3 感應(yīng)同步器位移測(cè)量系統(tǒng)感應(yīng)同步器位移測(cè)量系統(tǒng)