雷妮紹激光干涉儀的使用

1、設(shè)備部：杜康第一步：激光干涉儀的安裝1)三腳架的固定；2)激光頭的安裝與固定；3)補(bǔ)償器XC（包括環(huán)境空氣溫度傳感器和工作臺(tái)表面溫度傳感器）的安裝與固定；4)激光頭和補(bǔ)償器通過數(shù)據(jù)線與計(jì)算機(jī)的連接；5)激光頭電源線的連接； （現(xiàn)場(chǎng)演示）6)按下激光頭電源按鈕，預(yù)熱56分鐘，直到指示燈變?yōu)榧t色表示預(yù)熱完成；7)找到“開始Renishaw LaserXL線性測(cè)長(zhǎng)”，單擊打開雷尼紹測(cè)量軟件。機(jī)床預(yù)熱：機(jī)床各軸在勻速狀態(tài)下運(yùn)轉(zhuǎn)10分鐘左右。第二步：激光光路對(duì)正（見附圖）1)掌握干涉鏡和反射鏡的安裝方法（根據(jù)測(cè)量軸的不同，安裝方法有所不同，注意觀察箭頭所指方向，激光從箭頭尾部射入）；2)將機(jī)床各軸原點(diǎn)復(fù)

2、歸；3)微調(diào)方式下，調(diào)整干涉鏡和反射鏡的位置，使兩者靠近，目測(cè)能夠盡量上下左右對(duì)齊；4)移動(dòng)三腳架使激光頭的光源穿過干涉鏡，此時(shí)能夠看到2個(gè)光點(diǎn)；5)微調(diào)方式下，調(diào)整機(jī)床側(cè)使2個(gè)光點(diǎn)重合；6)轉(zhuǎn)動(dòng)激光頭，觀察激光頭上方的LED燈點(diǎn)亮情況（5個(gè)全亮最好）7)微調(diào)方式下，將測(cè)量軸遠(yuǎn)離干涉鏡，直到LED燈只剩一個(gè)時(shí)停止移動(dòng)，此時(shí)調(diào)整激光頭的各個(gè)微調(diào)旋鈕等，直到將光路再次調(diào)整到5個(gè)LED燈全亮；8)微調(diào)方式下，將測(cè)量軸再次遠(yuǎn)離干涉鏡，重復(fù)第7）步，直到測(cè)量終點(diǎn)處，此時(shí)，反向搖回來，觀察LED燈，保證到起點(diǎn)處均保持5個(gè)LED燈全亮，若不能滿足，則繼續(xù)調(diào)整至全亮。第三步：機(jī)床程序編制及參數(shù)設(shè)定1)編制測(cè)量

3、運(yùn)行程序（根據(jù)測(cè)量軸和測(cè)量行程修改相應(yīng)程序）；2)坐標(biāo)系中，G54中將對(duì)應(yīng)軸清0；3)模式打到“程序運(yùn)行”，倍率打至0%；第四步：軟件設(shè)置1) 采集來自環(huán)境空氣溫度值、物體表面溫度值；2) 物體膨脹效應(yīng)補(bǔ)償：不帶光柵尺的為11.7/帶光柵尺的為8.0；3)點(diǎn)擊軟件最左邊第一個(gè)工具，進(jìn)入設(shè)置對(duì)話框；4)采集數(shù)據(jù)設(shè)定第一項(xiàng)： 設(shè)置第一定位點(diǎn)， 最終定位點(diǎn) ， 間距值，完成后進(jìn)入 下一項(xiàng)；5)采集數(shù)據(jù)設(shè)定第二項(xiàng)：定位方式選擇“線性定位方式”，測(cè)量次數(shù)一般設(shè)為2，選擇方向?yàn)椤半p向”，其他不變，點(diǎn)擊進(jìn)入下一項(xiàng)6)采集數(shù)據(jù)設(shè)定第三項(xiàng)，填寫“機(jī)器名稱”、“軸”等信息；7)采集數(shù)據(jù)設(shè)定第四項(xiàng)：越程量大小改為：

4、0.0000mm 其他保持不變， 點(diǎn)擊完成設(shè)定。 第五步：執(zhí)行測(cè)量程序1)打開倍率旋鈕開關(guān)，將程序中第一步的1mm余量走完后，再次關(guān)閉倍率旋鈕；2)軟件清0（注意正負(fù)號(hào)），打開倍率旋鈕，即可自動(dòng)執(zhí)行程序采集測(cè)量數(shù)據(jù)，繪制測(cè)量曲線；3)等待程序執(zhí)行完畢后，按“回車”鍵結(jié)束，機(jī)床側(cè)按“RESET”鍵結(jié)束程序執(zhí)行。第六步：分析測(cè)量數(shù)據(jù)1) 點(diǎn)擊“分析數(shù)據(jù)”，進(jìn)入數(shù)據(jù)分析窗口；2) 點(diǎn)擊“分析數(shù)據(jù)”選擇一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，點(diǎn)擊進(jìn)行曲線分析機(jī)床的各項(xiàng)指標(biāo)；3) 若檢測(cè)下來機(jī)床的精度需要提高，則可按照當(dāng)前檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行補(bǔ)償，點(diǎn)擊“誤差補(bǔ)償圖表”；4) 彈出誤差補(bǔ)償表格窗口：圖表類型選擇“均值補(bǔ)償”、補(bǔ)償分辨率設(shè)為1、

5、正負(fù)符號(hào)轉(zhuǎn)換選擇“補(bǔ)償值”、參考點(diǎn)位置為0.0000mm、補(bǔ)償起點(diǎn)和補(bǔ)償終點(diǎn)依情況而定、補(bǔ)償間隔為20.0000mm,點(diǎn)擊“繪制誤差補(bǔ)償圖表”。5) 按照均值補(bǔ)償值對(duì)機(jī)床進(jìn)行補(bǔ)償，若發(fā)現(xiàn)補(bǔ)償值中有數(shù)據(jù)大于8，則需修改第4）步的補(bǔ)償分辨率進(jìn)行調(diào)整，同時(shí)，機(jī)床參數(shù)3623也要做相同修改，重新生成補(bǔ)償值再補(bǔ)入機(jī)床。補(bǔ)償時(shí)，注意-20mm對(duì)應(yīng)位置，按照均值補(bǔ)償表從下往上依次補(bǔ)入，補(bǔ)完即可。（參考參數(shù)3620）重新測(cè)量之后，觀察測(cè)量曲線變化情況，與未補(bǔ)償前的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比分析，觀察補(bǔ)償后的機(jī)床精度是否有所改善。第七步：輸入補(bǔ)償值之后，再次測(cè)量注意及時(shí)保存需要的測(cè)量數(shù)據(jù)！附錄：激光干涉儀加工中心測(cè)量程序（X軸）O0400 G0 G90 X1. ； （主程序）G4 X1. ；X0；G4 X4. ；M98 P0401 L14 ；X-1. ；G4 X1. ；X1. ；G4 X4 ；M98 P0402 L1