第6章位移的檢測

1、傳感器與自動(dòng)檢測技術(shù)傳感器與自動(dòng)檢測技術(shù)劉麗劉麗 主編主編第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測 本本 章章 小小 結(jié)結(jié)6.46.4位移檢測控制系統(tǒng)的制作和調(diào)試位移檢測控制系統(tǒng)的制作和調(diào)試6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移6.1.16.1.1位移檢測的主要方法及特點(diǎn)位移檢測的主要方法及特點(diǎn) 根據(jù)所檢測的位移類型，可分為線位移和角位

2、移的檢測。 根據(jù)位移檢測范圍變化的大小，可分為小位移檢測和大位移檢測。 根據(jù)檢測的轉(zhuǎn)換結(jié)果，可分為兩類，一類是將位移量轉(zhuǎn)換為模擬量，另一類是將位移量轉(zhuǎn)換成數(shù)字量 。 根據(jù)位移檢測方法分類，可分為直接測量和間接測量兩類。 表6-1為常見位移傳感器的主要性能及其特點(diǎn)。 第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移6.1.26.1.2自感式傳感器自感式傳感器 電感式傳感器是利用電磁感應(yīng)原理將被測量轉(zhuǎn)換成線圈自感系數(shù)或電感式傳感器是利用電磁感應(yīng)原理將被測量轉(zhuǎn)換成線圈自感系數(shù)或互感系數(shù)的變化，再由測量電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化量輸出的一互感系數(shù)的變化，再由

3、測量電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化量輸出的一種裝置。按照轉(zhuǎn)換方式的不同，可分為種裝置。按照轉(zhuǎn)換方式的不同，可分為自感式自感式和和互感式互感式（差動(dòng)變壓器（差動(dòng)變壓器式）。式）。1.1.自感式傳感器的原理自感式傳感器的原理 自感式傳感器由線圈、鐵芯及銜鐵組成。自感式傳感器由線圈、鐵芯及銜鐵組成。如果不考慮磁路的鐵損和漏磁時(shí)，傳如果不考慮磁路的鐵損和漏磁時(shí)，傳感器的自感量感器的自感量L L可寫為：可寫為：2002sWL 第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移根據(jù)變化量的不同，可將自感傳感器分為三種類型：根據(jù)變化量的不同，可將自感傳感器分為三種類型：

4、（1）變面積式電感傳感器）變面積式電感傳感器變面積式電感傳感器截面積與電感的變化量呈線性關(guān)系 （2）變隙式電感傳感器）變隙式電感傳感器變隙式電感傳感器氣隙厚度與電感呈反比關(guān)系第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移（3）螺線管式電感傳感器）螺線管式電感傳感器 螺線管式電感傳感器的工作原理是基于線圈螺線管式電感傳感器的工作原理是基于線圈激勵(lì)的磁通路徑因銜鐵的插入深度不同，其磁激勵(lì)的磁通路徑因銜鐵的插入深度不同，其磁阻發(fā)生變化，從而使線圈電感量產(chǎn)生了改變，阻發(fā)生變化，從而使線圈電感量產(chǎn)生了改變，在一定范圍內(nèi)，線圈電感量與銜鐵插入深度有在一定范圍內(nèi)

5、，線圈電感量與銜鐵插入深度有對(duì)應(yīng)關(guān)系。對(duì)應(yīng)關(guān)系。單線圈螺線管式電感傳感器電感相對(duì)變化量與單線圈螺線管式電感傳感器電感相對(duì)變化量與輸入位移成正比，但由于螺管線圈內(nèi)磁場分布輸入位移成正比，但由于螺管線圈內(nèi)磁場分布不均勻，因而實(shí)際上螺線管式電感傳感器的輸不均勻，因而實(shí)際上螺線管式電感傳感器的輸出特性并非線性，并且靈敏度較低，但結(jié)構(gòu)簡出特性并非線性，并且靈敏度較低，但結(jié)構(gòu)簡單，制作容易，螺管可以做的稍長以測量較大單，制作容易，螺管可以做的稍長以測量較大的位移。的位移。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移（4）差動(dòng)電感傳感器）差動(dòng)電感傳感器 為了提

6、高靈敏度和線性度，減小電磁吸力所造成的為了提高靈敏度和線性度，減小電磁吸力所造成的附加誤差。上述三種類型的傳感器常采用差動(dòng)式，兩個(gè)完附加誤差。上述三種類型的傳感器常采用差動(dòng)式，兩個(gè)完全相同的單個(gè)線圈的電感傳感器共用一個(gè)活動(dòng)銜鐵就構(gòu)成全相同的單個(gè)線圈的電感傳感器共用一個(gè)活動(dòng)銜鐵就構(gòu)成了差動(dòng)電感傳感器。了差動(dòng)電感傳感器。 分析：圖分析：圖6-96-9所示的差動(dòng)電感傳感器屬于變隙式、變面積式、螺線管所示的差動(dòng)電感傳感器屬于變隙式、變面積式、螺線管式三種類型的哪一種？試畫出另外兩種類型的差動(dòng)結(jié)構(gòu)。式三種類型的哪一種？試畫出另外兩種類型的差動(dòng)結(jié)構(gòu)。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感

7、式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移2電感式傳感器測量電路電感式傳感器測量電路 電感式傳感器的測量電路有交流分壓器式、交流電橋式和諧振式等電感式傳感器的測量電路有交流分壓器式、交流電橋式和諧振式等幾種。對(duì)于差動(dòng)式電感傳感器通常都采用交流電橋電路。幾種。對(duì)于差動(dòng)式電感傳感器通常都采用交流電橋電路。（1）電阻平衡臂電橋）電阻平衡臂電橋 電阻平衡臂電橋電路如圖電阻平衡臂電橋電路如圖6-10所示，傳感器的兩個(gè)線圈（阻抗為所示，傳感器的兩個(gè)線圈（阻抗為Z1和和Z2）作為電橋的兩個(gè)臂，用兩個(gè)電阻）作為電橋的兩個(gè)臂，用兩個(gè)電阻R1、R2作電橋的另外兩個(gè)臂。作電橋的另外兩個(gè)臂。LRLELRLREEZZUrrr

8、ojj2jj22設(shè)初始設(shè)初始Z Z1 1=Z=Z2 2=R=Rr r+jL+jL，并且，并且R R1 1=R=R2 2=R=R，滿足電橋平衡條件滿足電橋平衡條件Z Z1 1/ Z/ Z2 2= R= R1 1/ R/ R2 2，電橋平衡。工作時(shí)，電橋平衡。工作時(shí)，Z Z1 1=Z+Z=Z+Z，Z Z2 2= Z= ZZZ，輸出電壓為，輸出電壓為第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移（2）變壓器電橋）變壓器電橋輸出電壓為輸出電壓為EZZZUo)21(211當(dāng)傳感器的銜鐵處于中間位置時(shí)，即當(dāng)傳感器的銜鐵處于中間位置時(shí)，即Z Z1 1Z Z2 2

9、Z Z（Z Z表示銜鐵處于中間位置時(shí)一個(gè)線圈表示銜鐵處于中間位置時(shí)一個(gè)線圈的阻抗），這時(shí)的阻抗），這時(shí)U U0 00 0，電橋平衡。，電橋平衡。當(dāng)銜鐵向下移動(dòng)時(shí)，上面線圈的阻抗增加，即當(dāng)銜鐵向下移動(dòng)時(shí)，上面線圈的阻抗增加，即Z Z1 1=Z+Z=Z+Z，而下面線，而下面線圈的阻抗減小，即圈的阻抗減小，即Z Z2 2= Z= ZZZ，于是得，于是得EZZEZZZUo2)212(當(dāng)銜鐵向上移動(dòng)同樣大小的距離時(shí)，當(dāng)銜鐵向上移動(dòng)同樣大小的距離時(shí)，Z Z1 1=Z-Z=Z-Z，Z Z2 2= Z+Z= Z+Z，得，得 EZZEZZZUo2)212(第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感

10、式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移6.1.3差動(dòng)變壓器差動(dòng)變壓器 互感型電感傳感器是先將被測量的變化轉(zhuǎn)換成互感系數(shù)互感型電感傳感器是先將被測量的變化轉(zhuǎn)換成互感系數(shù)M M的變化，的變化，再變換為電壓信號(hào)輸出。這種傳感器實(shí)質(zhì)上是一個(gè)輸出電壓可變的變?cè)僮儞Q為電壓信號(hào)輸出。這種傳感器實(shí)質(zhì)上是一個(gè)輸出電壓可變的變壓器。當(dāng)變壓器初級(jí)線圈輸入穩(wěn)定交流電壓后，次級(jí)線圈便產(chǎn)生感應(yīng)壓器。當(dāng)變壓器初級(jí)線圈輸入穩(wěn)定交流電壓后，次級(jí)線圈便產(chǎn)生感應(yīng)電壓輸出，該電壓隨被測量的變化而變化，所以又稱為差動(dòng)變壓器，電壓輸出，該電壓隨被測量的變化而變化，所以又稱為差動(dòng)變壓器，其結(jié)構(gòu)形式有多種，應(yīng)用最廣的是螺管式差動(dòng)變壓器。其結(jié)構(gòu)

11、形式有多種，應(yīng)用最廣的是螺管式差動(dòng)變壓器。 1 1差動(dòng)變壓器工作原理差動(dòng)變壓器工作原理 螺管式差動(dòng)變壓器主要由初級(jí)線圈、次級(jí)線圈、銜鐵和線圈框架螺管式差動(dòng)變壓器主要由初級(jí)線圈、次級(jí)線圈、銜鐵和線圈框架等組成。等組成。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移 兩個(gè)次級(jí)線圈極性反接，輸出兩個(gè)次級(jí)線圈極性反接，輸出 = = 輸出的隨活動(dòng)銜鐵的位置而變。輸出的隨活動(dòng)銜鐵的位置而變。 當(dāng)活動(dòng)銜鐵的位置居中時(shí)，互感當(dāng)活動(dòng)銜鐵的位置居中時(shí)，互感M M1 1M M2 2M M，即，即 = = ， =0=0； 當(dāng)活動(dòng)銜鐵向上，當(dāng)活動(dòng)銜鐵向上， ， ， 與與 同

12、相；同相； 當(dāng)活動(dòng)銜鐵向下，即當(dāng)活動(dòng)銜鐵向下，即 ， ， 與與 反相。反相。差動(dòng)變壓器的等效電路 2e 21e 22e 21e 22e 2e MMM1MMM22e 1e MMM1MMM22e 1e 差動(dòng)變壓器的輸出特性分析：用交流電壓表測出差動(dòng)變壓器式傳感分析：用交流電壓表測出差動(dòng)變壓器式傳感器輸出的電壓值能否反應(yīng)位移的方向？器輸出的電壓值能否反應(yīng)位移的方向？第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移2 2差動(dòng)變壓器式傳感器測量轉(zhuǎn)換電路差動(dòng)變壓器式傳感器測量轉(zhuǎn)換電路（1 1）差動(dòng)相敏檢波電路）差動(dòng)相敏檢波電路 當(dāng)差動(dòng)變壓器銜鐵從中間向上或向下位

13、移時(shí)，對(duì)應(yīng)輸出電壓信號(hào)當(dāng)差動(dòng)變壓器銜鐵從中間向上或向下位移時(shí)，對(duì)應(yīng)輸出電壓信號(hào)為負(fù)極性或正極性，即輸出電壓的極性能反映銜鐵位移的方向，電壓為負(fù)極性或正極性，即輸出電壓的極性能反映銜鐵位移的方向，電壓值大小表明了位移的大小。值大小表明了位移的大小。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移（2 2）差動(dòng)整流電路）差動(dòng)整流電路 差動(dòng)整流電路把差動(dòng)變壓器兩個(gè)次級(jí)電壓分別整流后，以它們的差動(dòng)整流電路把差動(dòng)變壓器兩個(gè)次級(jí)電壓分別整流后，以它們的差作為輸出。圖差作為輸出。圖 (a)(a)、(b)(b)用于連接低阻抗負(fù)載（例如動(dòng)圈形電流表）用于連接低阻抗負(fù)載

14、（例如動(dòng)圈形電流表）的場合，是電流輸出型的差動(dòng)整流電路。圖的場合，是電流輸出型的差動(dòng)整流電路。圖 (c)(c)、(d)(d)用在連接高阻抗用在連接高阻抗負(fù)載（如數(shù)字電壓表）的場合，是電壓輸出型的差動(dòng)整流電路。負(fù)載（如數(shù)字電壓表）的場合，是電壓輸出型的差動(dòng)整流電路。（c）全波電壓輸出 （d）半波電壓輸出（a）全波電流輸出 （b）半波電流輸出第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移3 3差動(dòng)變壓器基本特性差動(dòng)變壓器基本特性（1 1）靈敏度）靈敏度 差動(dòng)變壓器的靈敏度是指差動(dòng)變壓器銜鐵移動(dòng)單位長度差動(dòng)變壓器的靈敏度是指差動(dòng)變壓器銜鐵移動(dòng)單位長度時(shí)所

15、產(chǎn)生的輸出電壓的變化。時(shí)所產(chǎn)生的輸出電壓的變化。（2 2）頻率特性）頻率特性 差動(dòng)變壓器的激磁頻率一般從差動(dòng)變壓器的激磁頻率一般從50Hz50Hz到到10KHz10KHz較為適當(dāng)。較為適當(dāng)。（3 3）線性范圍）線性范圍 理想的差動(dòng)變壓器次級(jí)輸出電壓應(yīng)與銜鐵位移成線性關(guān)理想的差動(dòng)變壓器次級(jí)輸出電壓應(yīng)與銜鐵位移成線性關(guān)系。系。（4 4）溫度特性）溫度特性 由于機(jī)械結(jié)構(gòu)的膨脹、收縮、測量電路的溫度特性等的由于機(jī)械結(jié)構(gòu)的膨脹、收縮、測量電路的溫度特性等的影響，會(huì)造成差動(dòng)變壓器測量精度的下降。影響，會(huì)造成差動(dòng)變壓器測量精度的下降。（5 5）零位電壓）零位電壓 當(dāng)差動(dòng)變壓器銜鐵位于中間位置時(shí)，理論上輸出應(yīng)

16、為當(dāng)差動(dòng)變壓器銜鐵位于中間位置時(shí)，理論上輸出應(yīng)為零，但實(shí)際上總是存在零位不平衡電壓輸出，即零位電壓。零，但實(shí)際上總是存在零位不平衡電壓輸出，即零位電壓。 零位電壓是由于兩個(gè)次級(jí)線圈的結(jié)構(gòu)不對(duì)稱，以及初級(jí)線圈銅損電零位電壓是由于兩個(gè)次級(jí)線圈的結(jié)構(gòu)不對(duì)稱，以及初級(jí)線圈銅損電阻、鐵磁材質(zhì)不均勻、線圈間分布電容等原因所形成。阻、鐵磁材質(zhì)不均勻、線圈間分布電容等原因所形成。 要減小零位電壓，最重要的是使傳感器的上下幾何尺寸和電氣參數(shù)要減小零位電壓，最重要的是使傳感器的上下幾何尺寸和電氣參數(shù)嚴(yán)格地相互對(duì)稱。同時(shí)，銜鐵或鐵芯必須經(jīng)過熱處理，以改善導(dǎo)磁性嚴(yán)格地相互對(duì)稱。同時(shí)，銜鐵或鐵芯必須經(jīng)過熱處理，以改善導(dǎo)

17、磁性能，提高磁性能地均勻性和穩(wěn)定性。對(duì)于存在零位電壓的電路可采用能，提高磁性能地均勻性和穩(wěn)定性。對(duì)于存在零位電壓的電路可采用零位補(bǔ)償電路進(jìn)行補(bǔ)償。零位補(bǔ)償電路進(jìn)行補(bǔ)償。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移6.1.46.1.4電感式測微儀電感式測微儀 電感式測微儀是一種能夠測量微小尺寸變化的精密測量儀器，它電感式測微儀是一種能夠測量微小尺寸變化的精密測量儀器，它由主體和測頭兩部分組成，配上相應(yīng)的測量裝置（如測量臺(tái)架等），由主體和測頭兩部分組成，配上相應(yīng)的測量裝置（如測量臺(tái)架等），能夠完成各種精密測量。能夠完成各種精密測量。 工作時(shí)測頭接觸被

18、測物，被測物尺寸工作時(shí)測頭接觸被測物，被測物尺寸的微小變化經(jīng)電感式傳感器的測頭帶動(dòng)的微小變化經(jīng)電感式傳感器的測頭帶動(dòng)兩線圈內(nèi)銜鐵移動(dòng)，使兩線圈內(nèi)的電感兩線圈內(nèi)銜鐵移動(dòng)，使兩線圈內(nèi)的電感量發(fā)生相對(duì)的變化。量發(fā)生相對(duì)的變化。 TESATRONIC TT20外形 第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移6.1.56.1.5電感式傳感器的應(yīng)用電感式傳感器的應(yīng)用 電感式傳感器把非電量轉(zhuǎn)換為與被測量成比例的電感量，再通過電感式傳感器把非電量轉(zhuǎn)換為與被測量成比例的電感量，再通過轉(zhuǎn)換電路將電感量的變化轉(zhuǎn)換為電壓、電流或頻率信號(hào)。轉(zhuǎn)換電路將電感量的變化轉(zhuǎn)換為電

19、壓、電流或頻率信號(hào)。1 1電感式加速度傳感器電感式加速度傳感器 差動(dòng)變壓器加上懸臂梁彈性支承就可構(gòu)成加速度傳感器，工作時(shí)差動(dòng)變壓器加上懸臂梁彈性支承就可構(gòu)成加速度傳感器，工作時(shí)加速度使彈性支承產(chǎn)生彈性形變，它帶動(dòng)著差動(dòng)變壓器的銜鐵位移，加速度使彈性支承產(chǎn)生彈性形變，它帶動(dòng)著差動(dòng)變壓器的銜鐵位移，由此測量加速度。由此測量加速度。 第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.1 6.1 電感式傳感器測量位移電感式傳感器測量位移2 2電感式微壓變送器電感式微壓變送器 差動(dòng)變壓器和膜片、膜盒、彈簧管等彈性敏感元件結(jié)合就可組成差動(dòng)變壓器和膜片、膜盒、彈簧管等彈性敏感元件結(jié)合就可組成壓力傳感器。無壓力作用時(shí)，

20、膜盒在初始狀態(tài)，與膜盒聯(lián)接的銜鐵位壓力傳感器。無壓力作用時(shí)，膜盒在初始狀態(tài)，與膜盒聯(lián)接的銜鐵位于差動(dòng)變壓器線圈的中心部。工作時(shí)，被測壓力從輸入口導(dǎo)入膜盒，于差動(dòng)變壓器線圈的中心部。工作時(shí)，被測壓力從輸入口導(dǎo)入膜盒，膜盒在壓力的作用下發(fā)生形變，產(chǎn)生正比與被測壓力的位移，這個(gè)位膜盒在壓力的作用下發(fā)生形變，產(chǎn)生正比與被測壓力的位移，這個(gè)位移通過測桿帶動(dòng)銜鐵在差動(dòng)變壓器中移動(dòng)，從而產(chǎn)生一正比于壓力的移通過測桿帶動(dòng)銜鐵在差動(dòng)變壓器中移動(dòng)，從而產(chǎn)生一正比于壓力的輸出電壓。輸出電壓。電感式壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖1輸入的壓力；2膜盒；3導(dǎo)線；4印刷電路板；5差動(dòng)線圈； 6銜鐵；7變壓器；8罩殼；9指示燈；10安

21、裝座；11底座第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移6.2.16.2.1光柵的結(jié)構(gòu)和種類光柵的結(jié)構(gòu)和種類光柵傳感器由光源、光柵尺和光電接收元件組成。光柵傳感器由光源、光柵尺和光電接收元件組成。 光源有鎢絲燈泡、半導(dǎo)體發(fā)光器件等，一般采用半導(dǎo)體發(fā)光器件。光源有鎢絲燈泡、半導(dǎo)體發(fā)光器件等，一般采用半導(dǎo)體發(fā)光器件。 光柵尺包括標(biāo)尺光柵和指示光柵，它是用真空鍍膜的方法光刻上均勻光柵尺包括標(biāo)尺光柵和指示光柵，它是用真空鍍膜的方法光刻上均勻密集柵線的透明玻璃片或長條形金屬鏡面。密集柵線的透明玻璃片或長條形

22、金屬鏡面。 光電元件常采用光電池和光敏三極管等。光電元件常采用光電池和光敏三極管等。 常見的光柵從形狀上可分為圓光柵和長光柵，圓光柵用于角位移的常見的光柵從形狀上可分為圓光柵和長光柵，圓光柵用于角位移的檢測，長光柵用于直線位移的檢測。檢測，長光柵用于直線位移的檢測。 （a） 透射式長光柵 （b）反射式長光柵 （c） 透射式圓光柵第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移6.2.26.2.2光柵傳感器的工作原理光柵傳感器的工作原理1. 1. 莫爾條紋莫爾條紋 常見光柵的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的。常見光柵的工作原理都是根據(jù)物理

23、上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的。 光柵讀數(shù)頭中的光敏元件根據(jù)透過莫爾條紋的光強(qiáng)度變化檢測位移。光柵讀數(shù)頭中的光敏元件根據(jù)透過莫爾條紋的光強(qiáng)度變化檢測位移。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的間距，以莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的間距，以H H表示。表示。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移莫爾條紋具有以下特點(diǎn)：莫爾條紋具有以下特點(diǎn)：(1) (1) 莫爾條紋的間距是放大了的光柵柵距，它隨著兩塊光柵柵線之間的夾角而莫爾條紋的間距是放大了的光柵柵距，它隨著兩塊光柵柵線之間的夾角而改變。它們之間的幾何關(guān)系為改變。

24、它們之間的幾何關(guān)系為H=W/sinH=W/sin W W 越小則越小則 H H越大，相當(dāng)于把微小的柵距越大，相當(dāng)于把微小的柵距W W擴(kuò)大了擴(kuò)大了1/1/倍。這種放大作用是倍。這種放大作用是莫爾條紋的一個(gè)重要特點(diǎn)。莫爾條紋的一個(gè)重要特點(diǎn)。(2) (2) 由于莫爾條紋是由若干條柵線共同形成的，所以莫爾條紋對(duì)光柵個(gè)別柵線由于莫爾條紋是由若干條柵線共同形成的，所以莫爾條紋對(duì)光柵個(gè)別柵線之間的柵距誤差具有平均效應(yīng)，能消除光柵柵距不均勻所造成的影響。通過之間的柵距誤差具有平均效應(yīng)，能消除光柵柵距不均勻所造成的影響。通過莫爾條紋所獲得的精度可以比光柵本身柵線的刻劃精度還要高。莫爾條紋所獲得的精度可以比光柵本

25、身柵線的刻劃精度還要高。(3) (3) 莫爾條紋隨兩光柵尺之間的相對(duì)而移動(dòng)，它們之間有嚴(yán)格的對(duì)應(yīng)關(guān)系、包莫爾條紋隨兩光柵尺之間的相對(duì)而移動(dòng)，它們之間有嚴(yán)格的對(duì)應(yīng)關(guān)系、包括移動(dòng)方向和位移量。兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)一個(gè)柵距括移動(dòng)方向和位移量。兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)一個(gè)柵距W W，莫爾條紋便相應(yīng)移動(dòng)一，莫爾條紋便相應(yīng)移動(dòng)一個(gè)莫爾條紋寬度個(gè)莫爾條紋寬度H H，其方向與兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的方向垂直，且當(dāng)兩光柵尺相，其方向與兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的方向垂直，且當(dāng)兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的方向改變時(shí)，莫爾條紋移動(dòng)的方向也隨之改變。如主光柵向左移動(dòng)，對(duì)移動(dòng)的方向改變時(shí)，莫爾條紋移動(dòng)的方向也隨之改變。如主光柵向左移動(dòng)，則莫爾條紋向下移；主

26、光柵向右移動(dòng)，莫爾條紋向上移動(dòng)。則莫爾條紋向下移；主光柵向右移動(dòng)，莫爾條紋向上移動(dòng)。(4) (4) 當(dāng)用平行光束照射光柵時(shí)，透過莫爾條紋的光強(qiáng)度分布近似于余弦函數(shù)。當(dāng)用平行光束照射光柵時(shí)，透過莫爾條紋的光強(qiáng)度分布近似于余弦函數(shù)。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移2. 辨向原理辨向原理 在莫爾條紋移動(dòng)的方向上設(shè)置兩套相距在莫爾條紋移動(dòng)的方向上設(shè)置兩套相距m m1/41/4莫爾條紋寬度的光莫爾條紋寬度的光電元件。當(dāng)兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)時(shí)，莫爾條紋隨之移動(dòng)，兩套光電元件電元件。當(dāng)兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)時(shí)，莫爾條紋隨之移動(dòng)，兩套光電元件可以接受到到可以接受到

27、到2 2個(gè)在相位上依次超前或滯后個(gè)在相位上依次超前或滯后1/41/4周期的光強(qiáng)度變化，光周期的光強(qiáng)度變化，光敏元件把光強(qiáng)度變化的轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的相位上超前或滯后敏元件把光強(qiáng)度變化的轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的相位上超前或滯后9090兩組電壓兩組電壓信號(hào)，如圖信號(hào)，如圖6-266-26所示，經(jīng)放大、整形后得到兩個(gè)方波信號(hào)所示，經(jīng)放大、整形后得到兩個(gè)方波信號(hào)u u1 1和和u u2 2，分，分別送到圖別送到圖6-276-27所示的辨向電路中。所示的辨向電路中。辨向波形圖辨向電路 第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移3.3.細(xì)分技術(shù)細(xì)分技術(shù) 為了提高系統(tǒng)分辨率，常采用

28、細(xì)分電路，使光柵移動(dòng)一個(gè)柵距能為了提高系統(tǒng)分辨率，常采用細(xì)分電路，使光柵移動(dòng)一個(gè)柵距能輸出若干個(gè)計(jì)數(shù)脈沖。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖的頻率提高了，因此細(xì)分輸出若干個(gè)計(jì)數(shù)脈沖。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖的頻率提高了，因此細(xì)分又叫倍頻。又叫倍頻。 四倍頻電路 四倍頻電路波形 第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移6.2.3光柵傳感器的使用光柵傳感器的使用1 1直線位移光柵傳感器的安裝直線位移光柵傳感器的安裝光柵位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位光柵位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位安裝基面安裝基面主尺安裝主尺安裝讀數(shù)頭的安裝讀數(shù)頭的安裝

29、限位裝置限位裝置檢查檢查裝防護(hù)罩裝防護(hù)罩第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移2 2光柵位移傳感器的使用注意事項(xiàng)光柵位移傳感器的使用注意事項(xiàng)（1 1）定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動(dòng)。）定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動(dòng)。（2 2）及時(shí)清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴(yán)格防止任何異物進(jìn)入光柵傳）及時(shí)清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴(yán)格防止任何異物進(jìn)入光柵傳感器殼體內(nèi)部污染光柵尺面，引起測量誤差。為延長防塵密封條的壽感器殼體內(nèi)部污染光柵尺面，引起測量誤差。為延長防塵密封條的壽命，可在密封條上均勻涂上一薄層硅油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃命，可在密封條上均勻涂上一

30、薄層硅油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。面上。（3 3）定期用乙醇混合液清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵）定期用乙醇混合液清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔以保證光柵傳感器使用的可靠性。為保證光柵傳感器使用的尺面清潔以保證光柵傳感器使用的可靠性。為保證光柵傳感器使用的可靠性，可每隔一定時(shí)間用乙醇混合液清洗擦拭光柵尺面及指示光柵可靠性，可每隔一定時(shí)間用乙醇混合液清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔。面，保持玻璃光柵尺面清潔。（4 4）光柵傳感器嚴(yán)禁劇烈震動(dòng)及摔打，以免損壞光柵尺。）光柵傳感器嚴(yán)禁劇烈震動(dòng)及摔打，以免損壞光柵尺。（5 5）不能任意改動(dòng)主柵尺與

31、副柵尺的相對(duì)間距，否則一方面可能破壞光）不能任意改動(dòng)主柵尺與副柵尺的相對(duì)間距，否則一方面可能破壞光柵傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對(duì)摩擦，柵傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對(duì)摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，從而造成光柵尺報(bào)廢。損壞鉻層也就損壞了柵線，從而造成光柵尺報(bào)廢。（6 6）光柵傳感器與數(shù)顯表插頭座插拔時(shí)應(yīng)關(guān)閉電源后進(jìn)行。）光柵傳感器與數(shù)顯表插頭座插拔時(shí)應(yīng)關(guān)閉電源后進(jìn)行。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.2 6.2 光柵傳感器測量位移光柵傳感器測量位移4 4軸環(huán)式光柵數(shù)顯表軸環(huán)式光柵數(shù)顯表 軸環(huán)式光柵數(shù)顯表結(jié)構(gòu)和測量框如圖軸環(huán)式光柵數(shù)顯表結(jié)構(gòu)和測量

32、框如圖6-306-30所示，定片（指示光柵）所示，定片（指示光柵）固定，動(dòng)片（主光柵）可與外接旋轉(zhuǎn)軸相聯(lián)并轉(zhuǎn)動(dòng)，動(dòng)片邊沿均勻地固定，動(dòng)片（主光柵）可與外接旋轉(zhuǎn)軸相聯(lián)并轉(zhuǎn)動(dòng)，動(dòng)片邊沿均勻地刻有刻有500500條透光條紋，定片為圓弧形薄片，在其表面刻有兩條亮條紋，條透光條紋，定片為圓弧形薄片，在其表面刻有兩條亮條紋，間距間距1 14 4周期，使得接收到的信號(hào)相位正好相差周期，使得接收到的信號(hào)相位正好相差/2/2，方便辨向，動(dòng)，方便辨向，動(dòng)片和定片之間保持一微小角度以得到莫爾條紋。當(dāng)動(dòng)片旋轉(zhuǎn)時(shí)，產(chǎn)生片和定片之間保持一微小角度以得到莫爾條紋。當(dāng)動(dòng)片旋轉(zhuǎn)時(shí)，產(chǎn)生的莫爾條紋亮暗信號(hào)由光敏三極管接收，經(jīng)整形

33、、細(xì)分及辨向電路，的莫爾條紋亮暗信號(hào)由光敏三極管接收，經(jīng)整形、細(xì)分及辨向電路，根據(jù)運(yùn)動(dòng)的方向來控制可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)，顯示結(jié)果。根據(jù)運(yùn)動(dòng)的方向來控制可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)，顯示結(jié)果。測量電路框圖 軸環(huán)式光柵數(shù)顯表結(jié)構(gòu) 第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移 編碼器以測量方式來分，有直線型編碼器、角度編碼器、編碼器以測量方式來分，有直線型編碼器、角度編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器。旋轉(zhuǎn)編碼器。 按照讀出方式編碼器可以分為接觸式和非接觸式兩種。按照讀出方式編碼器可以分為接觸式和非接觸式兩種。 按照工作原理編碼器可分為增量

34、式、絕對(duì)式和混合式三類。按照工作原理編碼器可分為增量式、絕對(duì)式和混合式三類。絕對(duì)式和增量式碼盤第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移6.3.16.3.1增量式光電編碼器增量式光電編碼器 增量式測量中，一個(gè)脈沖所代表的基本長度單位就是分辨力，對(duì)增量式測量中，一個(gè)脈沖所代表的基本長度單位就是分辨力，對(duì)脈沖計(jì)數(shù)，便可得到位移量。脈沖計(jì)數(shù)，便可得到位移量。 增量式編碼器分光電式、接觸式和電磁感應(yīng)式三種。增量式編碼器分光電式、接觸式和電磁感應(yīng)式三種。 光電式增量式編碼器，它由光源、聚光鏡、光電盤、光欄板、光光電式增量式編碼器，它由光源、聚光鏡、光電盤

35、、光欄板、光電元件和信號(hào)處理電路等組成。電元件和信號(hào)處理電路等組成。 a）結(jié)構(gòu)示意圖 b）外形 1-發(fā)光二極管 2光欄板 3零位標(biāo)志槽 4光電盤 5光敏元件第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移增量式光電編碼器的輸出波形分析：如果中途斷電后再重新上電，分析：如果中途斷電后再重新上電，增量式光電式編碼器能否讀出當(dāng)增量式光電式編碼器能否讀出當(dāng)前位置的數(shù)據(jù)前位置的數(shù)據(jù)？第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移6.3.26.3.2絕對(duì)式編碼器絕對(duì)式編碼器 絕對(duì)式編碼器是在碼盤的每一轉(zhuǎn)角位置刻有表示

36、該絕對(duì)式編碼器是在碼盤的每一轉(zhuǎn)角位置刻有表示該位置的唯一代碼，通過讀取編碼盤上的代碼來表示軸的位位置的唯一代碼，通過讀取編碼盤上的代碼來表示軸的位置。它是利用自然二進(jìn)制或循環(huán)二進(jìn)制編碼方式進(jìn)行轉(zhuǎn)換置。它是利用自然二進(jìn)制或循環(huán)二進(jìn)制編碼方式進(jìn)行轉(zhuǎn)換的。它能表示絕對(duì)位置，沒有累積誤差，電源切除后，位的。它能表示絕對(duì)位置，沒有累積誤差，電源切除后，位置信息不丟失，仍能讀出轉(zhuǎn)動(dòng)角度。絕對(duì)式編碼器有光電置信息不丟失，仍能讀出轉(zhuǎn)動(dòng)角度。絕對(duì)式編碼器有光電式、接觸式和電磁式三種。式、接觸式和電磁式三種。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移 圖6-35

37、絕對(duì)編碼器的碼盤 圖6-36 格雷碼盤 碼道的圈數(shù)就是二進(jìn)制的位數(shù)，若是碼道的圈數(shù)就是二進(jìn)制的位數(shù)，若是n n位二進(jìn)制碼位二進(jìn)制碼盤，就有盤，就有n n圈碼道，分辨角圈碼道，分辨角360360/2/2n n，碼盤位數(shù)，碼盤位數(shù)越大，所能分辨的角度越小，測量精度越高。越大，所能分辨的角度越小，測量精度越高。 第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移 絕對(duì)編碼器的編碼最簡單的是自然二進(jìn)制碼，但使用時(shí)如相鄰兩絕對(duì)編碼器的編碼最簡單的是自然二進(jìn)制碼，但使用時(shí)如相鄰兩碼盤制造工藝或光電元件安裝的誤差易引起讀數(shù)的粗大誤差，如當(dāng)電刷碼盤制造工藝或光電元件安

38、裝的誤差易引起讀數(shù)的粗大誤差，如當(dāng)電刷由位置由位置7(0111)7(0111)變?yōu)樽優(yōu)?(1000)8(1000)時(shí)，如果第一位先發(fā)生變化，而其它三位還時(shí)，如果第一位先發(fā)生變化，而其它三位還來不及變化，這樣輸出過程就是來不及變化，這樣輸出過程就是7(0111)15(1111)8(1000)7(0111)15(1111)8(1000)，為消除，為消除這種誤差，可采用格雷碼盤。這種誤差，可采用格雷碼盤。 十進(jìn)制十進(jìn)制二進(jìn)制二進(jìn)制格雷碼格雷碼十進(jìn)制十進(jìn)制二進(jìn)制二進(jìn)制格雷碼格雷碼00000000081000110010001000191001110120010001110101011113001100

39、1011101111104010001101211001010501010111131101101160110010114111010017011101001511111000第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移6.3.3 6.3.3 光電脈沖編碼器的使用光電脈沖編碼器的使用 以型號(hào)為以型號(hào)為ZSP3.806.-01G-600A/12-24EZSP3.806.-01G-600A/12-24E的增量式編碼的增量式編碼器為例，該編碼器共有四根線，分別為器為例，該編碼器共有四根線，分別為V+V+，V-V-，OUTOUT，屏，屏蔽層。蔽層。V+V

40、+，V-V-分別接工作電源的正端和地，分別接工作電源的正端和地，OUTOUT為信號(hào)輸為信號(hào)輸出，可接至計(jì)數(shù)器輸入端，但是需兩者共地，為了增強(qiáng)抗出，可接至計(jì)數(shù)器輸入端，但是需兩者共地，為了增強(qiáng)抗干擾的能力，也可將屏蔽層接地。干擾的能力，也可將屏蔽層接地。1.1.光電式旋轉(zhuǎn)編碼器的主要技術(shù)指標(biāo)光電式旋轉(zhuǎn)編碼器的主要技術(shù)指標(biāo)（1 1）輸出的脈沖）輸出的脈沖 （2 2）碼盤的材料）碼盤的材料 （3 3）最大響應(yīng)頻率）最大響應(yīng)頻率（4 4）輸出信號(hào)相位差）輸出信號(hào)相位差 （5 5）起動(dòng)轉(zhuǎn)矩）起動(dòng)轉(zhuǎn)矩 （6 6）工作電流）工作電流（7 7）工作溫度）工作溫度 （8 8）信號(hào)輸出）信號(hào)輸出第第6 6章章 位

41、移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移2 2光電式旋轉(zhuǎn)編碼器選型光電式旋轉(zhuǎn)編碼器選型旋轉(zhuǎn)編碼器選型應(yīng)注意的問題：旋轉(zhuǎn)編碼器選型應(yīng)注意的問題：1)1)分辨率與位置精度的關(guān)系。分辨率與位置精度的關(guān)系。2)2)外形尺寸與安裝占用面積的關(guān)系。外形尺寸與安裝占用面積的關(guān)系。3)3)軸允許荷重與編碼器壽命、安裝狀況的關(guān)系。軸允許荷重與編碼器壽命、安裝狀況的關(guān)系。4)4)允許最大轉(zhuǎn)速（最高響應(yīng)頻率）與電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)速和允許最大轉(zhuǎn)速（最高響應(yīng)頻率）與電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)速和分辨率的關(guān)系。分辨率的關(guān)系。5)5)輸出相位差與數(shù)控機(jī)床等控制裝置的匹配關(guān)系。輸出相位差與數(shù)控機(jī)床等控制

42、裝置的匹配關(guān)系。6)6)耐環(huán)境性與使用環(huán)境的關(guān)系。耐環(huán)境性與使用環(huán)境的關(guān)系。7)7)增量型、絕對(duì)型與成本的關(guān)系。增量型、絕對(duì)型與成本的關(guān)系。8)8)考慮軸的形式及尺寸?？紤]軸的形式及尺寸。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移3 3光電式旋轉(zhuǎn)編碼器安裝和使用光電式旋轉(zhuǎn)編碼器安裝和使用光電式旋轉(zhuǎn)編碼器安裝和使用時(shí)應(yīng)注意：光電式旋轉(zhuǎn)編碼器安裝和使用時(shí)應(yīng)注意：1 1）空心軸編碼器安裝要避免與編碼器剛性連接，應(yīng)采用板彈簧。長期使）空心軸編碼器安裝要避免與編碼器剛性連接，應(yīng)采用板彈簧。長期使用時(shí)，需定期檢查板彈簧相對(duì)編碼器是否松動(dòng)；固定編碼器的螺釘是

43、否用時(shí)，需定期檢查板彈簧相對(duì)編碼器是否松動(dòng)；固定編碼器的螺釘是否松動(dòng)。松動(dòng)。2 2）實(shí)心軸編碼器安裝編碼器軸與用戶端輸出軸之間采用彈性軟連接，以）實(shí)心軸編碼器安裝編碼器軸與用戶端輸出軸之間采用彈性軟連接，以避免因用戶軸的串動(dòng)、跳動(dòng)而造成編碼器軸系和碼盤的損壞。應(yīng)保證編避免因用戶軸的串動(dòng)、跳動(dòng)而造成編碼器軸系和碼盤的損壞。應(yīng)保證編碼器軸與用戶輸出軸的不同軸度碼器軸與用戶輸出軸的不同軸度0.20mm0.20mm，與軸線的偏角，與軸線的偏角1.51.5。3 3）安裝時(shí)嚴(yán)禁敲擊和摔打碰撞，以免損壞軸系和碼盤。）安裝時(shí)嚴(yán)禁敲擊和摔打碰撞，以免損壞軸系和碼盤。4 4）編碼器的信號(hào)線不要接到直流電源上或交流

44、電流上，輸出線彼此不要）編碼器的信號(hào)線不要接到直流電源上或交流電流上，輸出線彼此不要搭接，以免損壞輸出電路。搭接，以免損壞輸出電路。5 5）與編碼器相連的電機(jī)等設(shè)備，應(yīng)接地良好，不要有靜電。）與編碼器相連的電機(jī)等設(shè)備，應(yīng)接地良好，不要有靜電。6 6）使用時(shí)注意周圍有無振源及干擾源。注意環(huán)境溫度、濕度是否在儀器）使用時(shí)注意周圍有無振源及干擾源。注意環(huán)境溫度、濕度是否在儀器使用要求范圍之內(nèi)。使用要求范圍之內(nèi)。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移6.3.4 6.3.4 光電脈沖編碼器的應(yīng)用光電脈沖編碼器的應(yīng)用1. 1. 位置測量位置測量 光電編

45、碼器的典型應(yīng)用產(chǎn)品是軸環(huán)式數(shù)顯表，它是一個(gè)將光電編光電編碼器的典型應(yīng)用產(chǎn)品是軸環(huán)式數(shù)顯表，它是一個(gè)將光電編碼器與數(shù)字電路裝在一起的數(shù)字式轉(zhuǎn)角測量儀表，其外形見圖碼器與數(shù)字電路裝在一起的數(shù)字式轉(zhuǎn)角測量儀表，其外形見圖6-376-37所所示。它適用于車床、銑床等中小型機(jī)床的進(jìn)給量和位移量的顯示。例示。它適用于車床、銑床等中小型機(jī)床的進(jìn)給量和位移量的顯示。例如：將軸環(huán)數(shù)顯表安裝在車床進(jìn)給刻度輪的位置，就可直接讀出整個(gè)如：將軸環(huán)數(shù)顯表安裝在車床進(jìn)給刻度輪的位置，就可直接讀出整個(gè)進(jìn)給尺寸，從而可以避免人為的讀數(shù)誤差，提高加工精度。特別是在進(jìn)給尺寸，從而可以避免人為的讀數(shù)誤差，提高加工精度。特別是在加工無

46、法直接測量的內(nèi)臺(tái)階孔和用來制作多頭螺紋時(shí)的分頭，更顯得加工無法直接測量的內(nèi)臺(tái)階孔和用來制作多頭螺紋時(shí)的分頭，更顯得優(yōu)越。它是用數(shù)顯技術(shù)改造老式設(shè)備的一種簡單易行手段。優(yōu)越。它是用數(shù)顯技術(shù)改造老式設(shè)備的一種簡單易行手段。 第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.3 6.3 光電編碼器測量角位移光電編碼器測量角位移2 2速度測量速度測量 測速傳感器結(jié)構(gòu)采用如圖測速傳感器結(jié)構(gòu)采用如圖6-386-38所示的增量式光電編碼器，檢測所示的增量式光電編碼器，檢測A A、B B和和Z Z三個(gè)增量脈沖信號(hào)的辦法，三個(gè)增量脈沖信號(hào)的辦法，A A、B B輸出信號(hào)成輸出信號(hào)成9090的相位差，具有的相位差，具有辨向作

47、用，辨向作用，Z Z信號(hào)每轉(zhuǎn)一周只輸出一個(gè)脈沖，又稱為零位標(biāo)志，作為信號(hào)每轉(zhuǎn)一周只輸出一個(gè)脈沖，又稱為零位標(biāo)志，作為決定轉(zhuǎn)角的原點(diǎn)。根據(jù)需要，當(dāng)只需檢測轉(zhuǎn)速時(shí)，選擇帶一個(gè)光電耦決定轉(zhuǎn)角的原點(diǎn)。根據(jù)需要，當(dāng)只需檢測轉(zhuǎn)速時(shí)，選擇帶一個(gè)光電耦合器的單相輸出增量碼盤測出合器的單相輸出增量碼盤測出Z Z信號(hào)即可；若還要判別正負(fù)轉(zhuǎn)向并控信號(hào)即可；若還要判別正負(fù)轉(zhuǎn)向并控制轉(zhuǎn)角位置時(shí)，則需要選擇內(nèi)部含三個(gè)光電耦合器的有三相輸出的增制轉(zhuǎn)角位置時(shí)，則需要選擇內(nèi)部含三個(gè)光電耦合器的有三相輸出的增量碼盤檢測量碼盤檢測A A、B B和和Z Z三個(gè)輸出信號(hào)。三個(gè)輸出信號(hào)。第第6 6章章 位移的檢測位移的檢測6.4 6.4 位移檢測控制系統(tǒng)的制作和調(diào)試位移檢測控制系統(tǒng)的制作和調(diào)試6.4 6.4 位移檢測控制系統(tǒng)的制作和調(diào)試位移檢測控制系統(tǒng)的制作和調(diào)試6.4.16.4.1系統(tǒng)設(shè)計(jì)目的系統(tǒng)設(shè)計(jì)目的 在自動(dòng)化生產(chǎn)、加工和控制過程中，