《硅片檢驗(yàn)規(guī)程JY》word版

1、天威新能源(成都)硅片有限公司文件編號TNG.J JY.015-2009版 次A硅片檢驗(yàn)規(guī)程生效日期2009年02月10日第 PAGE 5頁 共5頁目的為加強(qiáng)成品質(zhì)量控制，規(guī)范成品檢驗(yàn)方法及步驟，特制定此規(guī)程。范圍本文件規(guī)定了對成品進(jìn)行檢驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)等。本文件適用于硅片公司品管部硅片分選包裝檢驗(yàn)員。設(shè)備、工模具、材料Manz硅片分選設(shè)備、PVC手套、標(biāo)簽打印機(jī)、工作臺、包裝盒、包裝箱、封口膠帶等。內(nèi)容4.1 檢驗(yàn)方式 外觀全檢，即對全部生產(chǎn)的硅片外觀逐件用肉眼進(jìn)行檢測，從而判斷每一件產(chǎn)品是否合格。4.1.2 電學(xué)及其他性能 抽檢，每個(gè)硅塊抽取200片用Manz硅片分選設(shè)備對其導(dǎo)電類型、電阻率、厚度

2、、TTV、少子壽命等進(jìn)行檢驗(yàn)。在有特殊要求時(shí)，按一定比例對硅片的氧碳含量進(jìn)行抽檢。4.2 檢驗(yàn)步驟每個(gè)硅塊抽取200片用Manz硅片分選設(shè)備對其導(dǎo)電類型、電阻率、少子壽命等進(jìn)行檢驗(yàn)；在抽檢的200片當(dāng)中如果有30及30片以上的硅片（導(dǎo)電類型、電阻率、厚度、TTV、少子壽命等不符合要求硅片數(shù)的總計(jì)）不滿足4.3中相關(guān)要求，則對該硅塊所有的硅片用Manz硅片分選設(shè)備進(jìn)行檢驗(yàn)，之后再對所有硅片進(jìn)行外觀上的檢驗(yàn)；在抽檢的200片當(dāng)中如果只有30片以下的硅片（導(dǎo)電類型、電阻率、厚度、TTV、少子壽命等不符合要求硅片數(shù)的總計(jì)）不滿足4.3中相關(guān)要求，則將這些硅片判定為導(dǎo)電類型不符、電阻率不符等，該硅塊其他

3、硅片不再進(jìn)行導(dǎo)電類型、電阻率、厚度、TTV、少子壽命等的檢驗(yàn)，連同抽檢的200片硅片中剩下的硅片進(jìn)行外觀上的全檢；例如：如某一硅塊理論切片數(shù)為535片，抽檢了200片，當(dāng)中有29片不滿足4.3中相關(guān)要求。則將29片判定為導(dǎo)電類型不符、電阻率不符等，剩下的171（200-29）片連同前面的335片（535-200）進(jìn)行外觀上的全檢；編制：校對：審核：標(biāo)準(zhǔn)化： 批準(zhǔn)：發(fā)送部門份 數(shù)依據(jù)4.3中相關(guān)要求對硅片進(jìn)行分類。4.3 技術(shù)要求按質(zhì)量要求將硅片分為A級硅片、B級硅片、C級硅片、D級硅片四級，如下表1。其中將A級硅片按電阻率分為A1（0.53.cm），A2（36.cm）2個(gè)類別，B級硅片按部分性

4、能不滿足A級硅片要求分為B1，B2，B3，B4，B5，B9共9種類別；C級硅片指由清洗、檢測和包裝過程中產(chǎn)生的碎片，經(jīng)判定能將其劃成一定尺寸的小規(guī)格硅片（如125mm125mm），其他檢驗(yàn)參數(shù)符合A級硅片標(biāo)準(zhǔn)。具體要求見下表。硅片公司按A級硅片生產(chǎn)，允許按用戶要求提供B級硅片或是C級硅片。表1 太陽能多晶硅片質(zhì)量等級分類方法序號檢驗(yàn)項(xiàng)目ABCD檢測方法檢驗(yàn)方式A1A2B1、B2、B3B91導(dǎo)電類型PP可劃片（不合格產(chǎn)品），但在劃為小規(guī)格尺寸（125125）硅片后，其他性能符合A級硅片標(biāo)準(zhǔn)不合格產(chǎn)品，即不滿足A、B、C級要求的硅片均歸為D級硅片分選設(shè)備抽檢2隱裂、針孔無隱裂、無針孔無隱裂、無針孔

5、硅片分選設(shè)備抽檢3崩邊長度1 mm，深度0.5 mm，每片崩邊總數(shù)2 處；長度1 mm，深度0.5 mm，每片崩邊總數(shù)2 處；B1 1mm崩邊長度5mm，1mm深度2mm，1崩邊總數(shù)3目測全檢4TTV30 m30 mB2 30mTTV50m；硅片分選設(shè)備抽檢5厚度20020 m20020 mB3 厚度偏差超過20m但小于40m硅片分選設(shè)備抽檢6尺寸1560.5 mm1560.5 mmB4 硅片尺寸偏差超過0.5mm但小于1.0mm硅片分選設(shè)備抽檢7倒角10.5 mm、451010.5 mm、4510B5 倒角尺寸偏差超過0.5mm但小于0.8mm硅片分選設(shè)備抽檢8線痕深度8 m深度15 mB6

6、 15m深度30m目測、必要時(shí)使用表面粗糙度儀幫助判定全檢9電阻率0.5-3cm；3-6cm0.5-3cm；3-6cmB7 電阻率0.5.cm硅片分選設(shè)備抽檢10少子壽命2s2sB8 0.5s少子壽命2s少子壽命測試儀按硅塊檢驗(yàn)規(guī)程進(jìn)行抽檢續(xù)表1序號檢驗(yàn)項(xiàng)目A BCD檢測方法檢驗(yàn)方式 A1 A211表面質(zhì)量狀況硅片表面及側(cè)面無凹坑，無沾污，無氧化，無穿孔，無裂紋，無劃傷；硅片表面及側(cè)面無凹坑，無明顯沾污（表面沾污總面積小于3mm2，每一百片單邊側(cè)面沾污總面積小于20mm2）（判斷時(shí)參照沾污樣本片進(jìn)行判定），無氧化，無穿孔，無裂紋，無劃傷；B9 硅片表面有沾污但硅片顏色不發(fā)黑；油點(diǎn)或其他贓物不得

7、有3處，每處沾污或其他贓物面積1mm2可劃片（不合格產(chǎn)品），但在劃為小規(guī)格尺寸（125125）硅片后，其他性能符合A級硅片標(biāo)準(zhǔn)不合格產(chǎn)品，即不滿足A、B、C級要求的硅片均歸為D級目測全檢12彎曲度80 m80 m80 m塞尺抽檢13氧碳含量氧含量8x1017atoms/cm3 ；碳含量6.0 x1017atoms/cm3氧含量8x1017atoms/cm3 ；碳含量6.0 x1017atoms/cm3氧含量8x1017atoms/cm3 ；碳含量6.0 x1017atoms/cm3氧碳含量測試儀客戶要求時(shí)才抽檢說明：1) A級硅片為優(yōu)等品，A、B級硅片均為合格硅片,C、D級硅片為不合格硅片；

8、2) B級硅片按公司制定的相關(guān)讓步使用規(guī)定進(jìn)行使用，C級、D級硅片按公司不合格品控制程序進(jìn)行處理；3）凡涉及到“不明顯”、“目測”字樣的條款，其檢驗(yàn)的光照條件依據(jù)GB50034-92工業(yè)企業(yè)照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)中第條一般精細(xì)作業(yè)中的要求，即識別對象最小尺寸0.6d1.0,視覺作業(yè)分類等級為IV乙，亮度對比為大，照度大小為200LUX（即需40W的日光燈源，工作面距離燈源50-70cm）。4）凡涉及到“不明顯”、“目測”字樣的條款，檢驗(yàn)時(shí)可以標(biāo)片的方式輔助加以判定是否合乎要求。標(biāo)志、包裝標(biāo)志在包裝盒至少印有如下產(chǎn)品標(biāo)志：企業(yè)名稱；產(chǎn)品型號或標(biāo)記；制造日期；質(zhì)量認(rèn)證書；硅錠編號；氧、碳含量；少子壽命；電阻率。內(nèi)包裝硅片采用EPS包裝盒密封包裝。包裝盒上的標(biāo)簽要求粘貼整齊美觀、向上并朝同一方向。封口時(shí)，封口膠要求美觀平整。外包裝外包裝箱應(yīng)標(biāo)有“小心輕放”及“防腐