掃描電子顯微技術(shù)

1、報(bào)告人：宋文娟報(bào)告人：宋文娟導(dǎo)師：熊祖洪導(dǎo)師：熊祖洪 教授教授SEM基基本本結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)電子光學(xué)系統(tǒng)電子光學(xué)系統(tǒng)掃描系統(tǒng)掃描系統(tǒng)信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng)信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng)圖像顯示和記錄系統(tǒng)圖像顯示和記錄系統(tǒng)電源和真空系統(tǒng)電源和真空系統(tǒng)2.(1) 電子光學(xué)系統(tǒng)電子光學(xué)系統(tǒng)場(chǎng)發(fā)射電子槍場(chǎng)發(fā)射電子槍電磁透鏡電磁透鏡光柵和樣品室光柵和樣品室(2) 真真 空空 系系 統(tǒng)統(tǒng)機(jī)械泵機(jī)械泵擴(kuò)散泵擴(kuò)散泵真空管道真空管道閥門（另外還有以液態(tài)氮冷卻的閥門（另外還有以液態(tài)氮冷卻的冷阱，可以控制樣品室的真空度）冷阱，可以控制樣品室的真空度）(3) 電源系統(tǒng)電源系統(tǒng)高壓電源高壓電源透鏡電流透鏡電流電子槍電源電子槍電源真空系統(tǒng)電源真空系

2、統(tǒng)電源(4) 掃描系統(tǒng)掃描系統(tǒng)掃描線圈掃描線圈掃描信號(hào)發(fā)生器掃描信號(hào)發(fā)生器放大控制器放大控制器相應(yīng)電子線路相應(yīng)電子線路(5) (5) 信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)收集器收集器閃爍體光電倍增管閃爍體光電倍增管前置放大器前置放大器(6) (6) 顯示系統(tǒng)顯示系統(tǒng)觀察用（為了便于調(diào)焦，采用盡觀察用（為了便于調(diào)焦，采用盡可能快的掃描速度）可能快的掃描速度）記錄用（為了得到分辨率高的圖記錄用（為了得到分辨率高的圖像，采用慢的掃描速度）像，采用慢的掃描速度）cJ22exp(/)( /)CCWJA TEkT A cmCA()T K0CJ eEkTCJ0E2260 /CAA cm K4.5wEeV21.75/cJ

3、A cm2240/cAA cm K 當(dāng)在真空中的金屬表面受到當(dāng)在真空中的金屬表面受到108V/cm大小大小的電子加速電場(chǎng)時(shí)，會(huì)有可觀數(shù)量的電子發(fā)射的電子加速電場(chǎng)時(shí)，會(huì)有可觀數(shù)量的電子發(fā)射出來(lái)，此過(guò)程叫做場(chǎng)發(fā)射。出來(lái)，此過(guò)程叫做場(chǎng)發(fā)射。 其原理是高壓電場(chǎng)使電子的電位障礙產(chǎn)生其原理是高壓電場(chǎng)使電子的電位障礙產(chǎn)生Schottky效應(yīng)，亦即使能障寬度變窄，高度效應(yīng)，亦即使能障寬度變窄，高度變低，致使電子可直接變低，致使電子可直接“穿隧穿隧”通過(guò)此狹窄能通過(guò)此狹窄能障并離開陰極。障并離開陰極。 810671010()Fe VB 0iMS S0idd M0iM0SiS/0111iSSf/f0SiSMd/MSSd0dM影響分辨本領(lǐng)的因素還有信噪比、雜散電磁場(chǎng)和機(jī)械震動(dòng)等Ml L1018號(hào)鋼在不同溫度下的斷口形貌多孔氧化鋁模板制備的金納米線的形貌（a）低倍像（