川本恒溫恒壓冷凍機(jī)控制系統(tǒng)在MOCVD半導(dǎo)體芯片設(shè)備的應(yīng)用

1、川本恒溫恒壓冷凍機(jī)控制系統(tǒng)在MOCVD半導(dǎo)體芯片設(shè)備的應(yīng)用 爭(zhēng)對(duì)深圳一生產(chǎn)LED芯片廠家的現(xiàn)狀，現(xiàn)車間有5臺(tái)MOCVD機(jī)、高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測(cè)試機(jī)各1臺(tái)，根據(jù)客戶需要進(jìn)行恒溫恒壓供水設(shè)計(jì)。 初步設(shè)計(jì)5臺(tái)MOCVD機(jī)分別由2臺(tái)40HP和1臺(tái)20HP制冷系統(tǒng)分別對(duì)其進(jìn)行恒溫恒壓供水，高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測(cè)試機(jī)1臺(tái)的供水由1臺(tái)15HP制冷系統(tǒng)進(jìn)行恒溫恒壓供水，依據(jù)參數(shù)設(shè)計(jì)如下表： 設(shè)備數(shù)量冷水流量(m3/h)供水壓力（bar）最小壓差（bar）進(jìn)水溫度進(jìn)水管徑不繡鋼所需配冷水機(jī)備注1#MOCVD1104.83±0.69（4-6）可調(diào)2.761820DN2540

2、HP水質(zhì)為純凈水2#MOCVD1104.83±0.69（4-6）可調(diào)2.761820DN253#MOCVD1104.83±0.69（4-6）可調(diào)2.761820DN2540HP水質(zhì)為純凈水4#MOCVD1104.83±0.69（4-6）可調(diào)2.761820DN255#MOCVD1104.83±0.69（4-6）可調(diào)2.761820DN2520HP水質(zhì)為純凈水高溫烘爐1122.52225DN5015HP水質(zhì)為純凈水單管退火爐13DN20XRD10.3641525DN15二、變頻恒壓供水特點(diǎn):1、恒壓供水能自動(dòng)24小時(shí)維持恒定壓力，并根據(jù)壓力信號(hào)自動(dòng)啟動(dòng)備用泵，無(wú)級(jí)調(diào)整壓力，供水質(zhì)量好，與傳統(tǒng)供水比較，不會(huì)造成管網(wǎng)破裂及水龍頭共振現(xiàn)象。2、動(dòng)平滑，減少電機(jī)水泵的沖擊，延長(zhǎng)了電機(jī)及水泵的使用壽命，避免了傳統(tǒng)供水中的水錘現(xiàn)象。3、采用變頻恒壓供水保護(hù)功能齊全，運(yùn)行可靠，具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護(hù)功能。4、系統(tǒng)配置可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)定時(shí)供水,徹底實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守自動(dòng)供水.控制系統(tǒng)具有故障報(bào)警和顯示功能,并可進(jìn)行工變頻轉(zhuǎn)換,應(yīng)急供水。5、系統(tǒng)根據(jù)用戶