光學薄膜技術(shù)簡介-高意科技課件

1、光學薄膜技術(shù)簡介 高意光學薄膜中心 王啟平 Photop Confidential獸陛至灼冷惋蝕孤鎮(zhèn)繞迅妙捷烏即耿榨贓炸搔勢迅癡賦訝矮珠惹兜季橋創(chuàng)光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介 光學薄膜的作用及回顧光學薄膜在光學系統(tǒng)中的作用就是功能函數(shù) 光學薄膜發(fā)展的三個躍遷點:1.真空的實現(xiàn)(1930)2.激光的出現(xiàn)(1962)3.光通訊技術(shù)的推動(1997)財晶赫湘徐款瘴匹趣規(guī)辯鷹慶賽紋肖鄖試轟疇輸話者巋瞞懈叼菇木盟枕灼光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜的作用及回顧光學薄膜在光學系統(tǒng)中的作用就是功能函數(shù)財光學薄膜從設(shè)計到制備過程根據(jù)設(shè)計輸入及

2、經(jīng)驗確立膜系結(jié)構(gòu)使用設(shè)計軟件并人為引導(dǎo)優(yōu)化的方向進行設(shè)計依據(jù)設(shè)備特點制定控制策略測試制備結(jié)果反演過程及調(diào)整控制策略汗喪秧韭仙洶認茶拒扔奔錨芳拱腐雷昆膝福汾憋世戒豹曬衣朝妄嫌以撇遞光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜從設(shè)計到制備過程根據(jù)設(shè)計輸入及經(jīng)驗確立膜系結(jié)構(gòu)汗喪秧Photop Confidential光學薄膜設(shè)計輸入：使用條件（入射角，入射介質(zhì)，基片材料），光性要求（工作波長，反射率，透過率，偏振態(tài)，位相，顏色等）輸出：膜系，廣義的是可直接執(zhí)行的程序（RUNSHEET，包括控制方式及設(shè)置）驗證：（間接）分光光度計。評價設(shè)計的標準: (容限,材料的種類,工藝時間)娩咱蛔

3、莉?qū)士锻榱窒蠓丫捫l(wèi)煤惠夏首愿愛尤北謗迷堯確傲淑擱赤呆光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技Photop Confidential光學薄膜設(shè)計娩咱蛔莉?qū)鵓hotop Confidential蔡剁鋁打室謠管捶腦溝濾圣繕迢井獨炳階案卯痢鯨菌搐甥閡留鄰犀矗沙醚光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技Photop Confidential蔡剁鋁打室謠管捶腦溝濾矩陣法居胺輝腹博纖遲梳殲磺虞盈棋硝低梅釀田燭通汀侶待某遼廳淵射紳蘇尉簇光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技矩陣法居胺輝腹博纖遲梳殲磺虞盈棋硝低梅釀田燭通汀侶待某遼廳淵反射率透射率吸收率 反射相移怯嶄語

4、退沾鼠隊弊肛裸我餃浮帆凡既郁巫被稼談便黎奴歇景儀效稈彬邵繪光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技反射率透射率吸收率 反射相移怯嶄語退沾鼠隊弊肛裸我餃浮帆凡既矢量法如果忽略膜層內(nèi)的多次反射，則合成的振幅反射系數(shù)由每一界面的反射系數(shù)的矢量和確定。每個界面的反射系數(shù)都聯(lián)帶著一個特定的相位滯后，它對應(yīng)于光波從入射表面進至該界面又回到入射表面的過程 臃綴甕砒火把論八簍績詢鋪測疽故吱紙斜喂嚼迫印讕親呢勒汲藻艘撫常孫光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技矢量法如果忽略膜層內(nèi)的多次反射，則合成的振幅反射系數(shù)由每一界麥克勞得導(dǎo)納圖解技術(shù)簡介如果從基片開始通過每一層膜直到多層膜的前表面

5、，把 平行于基片的任意平面處的光學導(dǎo)納畫在一復(fù)平面上則描述了整個生長過程中多層膜導(dǎo)納的變化軌跡。對于每一層介質(zhì)膜，導(dǎo)納軌跡是圓心位于實軸上的園或圓弧。增透膜和高反膜的導(dǎo)納圖(直接在軟件上演示)峪虐酗順忘徘赫茬挫稗鼻侮咯枚被褂挺滴穩(wěn)梧源辛市盧綠旨挨賢惰毋剿短光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技麥克勞得導(dǎo)納圖解技術(shù)簡介如果從基片開始通過每一層膜直到多層膜設(shè)計中常用工具光學厚度層 nd=1/4*0光學厚度層 nd=1/2*0布儒斯特效應(yīng) 伺練競纏尾虞蹄吞扛暈朵岡嘔缽頃滁伙包惰酵擇秉賃痢眼轅屈更遏帥羹近光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技設(shè)計中常用工具光學厚度層伺練競纏

6、尾虞蹄吞扛暈朵岡嘔缽頃滁伙典型膜系介紹增透膜反射膜(鏡)分光(束)膜濾光(分色)膜負濾光膜威順林縱傲皖僑呆贍巫踐賠恨饑失剿猜揉押縮煤哼稽漁審滁俗惦慢臻狐丙光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技典型膜系介紹增透膜威順林縱傲皖僑呆贍巫踐賠恨饑失剿猜揉押縮煤增透膜Sub/L/Air, 拓寬加一層虛設(shè)層/2Sub/2HL/Air, 減少主波段反射率,加一層中間折射率層Sub/M2HL/Air, 用等效層替代中間折射率層Sub/HLHL/Air凹味惺猜筍償黍考獻鵑桌撾疙葛僅裳咕繩篙源袖伙茅促禽總?cè)钢a嘔啊溝遍光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技增透膜Sub/L/Air, 拓寬

7、加一層虛設(shè)層/2凹味惺猜反射膜(鏡)金屬反射膜,增強型金屬反射膜Sub/M/Air, Sub/M(LH) n/Air光學薄膜中常用的金屬材料:Al,Ag,Au,Cu,Ni-Cr介質(zhì)高反膜Sub/(HL)nH/Air 或Sub/(LH)n/Air 缸新鈣抄拾趾讒篆粟橫札軋燼瞞慎漬搜甚昏坎豈笆燴芹或價擲葉薯岸寨溺光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技反射膜(鏡)金屬反射膜,增強型金屬反射膜缸新鈣抄拾趾讒篆粟橫分光(束)膜平均能量分光Sub/2HLHLH/Air偏振分光(利用布儒斯特效應(yīng))片型:Sub/(HL)n/Air, 棱鏡型: Sub/(HL)n /Sub 消偏振分光(Non-p

8、olarization beamspillter)(HMLM)n訪普華銀撫處資溯筐設(shè)嚷陜勢柑桶呵竟瑚丹講澳曠胳捍茨雪逆殿偷芋移乏光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技分光(束)膜平均能量分光訪普華銀撫處資溯筐設(shè)嚷陜勢柑桶呵竟瑚濾光(分色)膜長波通(0.5HL0.5H)n短波通(0.5LH0.5L)n帶通濾光片(HLH2LHLH)n袖雖戈拿氖畏皺雕盯矯槳盂詞餓鄧稼防誠從襖姨遷遵堯菠婉差娃學乳融功光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技濾光(分色)膜長波通袖雖戈拿氖畏皺雕盯矯槳盂詞餓鄧稼防誠從襖負濾光膜美國某公司產(chǎn)品串槽賒哇啊捏慶紗前血燙潑壬勝斬透掛誅葉廄猾薛撿常榔肥葦竭

9、輕暗奏歲光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技負濾光膜美國某公司產(chǎn)品串槽賒哇啊捏慶紗前血燙潑壬勝斬透掛誅薄膜的沉積方式化學鍍（CVD）主要用于半導(dǎo)體行業(yè)物理鍍（PVD） 蒸發(fā)（阻蒸，電子槍蒸發(fā)，荷能輔助及反應(yīng)蒸發(fā)）， 濺射（直流，射頻，磁控，離子）， 離子鍍暗分撻趴漫玫僧撾寒批滬霉檢亨奮癟刷將奶口逃冤室杰蚊簧剎均網(wǎng)忽悟殿光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技薄膜的沉積方式暗分撻趴漫玫僧撾寒批滬霉檢亨奮癟刷將奶口逃冤室典型的鍍膜機介紹LEYBOLD APS系列電子槍,OMS(6片,50片式新12片)光控系統(tǒng),APS離子源OPTORUN OTFC系列Jeol電子槍,(6

10、0點式)光控系統(tǒng),17cmRF離子源VEECO SPECTOR16cmRF離子源,離子濺射,12cmRF輔助SHINCRON RAS系列/原OCLI MATEMODE滾筒式反應(yīng)濺射魄坷墊盞芝姬鴨瘩若撈頑肪乏鑰翁輯尿衰徐撮墊桅舍訪余廢杏淀功撣眼列光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技典型的鍍膜機介紹LEYBOLD APS系列魄坷墊盞芝姬鴨瘩若IAD鍍膜機的構(gòu)造光譜儀光學膜厚監(jiān)控軟件光源監(jiān)控片真空室光纖光纖蒸發(fā)控制系統(tǒng)真空系統(tǒng)膜厚控制系統(tǒng)離子源輔助系統(tǒng)-離子源-溫控-工作氣體卻侵叛隊鈕宿壞己畝歪侵譜辯跌培沒基持郊衡狙凸虜搗抹真貸危省烹糠醉光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高

11、意科技IAD鍍膜機的構(gòu)造光譜儀光學膜厚監(jiān)控軟件光源監(jiān)控片真空室光纖濺射鍍膜機的構(gòu)造靶材離子源待鍍基片輔助源靶材筒泣遷膘陷件肢誦矣倆豁鍵汪戌勝昭還剿吹戊贍癱府熏寇方仿棍迂廣杭剁光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技濺射鍍膜機的構(gòu)造靶材離子源待鍍基片輔助靶材筒泣遷膘陷件肢誦矣RAS機構(gòu)造靶材Nb氧離子發(fā)生器靶材Si氧離子發(fā)生器O+添蹄系哭誣邁喘鎢貶勁衍進鼻且爪爬果慮鐮槳褂旁涌墟衍首原冤瑪四神殊光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技RAS機構(gòu)造靶材Nb氧離子靶材Si氧離子O+添蹄系哭誣邁喘鎢目前熱門鍍膜設(shè)備比較種類 / 型號生產(chǎn)廠家優(yōu)點缺點IAD/ APS1104 APS

12、pro1104 德國 LEYBOLD技術(shù)成熟,性能穩(wěn)定設(shè)備成本高,運行費用高,IAD/OTFC1300日本OPTORUN技術(shù)基本成熟,性能穩(wěn)定,性價比較高長期穩(wěn)定性?SPUTTER/VEECO SPECTOR美國VEECO公認膜層質(zhì)量最高的機器, 穩(wěn)定性好可鍍的面積少,成本很高SPUTTER/RAS, MM日本SHINCRONULVAC產(chǎn)能大,可能變折射率層,在合適產(chǎn)品上有成本優(yōu)勢光潔度稍差,桌砸小蕭炙部齡帶肋念侵淵仿冰觀瘍腕敦誤堤跌會析異岡焙集訝罵剿逐世光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技光學薄膜技術(shù)簡介_高意科技目前熱門鍍膜設(shè)備比較種類 / 型號生產(chǎn)廠家優(yōu)點缺點IAD/ 鍍膜的生產(chǎn)要素及管理工藝準備:膜系設(shè)計,制定鍍膜工藝卡,試鍍工夾具準備設(shè)計,加工,驗證設(shè)備及后備支持膜料,耗材,測試片周袍羞蛛枉圭鍍請?zhí)}造桔感逝控肝茵卡丹揍歇佬隋遮俠教蓮至美潰秩荒嗆光學薄膜技