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1、RENA設(shè)備設(shè)備SOP操作流程操作流程校準滾輪校準滾輪水平水平擬擬制：劉國柱制：劉國柱日期：日期：2009.8.182009.8.181首先設(shè)備停止進料，點擊首先設(shè)備停止進料，點擊STOPSTOP鍵停止設(shè)備運行鍵停止設(shè)備運行 2以清洗以清洗ETCH BATHETCH BATH為例為例點擊點擊MODE MANUAL進入手動模式進入手動模式3以清洗以清洗ETCH BATHETCH BATH為例為例 點擊點擊MANUAL進入手動操作界面進入手動操作界面 4以清洗以清洗ETCH BATHETCH BATH為例為例 5以清洗以清洗ETCH BATHETCH BATH為例為例 點擊點擊 etch bath

2、，選擇，選擇MODE MAN,然后按按鈕然后按按鈕” system draining把把etch bath 的化學品排空的化學品排空 刻蝕槽以及刻蝕槽以及tank沖洗沖洗 刻蝕槽以及刻蝕槽以及tank沖洗，按下沖洗，按下”system rinsing“沖洗（熒沖洗（熒幕的左邊）幕的左邊）.刻蝕槽以及刻蝕槽以及 tank 將被充滿水開始循環(huán)，這個將被充滿水開始循環(huán)，這個過程可以設(shè)定沖洗的次數(shù)（參數(shù)過程可以設(shè)定沖洗的次數(shù)（參數(shù)第二參數(shù)，第三檔位第二參數(shù)，第三檔位 ，位于熒幕的下邊。之后將水排掉，刻蝕槽和，位于熒幕的下邊。之后將水排掉，刻蝕槽和tank將是空將是空的（建議沖洗兩次，每次循環(huán)的（建議沖洗兩次，每次循環(huán)10分鐘）。分鐘）。6手動沖洗蓋板及滾輪手動沖洗蓋板及滾輪7拆下設(shè)備蓋板，用水槍沖洗拆下設(shè)備蓋板，用水槍沖洗ETCH BATH 蓋板及滾輪蓋板及滾輪拆下拆下ETCH BATH 蓋板及滾輪蓋板及滾輪8清洗拆下滾輪并檢查滾輪是否變形，清洗拆下滾輪并檢查滾輪是否變形，O-RING是否磨損，并安是否磨損，并安裝滾輪裝滾輪9用水平儀校準滾輪水平，并調(diào)整滾輪支架用水平儀校準滾輪水平，并調(diào)整滾輪支架10校準水平后，加水跑假片觀察無問題后安裝好蓋板，并換藥等校準水平后，加水跑假片觀察無問題后安裝好蓋板，并換藥等工藝驗證工藝驗證1

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