切片異常匯總

1、切片異常匯總切片異常匯總1.斷線斷線2.線痕線痕3.厚薄片厚薄片4.隱裂隱裂5.缺角缺角6.崩邊崩邊7.彎曲片彎曲片8.掉棒掉棒9.掉片掉片10過(guò)濾袋過(guò)濾袋堵塞堵塞11.如何避如何避免斷線和免斷線和斷線的解斷線的解決辦法決辦法12鋼線張鋼線張力力目錄目錄斷線斷線收線輪斷線收線輪斷線放線輪斷線放線輪斷線線網(wǎng)斷線線網(wǎng)斷線切割快結(jié)束切割快結(jié)束后斷線后斷線 放線輪斷線：放線輪斷線：1.最常見(jiàn)的是鋼線質(zhì)量問(wèn)題造成斷線最常見(jiàn)的是鋼線質(zhì)量問(wèn)題造成斷線;2.其次張力異常造成斷線其次張力異常造成斷線;3.垂直度不垂直造成斷線垂直度不垂直造成斷線;4、滑輪質(zhì)量問(wèn)題造成斷線、滑輪質(zhì)量問(wèn)題造成斷線滑輪沒(méi)有及時(shí)更換滑輪

2、沒(méi)有及時(shí)更換造成斷線造成斷線;5、導(dǎo)論驅(qū)動(dòng)異常造成斷線。、導(dǎo)論驅(qū)動(dòng)異常造成斷線。其次放線輪壓線斷線分為假壓線和真壓線兩種：其次放線輪壓線斷線分為假壓線和真壓線兩種：在這兩種情況下真壓線的斷線率比假壓線的高。在這兩種情況下真壓線的斷線率比假壓線的高。其主要原因是在鋼線本身，還有一種可能是斷線其主要原因是在鋼線本身，還有一種可能是斷線后采用反切方后采用反切方法排線不正確也會(huì)產(chǎn)生。法排線不正確也會(huì)產(chǎn)生。收線輪斷線：收線輪斷線： 其一排線的問(wèn)題。在切割過(guò)程中收線輪處的排線輪由其一排線的問(wèn)題。在切割過(guò)程中收線輪處的排線輪由于行程有細(xì)微的過(guò)大，而切割后的鋼線本身在切割過(guò)程中于行程有細(xì)微的過(guò)大，而切割后的鋼

3、線本身在切割過(guò)程中有了比較均勻的磨損；由于排線輪的行程大了一點(diǎn)，線和有了比較均勻的磨損；由于排線輪的行程大了一點(diǎn)，線和收線輪的飛邊相摩擦產(chǎn)生一個(gè)切向力（廢鋼線也有一定的收線輪的飛邊相摩擦產(chǎn)生一個(gè)切向力（廢鋼線也有一定的張力）。被收線輪的飛邊給切斷的。如果在微觀發(fā)方面看張力）。被收線輪的飛邊給切斷的。如果在微觀發(fā)方面看的話，是由于排線行程過(guò)大的那的話，是由于排線行程過(guò)大的那一剎那一剎那 其二收線輪的原因。在排線正常的情況下由于收線輪其二收線輪的原因。在排線正常的情況下由于收線輪的飛邊上有金屬毛刺。在收線輪高速旋轉(zhuǎn)的情況下，在飛的飛邊上有金屬毛刺。在收線輪高速旋轉(zhuǎn)的情況下，在飛邊上的毛刺產(chǎn)生切向力

4、很大足以截?cái)嘁桓吷系拿坍a(chǎn)生切向力很大足以截?cái)嘁桓?.140和和0.120的的鋼線。鋼線。 其三收線輪處的張力臂張力不平穩(wěn)。在一切情況都排其三收線輪處的張力臂張力不平穩(wěn)。在一切情況都排除在外時(shí)收線輪處的斷線最有可能是由于收線輪處的張力除在外時(shí)收線輪處的斷線最有可能是由于收線輪處的張力臂張力不平穩(wěn)引起的，忽高忽低的張力給廢鋼線施加了一臂張力不平穩(wěn)引起的，忽高忽低的張力給廢鋼線施加了一個(gè)變量的力。在金屬力學(xué)中這是一大忌，鋼線就是這個(gè)變量的力。在金屬力學(xué)中這是一大忌，鋼線就是這樣被疲勞拉斷了。樣被疲勞拉斷了。 其四滑輪質(zhì)量問(wèn)題或滑輪沒(méi)有及時(shí)更換造成斷線。其四滑輪質(zhì)量問(wèn)題或滑輪沒(méi)有及時(shí)更換造成斷線。

5、線網(wǎng)斷線：線網(wǎng)斷線： 1.導(dǎo)論沒(méi)有處理干凈，在高速切割中鋼線因雜質(zhì)而脫導(dǎo)論沒(méi)有處理干凈，在高速切割中鋼線因雜質(zhì)而脫離導(dǎo)輪槽，導(dǎo)致鋼線飛線（跳線），隨著高速運(yùn)轉(zhuǎn)的鋼線，離導(dǎo)輪槽，導(dǎo)致鋼線飛線（跳線），隨著高速運(yùn)轉(zhuǎn)的鋼線，跳線處與晶棒摩擦要比正常切割線網(wǎng)區(qū)域摩擦更嚴(yán)重，隨跳線處與晶棒摩擦要比正常切割線網(wǎng)區(qū)域摩擦更嚴(yán)重，隨著切割時(shí)間延長(zhǎng)，砂漿的切割力也慢慢下降，跳線位置可著切割時(shí)間延長(zhǎng)，砂漿的切割力也慢慢下降，跳線位置可能會(huì)斷線能會(huì)斷線; 2.晶棒兩端斜面過(guò)大在切割中切到斜面邊緣處鋼線容晶棒兩端斜面過(guò)大在切割中切到斜面邊緣處鋼線容易打滑，鋼線脫離線槽，會(huì)把端面位置碎片帶進(jìn)線網(wǎng)，造易打滑，鋼線脫離線槽

6、，會(huì)把端面位置碎片帶進(jìn)線網(wǎng)，造成斷線成斷線; 3.晶棒本身有雜質(zhì)硬點(diǎn)，造成斷線晶棒本身有雜質(zhì)硬點(diǎn)，造成斷線;導(dǎo)輪槽磨損，切割導(dǎo)輪槽磨損，切割中鋼線會(huì)錯(cuò)位，會(huì)引起硅片斷裂，硅渣進(jìn)入線網(wǎng)造成斷線中鋼線會(huì)錯(cuò)位，會(huì)引起硅片斷裂，硅渣進(jìn)入線網(wǎng)造成斷線; 4. 鋼線質(zhì)量問(wèn)題，切割中會(huì)造成線網(wǎng)斷線鋼線質(zhì)量問(wèn)題，切割中會(huì)造成線網(wǎng)斷線; 5.砂漿密度過(guò)高，切割力達(dá)不到，造成沒(méi)有規(guī)律性的砂漿密度過(guò)高，切割力達(dá)不到，造成沒(méi)有規(guī)律性的線網(wǎng)斷線線網(wǎng)斷線; 6.砂漿簾賭賽，砂漿斷流，鋼線和晶棒干磨，造成線砂漿簾賭賽，砂漿斷流，鋼線和晶棒干磨，造成線網(wǎng)斷線網(wǎng)斷線;導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)異常，可能會(huì)引起線網(wǎng)斷線導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)異常，可能會(huì)引起線網(wǎng)

7、斷線; 7.導(dǎo)向條下面有空隙，切割入刀口時(shí)碎導(dǎo)向條會(huì)與導(dǎo)向條下面有空隙，切割入刀口時(shí)碎導(dǎo)向條會(huì)與鋼線的切割方向，把硬物帶進(jìn)線網(wǎng)，造成斷線。鋼線的切割方向，把硬物帶進(jìn)線網(wǎng)，造成斷線。切割快結(jié)束后斷線：切割快結(jié)束后斷線： 其一線速也是斷線的一種因素之一，在線速迅其一線速也是斷線的一種因素之一，在線速迅速降低也是致命的。這時(shí)候鋼線由于慣性還的在向前速降低也是致命的。這時(shí)候鋼線由于慣性還的在向前運(yùn)動(dòng)，可是導(dǎo)輪已經(jīng)按照降速后運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)晶棒還是運(yùn)動(dòng)，可是導(dǎo)輪已經(jīng)按照降速后運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)晶棒還是在下降。這時(shí)鋼線會(huì)在晶體中形成褶皺，在鋼線上產(chǎn)在下降。這時(shí)鋼線會(huì)在晶體中形成褶皺，在鋼線上產(chǎn)生應(yīng)力點(diǎn)；也就給斷線埋下了

8、隱患。這種斷線對(duì)處發(fā)生應(yīng)力點(diǎn)；也就給斷線埋下了隱患。這種斷線對(duì)處發(fā)生在將要結(jié)束的時(shí)候。生在將要結(jié)束的時(shí)候。 其二晶棒粘接對(duì)接處膠抹的太多，快要切完時(shí)其二晶棒粘接對(duì)接處膠抹的太多，快要切完時(shí)的線網(wǎng)直接與對(duì)接處的膠接觸，膠多過(guò)線網(wǎng)會(huì)直接將的線網(wǎng)直接與對(duì)接處的膠接觸，膠多過(guò)線網(wǎng)會(huì)直接將其帶進(jìn)線網(wǎng)導(dǎo)致斷線。其帶進(jìn)線網(wǎng)導(dǎo)致斷線。8線痕線痕出刀口出刀口線痕線痕表面均表面均勻線痕勻線痕硬點(diǎn)線痕硬點(diǎn)線痕倒角處的線倒角處的線進(jìn)刀口進(jìn)刀口厚薄片表厚薄片表面有一條面有一條線痕線痕入刀口入刀口線痕線痕中部線痕中部線痕出線位置出線位置硅棒的線痕硅棒的線痕 表面均勻線痕：砂漿更換量不足，鋼線帶表面均勻線痕：砂漿更換量不足

9、，鋼線帶砂量太少，造成沒(méi)有足夠的切割能力，嚴(yán)重摩擦砂量太少，造成沒(méi)有足夠的切割能力，嚴(yán)重摩擦導(dǎo)致均勻線痕，導(dǎo)致均勻線痕，冷卻水溫度過(guò)高，導(dǎo)致均勻線痕冷卻水溫度過(guò)高，導(dǎo)致均勻線痕; 厚薄片表面有一條線痕：切割中有雜質(zhì)厚薄片表面有一條線痕：切割中有雜質(zhì)進(jìn)入線網(wǎng)，線網(wǎng)瞬間跳線，鋼線脫離線槽，造成進(jìn)入線網(wǎng)，線網(wǎng)瞬間跳線，鋼線脫離線槽，造成切割定位，導(dǎo)切割定位，導(dǎo)致厚薄片，在線網(wǎng)瞬間跳線時(shí)，鋼線在交叉時(shí)，致厚薄片，在線網(wǎng)瞬間跳線時(shí)，鋼線在交叉時(shí)，與晶棒摩擦造成一道線痕與晶棒摩擦造成一道線痕;導(dǎo)輪表面磨損，鋼線導(dǎo)輪表面磨損，鋼線會(huì)擠在會(huì)擠在一起，砂漿分布不均勻，造成線痕一起，砂漿分布不均勻，造成線痕; 入

10、刀口線痕：切割入刀口時(shí)，導(dǎo)向條有入刀口線痕：切割入刀口時(shí)，導(dǎo)向條有空隙，硬物進(jìn)入線網(wǎng)，鋼線跳線瞬間會(huì)引起線痕空隙，硬物進(jìn)入線網(wǎng)，鋼線跳線瞬間會(huì)引起線痕; 出刀口均勻線痕：砂漿少更換出刀口均勻線痕：砂漿少更換1020L，切割快結(jié)束后，砂漿的顆?；旧弦呀?jīng)很疲憊了，切割快結(jié)束后，砂漿的顆?；旧弦呀?jīng)很疲憊了，棱角幾乎已經(jīng)棱角幾乎已經(jīng)變圓，切割力已經(jīng)到了疲憊狀態(tài)，隨著鋼線不斷變圓，切割力已經(jīng)到了疲憊狀態(tài)，隨著鋼線不斷的磨損，切割力達(dá)不到，就會(huì)造成出刀口線痕的磨損，切割力達(dá)不到，就會(huì)造成出刀口線痕; 中部線痕中部線痕:切割中，砂漿嘴斷流，造成硅切割中，砂漿嘴斷流，造成硅片中部線痕片中部線痕; 硬點(diǎn)線痕

11、：硅片來(lái)料硬點(diǎn)，切割中小硬硬點(diǎn)線痕：硅片來(lái)料硬點(diǎn)，切割中小硬點(diǎn)可能不會(huì)造成線網(wǎng)斷線，但鋼線切到硬點(diǎn)時(shí)，點(diǎn)可能不會(huì)造成線網(wǎng)斷線，但鋼線切到硬點(diǎn)時(shí)，不會(huì)與其他位置切不會(huì)與其他位置切割力一樣，難免會(huì)在硬點(diǎn)處停留數(shù)秒，這期間會(huì)割力一樣，難免會(huì)在硬點(diǎn)處停留數(shù)秒，這期間會(huì)造成一道線痕造成一道線痕; 進(jìn)刀口：由于剛開(kāi)始切割，鋼線進(jìn)刀口：由于剛開(kāi)始切割，鋼線處在不穩(wěn)定狀態(tài)，鋼線的波動(dòng)產(chǎn)生的線痕處在不穩(wěn)定狀態(tài)，鋼線的波動(dòng)產(chǎn)生的線痕; 倒角處的線痕：由于在粘結(jié)硅棒倒角處的線痕：由于在粘結(jié)硅棒時(shí)底部殘留有膠，到倒角處鋼線帶膠切割時(shí)底部殘留有膠，到倒角處鋼線帶膠切割引起的線痕引起的線痕; 出線位置硅棒的線痕：鋼線磨損

12、出線位置硅棒的線痕：鋼線磨損量大，造成鋼線光潔度、圓度不夠，攜帶量大，造成鋼線光潔度、圓度不夠，攜帶砂漿數(shù)量低，切削能力下降，線砂漿數(shù)量低，切削能力下降，線膨脹系數(shù)增大引起的。膨脹系數(shù)增大引起的。厚薄片厚薄片整片超厚整片超厚中部以上超厚中部以上超厚厚薄不均厚薄不均 整片超厚：導(dǎo)向條有空隙，入刀口整片超厚：導(dǎo)向條有空隙，入刀口時(shí)，隨著鋼線切割方向，會(huì)把碎導(dǎo)向條直時(shí)，隨著鋼線切割方向，會(huì)把碎導(dǎo)向條直接帶入線網(wǎng)接帶入線網(wǎng)，鋼線錯(cuò)位，切割中鋼線會(huì)瞬間定位一直，鋼線錯(cuò)位，切割中鋼線會(huì)瞬間定位一直到切割結(jié)束，這樣就出現(xiàn)硅片整體超厚現(xiàn)到切割結(jié)束，這樣就出現(xiàn)硅片整體超厚現(xiàn)象象;導(dǎo)導(dǎo)輪磨損嚴(yán)重，切割中鋼線會(huì)互相

13、擁擠，造輪磨損嚴(yán)重，切割中鋼線會(huì)互相擁擠，造成厚薄片成厚薄片;整片超厚整片超厚 中部以上超厚：切割室雜質(zhì)掉進(jìn)中部以上超厚：切割室雜質(zhì)掉進(jìn)線網(wǎng)，引起線網(wǎng)跳線，造成厚薄片線網(wǎng)，引起線網(wǎng)跳線，造成厚薄片;導(dǎo)輪導(dǎo)輪質(zhì)量發(fā)生變化，導(dǎo)輪槽磨損，線網(wǎng)跳線，質(zhì)量發(fā)生變化，導(dǎo)輪槽磨損，線網(wǎng)跳線，引起厚薄片引起厚薄片;中部以上超厚中部以上超厚 厚薄不均（厚薄不均（TTV）:張力異常，張力異常，造成厚薄不均現(xiàn)象造成厚薄不均現(xiàn)象;流量時(shí)流時(shí)斷，造流量時(shí)流時(shí)斷，造成切割力不均勻，成切割力不均勻，造成厚薄片。造成厚薄片。厚薄不均厚薄不均隱裂隱裂來(lái)料隱裂預(yù)清洗后隱裂插片隱裂清洗后隱裂拉運(yùn)中隱裂分選過(guò)程隱裂 來(lái)料隱裂：多晶硅

14、鑄錠爐生產(chǎn)時(shí)，可能加工的硅料成分造成，其次在拉運(yùn)途中，震動(dòng)或撞擊導(dǎo)致晶體隱裂; 預(yù)清洗后隱裂：車間流程加工時(shí)，崗位在加工和拉運(yùn)時(shí)碰撞造成，其次切片崗位在安裝棒時(shí)，用力過(guò)猛，引起晶托相撞，導(dǎo)致晶棒體內(nèi)產(chǎn)生隱裂，在預(yù)清洗時(shí)，因晶棒本來(lái)在前道崗位已經(jīng)受撞擊，經(jīng)過(guò)預(yù)清洗水壓，隱裂就可以體現(xiàn)出來(lái); 插片隱裂:插片時(shí)，作業(yè)人員的手法都不一致，況且每刀四個(gè)位置的厚度都有所差異，手拿片子角上最邊緣，平衡力有誤就會(huì)導(dǎo)致隱裂; 清洗后隱裂:清洗機(jī)烘干槽里風(fēng)過(guò)大，風(fēng)向不定，會(huì)造成硅片在清洗籃里晃動(dòng)過(guò)大導(dǎo)致隱裂; 拉運(yùn)中隱裂：清洗后，將硅片車?yán)\(yùn)到分選途中，地面不平，車子震動(dòng)，硅片會(huì)產(chǎn)生隱裂; 分選過(guò)程隱裂：人工分選

15、時(shí)，手法不一致，從片盒倒出時(shí)，片子有時(shí)會(huì)卡到盒中，造成隱裂（碎片）;人工分選可能會(huì)擠壓到一些片子，其次還有分選臺(tái)桌面上的碎硅渣，倒片時(shí)，會(huì)造成硅片崩邊，很容易產(chǎn)生隱裂。19分選時(shí)缺角加工時(shí)缺角切割時(shí)缺角插片時(shí)缺角運(yùn)輸中缺角缺角缺角缺角原因分析缺角原因分析 加工時(shí)缺角：晶棒在加工和拉運(yùn)時(shí)，人員疏忽，加工時(shí)缺角：晶棒在加工和拉運(yùn)時(shí)，人員疏忽，沒(méi)有按照作業(yè)指導(dǎo)書(shū)規(guī)定操作，造成缺角沒(méi)有按照作業(yè)指導(dǎo)書(shū)規(guī)定操作，造成缺角;設(shè)備異常造成設(shè)備異常造成的缺角。的缺角。 切割時(shí)缺角切割時(shí)缺角:晶棒上導(dǎo)向條沒(méi)有粘接到位，切割中，晶棒上導(dǎo)向條沒(méi)有粘接到位，切割中，沒(méi)有導(dǎo)向條的位置鋼線容易打滑，隨著工作臺(tái)下降，線速?zèng)]有

16、導(dǎo)向條的位置鋼線容易打滑，隨著工作臺(tái)下降，線速加快，鋼線和晶棒定位的瞬間，會(huì)造成硅片角上缺角。加快，鋼線和晶棒定位的瞬間，會(huì)造成硅片角上缺角。 運(yùn)輸中缺角運(yùn)輸中缺角:在切片崗位下棒時(shí)，作業(yè)員需要用拉在切片崗位下棒時(shí)，作業(yè)員需要用拉鉤把晶棒拉到下棒軌道里，稍微不注意拉鉤就會(huì)碰到片子，鉤把晶棒拉到下棒軌道里，稍微不注意拉鉤就會(huì)碰到片子，造成缺角造成缺角; 插片時(shí)缺角插片時(shí)缺角:插片人員在作業(yè)時(shí)，插片的速度過(guò)快，插片人員在作業(yè)時(shí)，插片的速度過(guò)快，硅片的角會(huì)撞到插片工作臺(tái)上，造成缺角。硅片的角會(huì)撞到插片工作臺(tái)上，造成缺角。 分選時(shí)缺角分選時(shí)缺角:人工在倒片盒時(shí)，因工作臺(tái)上有碎硅渣，人工在倒片盒時(shí)，因工

17、作臺(tái)上有碎硅渣，片子會(huì)與碎硅渣產(chǎn)生碰撞力，造成缺角。片子會(huì)與碎硅渣產(chǎn)生碰撞力，造成缺角。崩邊種類崩邊種類膠面崩邊膠面崩邊C角崩邊角崩邊.崩崩邊邊 C角崩邊：粘棒在作業(yè)時(shí)，由于角崩邊：粘棒在作業(yè)時(shí)，由于用較硬的東西取用較硬的東西取C角膠時(shí)，造成角膠時(shí)，造成C較崩邊較崩邊; 膠面崩邊：切片沒(méi)有切透，晶棒膠面崩邊：切片沒(méi)有切透，晶棒在預(yù)清洗脫膠后造成膠面崩邊（有時(shí)候看在預(yù)清洗脫膠后造成膠面崩邊（有時(shí)候看上去切透，其實(shí)晶棒中部因線弓還沒(méi)有完上去切透，其實(shí)晶棒中部因線弓還沒(méi)有完全切透）全切透）;加工時(shí)崩邊：設(shè)備在加工時(shí)造加工時(shí)崩邊：設(shè)備在加工時(shí)造成崩邊成崩邊,人員在搬運(yùn)中相撞造成崩邊。人員在搬運(yùn)中相撞造

18、成崩邊。崩邊原因分析崩邊原因分析 晶托螺絲沒(méi)有擰緊，或者是假擰緊，晶托螺絲沒(méi)有擰緊，或者是假擰緊，在切割中，晶棒受鋼線的切割力導(dǎo)致晶在切割中，晶棒受鋼線的切割力導(dǎo)致晶托松動(dòng)，切割結(jié)束后全部是彎曲片托松動(dòng)，切割結(jié)束后全部是彎曲片; 切割中導(dǎo)輪定位銷斷裂，或者是導(dǎo)切割中導(dǎo)輪定位銷斷裂，或者是導(dǎo)輪密封圈脫落掉，在切割中會(huì)突然晃動(dòng)，輪密封圈脫落掉，在切割中會(huì)突然晃動(dòng)，導(dǎo)致彎曲片導(dǎo)致彎曲片; 晶體本身內(nèi)有雜質(zhì)或硬點(diǎn)，切割中晶體本身內(nèi)有雜質(zhì)或硬點(diǎn)，切割中不至于斷線，鋼線在勻速切割時(shí)，遇到雜不至于斷線，鋼線在勻速切割時(shí)，遇到雜質(zhì)和硬點(diǎn)會(huì)彎曲切過(guò)，這樣就會(huì)造成少量質(zhì)和硬點(diǎn)會(huì)彎曲切過(guò)，這樣就會(huì)造成少量片彎曲。片

19、彎曲。彎曲片原因分析彎曲片原因分析膠水配比有問(wèn)題；膠水配比有問(wèn)題；硅棒與玻璃粘接面有油污；硅棒與玻璃粘接面有油污；膠水涂抹后固化的時(shí)間沒(méi)有到可用時(shí)間；膠水涂抹后固化的時(shí)間沒(méi)有到可用時(shí)間；膠水的質(zhì)量有問(wèn)題膠水的質(zhì)量有問(wèn)題;在擰螺絲時(shí)，擰力過(guò)大，造成鋁板變形（凹凸不在擰螺絲時(shí)，擰力過(guò)大，造成鋁板變形（凹凸不平），導(dǎo)致掉棒。平），導(dǎo)致掉棒。備注：粘棒室溫度為備注：粘棒室溫度為22-28 ，濕度為，濕度為50%以下以下配膠比例：配膠比例：A膠樹(shù)脂：膠樹(shù)脂：B膠固化劑膠固化劑=1：1玻璃板加壓、固化時(shí)間：加壓玻璃板加壓、固化時(shí)間：加壓15-25分鐘，固化分鐘，固化30分鐘以上（包含加壓時(shí)間）分鐘以上（包

20、含加壓時(shí)間）晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，水溫晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，水溫40-50攝氏攝氏度，清洗時(shí)間度，清洗時(shí)間10-15掉棒原因分析掉棒原因分析砂漿的水份偏高造成的團(tuán)結(jié)物。砂漿的水份偏高造成的團(tuán)結(jié)物。剛使用時(shí)過(guò)濾袋堵塞可能是砂漿有異物剛使用時(shí)過(guò)濾袋堵塞可能是砂漿有異物造成的，如果是切割到造成的，如果是切割到3刀以后的堵塞可刀以后的堵塞可能是硅片碎雜質(zhì)多引起的。能是硅片碎雜質(zhì)多引起的。碳化硅微粉和切削液的碳化硅微粉和切削液的PH值區(qū)別太大，值區(qū)別太大，起化學(xué)反應(yīng)引起的黏稠物，造成的過(guò)濾袋起化學(xué)反應(yīng)引起的黏稠物，造成的過(guò)濾袋堵塞。堵塞。沒(méi)有按照規(guī)定時(shí)間更換，造成切割中過(guò)沒(méi)有按照規(guī)定時(shí)間更換

21、，造成切割中過(guò)濾袋堵塞。濾袋堵塞。備注：過(guò)濾袋壓力設(shè)定為備注：過(guò)濾袋壓力設(shè)定為1200bar,開(kāi)切范開(kāi)切范圍在圍在800以下更為合適。以下更為合適。過(guò)濾袋堵塞原因分析過(guò)濾袋堵塞原因分析掉片掉片切割完后掉片升棒過(guò)程中掉片升完后掉片從設(shè)備三點(diǎn)一線拉時(shí)掉片整根棒掉片預(yù)清洗前掉片 切割完后掉片：切割深度過(guò)深導(dǎo)致掉片，切割完后掉片：切割深度過(guò)深導(dǎo)致掉片，因?yàn)樽鳂I(yè)員在設(shè)零點(diǎn)時(shí)，因?yàn)樽鳂I(yè)員在設(shè)零點(diǎn)時(shí)，F(xiàn)位置和位置和M位置的高位置的高度有時(shí)高度不一致，如果按晶棒最低的一點(diǎn)設(shè)零度有時(shí)高度不一致，如果按晶棒最低的一點(diǎn)設(shè)零點(diǎn)，那么切割到點(diǎn)，那么切割到-165.5mm時(shí)，晶棒低的時(shí)，晶棒低的位置因切割深度過(guò)深造成掉片

22、位置因切割深度過(guò)深造成掉片; 升棒過(guò)程中掉片：作業(yè)員升棒速度太快升棒過(guò)程中掉片：作業(yè)員升棒速度太快（200mm /MIN），片子被線網(wǎng)強(qiáng)制拉來(lái)），片子被線網(wǎng)強(qiáng)制拉來(lái); 升完后掉片：粘棒抹膠不均勻，切割深度升完后掉片：粘棒抹膠不均勻，切割深度一致時(shí)，膠薄的區(qū)域會(huì)少量掉片一致時(shí)，膠薄的區(qū)域會(huì)少量掉片;掉片原因分析掉片原因分析 從設(shè)備三點(diǎn)一線拉時(shí)掉片：使用拉從設(shè)備三點(diǎn)一線拉時(shí)掉片：使用拉鉤拉時(shí)，用力過(guò)猛，片子擺動(dòng)幅度過(guò)大，鉤拉時(shí)，用力過(guò)猛，片子擺動(dòng)幅度過(guò)大，太松動(dòng)造成掉片太松動(dòng)造成掉片; 整根棒掉片：其一粘膠面膠抹的太整根棒掉片：其一粘膠面膠抹的太少，其二膠水的質(zhì)量有問(wèn)題，其三膠水涂少，其二膠水的質(zhì)

23、量有問(wèn)題，其三膠水涂抹后固化的抹后固化的時(shí)間沒(méi)有到可用時(shí)間時(shí)間沒(méi)有到可用時(shí)間; 預(yù)清洗前掉片：晶棒等待時(shí)間太長(zhǎng)，預(yù)清洗前掉片：晶棒等待時(shí)間太長(zhǎng)，片子相比是一個(gè)拉力往下拉，時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，片子相比是一個(gè)拉力往下拉，時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，玻璃板不能承受玻璃板不能承受導(dǎo)致掉片。導(dǎo)致掉片。 備注：粘棒室溫度為備注：粘棒室溫度為22-28 ，濕度為濕度為50%以下以下配膠比例：配膠比例：A膠樹(shù)脂：膠樹(shù)脂：B膠固化劑膠固化劑=1：1玻璃板加壓、固化時(shí)間：加壓玻璃板加壓、固化時(shí)間：加壓15-25分鐘，固化分鐘，固化30分鐘以上（包含加分鐘以上（包含加壓時(shí)間）壓時(shí)間）晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，水溫

24、水溫40-50攝氏度，清洗時(shí)間攝氏度，清洗時(shí)間10-15 在開(kāi)機(jī)前檢查時(shí)要按照開(kāi)機(jī)檢查表上的檢查項(xiàng)一一在開(kāi)機(jī)前檢查時(shí)要按照開(kāi)機(jī)檢查表上的檢查項(xiàng)一一檢查到位，我發(fā)現(xiàn)好多操作工就沒(méi)有按照開(kāi)機(jī)檢查表來(lái)檢檢查到位，我發(fā)現(xiàn)好多操作工就沒(méi)有按照開(kāi)機(jī)檢查表來(lái)檢查，比如張力是否有異常、還有兩邊的排線是否垂直、下查，比如張力是否有異常、還有兩邊的排線是否垂直、下過(guò)濾網(wǎng)和上過(guò)濾網(wǎng)和有砂漿噴嘴是不過(guò)濾網(wǎng)和上過(guò)濾網(wǎng)和有砂漿噴嘴是不是每刀都清洗等等，其次在清洗砂漿嘴時(shí)有沒(méi)有把砂漿噴是每刀都清洗等等，其次在清洗砂漿嘴時(shí)有沒(méi)有把砂漿噴嘴的兩端拆先來(lái)清洗里面的，因?yàn)樯皾{嘴里面嘴的兩端拆先來(lái)清洗里面的，因?yàn)樯皾{嘴里面還有一條鐵

25、片，在清洗時(shí)光清洗外面的話，可能很難把里還有一條鐵片，在清洗時(shí)光清洗外面的話，可能很難把里面的雜質(zhì)清理掉的，這樣就很可能在切割中導(dǎo)面的雜質(zhì)清理掉的，這樣就很可能在切割中導(dǎo)致砂漿斷流供應(yīng)不上斷線。致砂漿斷流供應(yīng)不上斷線。 現(xiàn)規(guī)定張力要在現(xiàn)規(guī)定張力要在-12N之間才是正常的，如張力不之間才是正常的，如張力不正常，在切割很容易造成正常，在切割很容易造成TTV、厚薄片等情況，還可能會(huì)、厚薄片等情況，還可能會(huì)斷線。斷線。如何避免斷線和斷線的解決辦法如何避免斷線和斷線的解決辦法 晶棒斜面太大也會(huì)造成線網(wǎng)斷線，現(xiàn)在不晶棒斜面太大也會(huì)造成線網(wǎng)斷線，現(xiàn)在不是規(guī)定大于是規(guī)定大于2MM的斜面粘到的斜面粘到M2位置，其實(shí)這只位置，其實(shí)這只是防止斷線的損失，我們還可以把斜面大的放到是防止斷線的損失，我們還可以把斜面大的放到M2位置，線網(wǎng)可以避開(kāi)斜面切割，這樣就更加位置，線網(wǎng)可以避開(kāi)斜面切割，這樣就更加安全了，最起碼不會(huì)在收線端斷線，也不會(huì)因停安全了，最起碼不會(huì)在收線端斷線，也不會(huì)因停機(jī)帶來(lái)的損失。機(jī)帶來(lái)的損失。 砂漿袋的壓力是否正常，因?yàn)樵谇懈钪腥缟皾{袋的壓力是否正常，因?yàn)樵谇懈钪腥绻皾{袋壓力過(guò)高那說(shuō)明砂漿袋里面堵塞了，或果砂漿袋壓力過(guò)高那說(shuō)明砂漿袋里面堵塞了，或是砂漿管道里沒(méi)有處理干凈，這樣的情況會(huì)造成是砂漿管道里沒(méi)有處理干凈，這樣的情況會(huì)造成在切割中沒(méi)有規(guī)律性的