C-SCAN反射性掃描的操作步驟(精)

1、C-SCAN反射性掃描的操作步驟（於前期工作完成后，才開始C-SCAN）1.在Instrumen窗中：Mod選擇“Reflected”2將探頭（transduc移至待測(cè)區(qū)域的中心位置3. 在“Gate窗”中，Gate欄，選“FFS（FrontSurfaceFollower表面追蹤線）”，勾“Enabled”，激活黃線'S4. 在Gate窗中，Gate欄，選“DataGate1”，勾“Enabled”，激活“DataGatel”；勾“FollowFSF;紅框（DataGate便會(huì)跟著黃線“FSF”和訊號(hào)的第一切點(diǎn)移動(dòng)MotorScanToolsGateTPaletteJInstrumen

2、tsGate:DataGate1TEnabledWFrontSurfaceFollowerSubSurfaceFollower悴FollowsFSFCFollowsSSFCFixedPositionDataGate1!DataGate2TAMIRegionPhaseGate1PhaseGate2BScanGateFFTGateNoGateSelectedAuto-SizeICenter7Data7TOF5. 選取第二組波，即樣品真正的信號(hào)，如下圖所示。把第二組波放大6將黃線FSF移至第二組波的第一支波上，即Package的表面上，如下圖所示。注意:在掃描過程中，保證第一支波一定要時(shí)刻被黃線切到

3、）FSF7.如要看DiesurfaCHJDataGate紅框）框住下圖中的第二支波（即從表面算起的第介面）。DataGate18微調(diào)焦點(diǎn)：在Motor窗口，選最慢速度，點(diǎn)擊F5/F6,將探頭移上或下，注意右上數(shù)字Amp,直至波峰（Amp數(shù)字）為最大IAvSwni：NO|詩忖De-Focused-TooFarAwayFocusedonDieDe-Focused-TooClose-1®0.2&Bps/dlv叵_UP:張I.旳flnp!中牧1E.SA-Scan2：NOSCAN0.280ps/dly回ilP-zli.ZSntap:711IIMP,ftHScaii!3:10SCAN0.

4、200ps/div叵iPi17.2S0|jnAnp:9微調(diào)焦點(diǎn)時(shí)，若波形跑掉，勾視波器右上的“FSFTracing”，波形便會(huì)跟著FSF跑10. 點(diǎn)擊Instrument窗中的“GAIN”按鈕，改變?cè)鲆嬷?，使波形的最高反射率（Amp）在6080%左右11. 調(diào)節(jié)DateGate的上下大小，使掃描中屏幕中的一組信號(hào)都能超過紅框的高度，不能讓其他噪聲波超過紅框12.設(shè)定開始掃瞄位置:在Motor窗中，不勾PositionLoc按SetSta#把現(xiàn)在位置設(shè)定成開始掃瞄位置，勾PositionLock13.在ScanTool窗中：在Length的SCAN和STEP,設(shè)定掃瞄范圍大小;設(shè)定DataIncrement掃J苗點(diǎn)間距），DataIncren越小,分辨率越高14.也可以讓機(jī)器自動(dòng)確定樣品的大小。操作如下:> 把探頭移到樣品中間A打開FSFgate> 把FSF（黃線）放到從表面反射回來的波形上A按下圖所示的“AutoCenter&Res”z,e即可讓機(jī)器自動(dòng)計(jì)算樣品的大小，并且把探頭移到樣品的中間，設(shè)定為Stai位置。若按的是“AutoCenteronP”rt機(jī)器只會(huì)自動(dòng)把探頭移到樣品的中間，設(shè)定為Stai位置。15.在ScanTool窗中，選Slow/Medium/Fa可改掃瞄速度；但太快可能會(huì)令圖象不清16點(diǎn)擊“綠色C-