E84-握手流程(中文版)

E84-握手流程(中文版)E84-握手流程(中文版)E84-握手流程(中文版)E84-握手流程(中文版)編制僅供參考審核批準(zhǔn)生效日期地址：電話：傳真:郵編:E84PI/OINTERFACE概要解説書中文版配布先-COPY計(jì)-SUM承認(rèn)-APP調(diào)査-CHK作成-DRAWN神鋼電機(jī)株式會社神鋼電機(jī)株式會社SHINKOELECTRICCO.,変更來歴Rev日付內(nèi)容承認(rèn)作成0初版藤原SSG佐野TranslatedbyDon2007/01/20目次TOC\o"1-3"1 背景?目的 42 E84とE23之不同點(diǎn) 43 限制 44 機(jī)器構(gòu)成 45 用語說明 56 控制信號之種類 67 InterlockTimeout 88 通信程序 9 裝載移載 9 卸載移載 119 異常檢測 12 移載動作開始前之異常 12 移載動作中之異常 13 異常移載動作後之異常 14 GO信號?OFF變化 15 異常之復(fù)舊 1510注意事項(xiàng) 1511Connector及各信號之分配 1612電路圖?SensorUnit尺寸 18背景?目的半導(dǎo)體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之?dāng)U大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導(dǎo)入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統(tǒng)（AMHS）的趨勢。AMHS中、製造裝置與OHV（臺車）藉由使用PhotoI/O之通信、來取得Load/Unload之同步。此PhotoI/O通信係藉由SEMI規(guī)格來定義、製造裝置及OHV需進(jìn)行遵守此規(guī)格的通信控制。SEMI規(guī)格中、雖定義E23作為上述PhotoI/O通信規(guī)格、但於’99年以E23為基本而重新定義了功能強(qiáng)化之E84、此E84規(guī)格有成為主流的趨勢。本書係記述E84規(guī)格之概要。又，本書之對象係定為進(jìn)行與AMHS裝置及半導(dǎo)體製造裝置間之介面相關(guān)的設(shè)計(jì)/管理。E84とE23之不同點(diǎn)追加/變更於E84之項(xiàng)目如下。連續(xù)HandoffSequence同時HandoffSequence追加HO_AVBL信號、ES信號Timer之規(guī)定改訂Connectorpin之分配限制本書僅記述導(dǎo)入於OHT系統(tǒng)之E84規(guī)格。因此、以下項(xiàng)目與該系統(tǒng)不相關(guān)故予以割愛。連續(xù)Handoff/同時HandoffSequence使用於連續(xù)Handoff之Timer機(jī)器構(gòu)成圖顯示本規(guī)格之E84I/OInterface的適用例。図E84I/O介面例※I/O裝置E84中並無規(guī)定Device種類?安裝位置※I/O裝置LoadPort載體E84I/O介面半導(dǎo)體製造裝置（側(cè)面）AGV/RGVOHV主機(jī)AMHS控制裝置※I/O裝置E84中並無規(guī)定Device種類?安裝位置※I/O裝置Load載體E84I/O介面半導(dǎo)體製造裝置（側(cè)面）AGV/RGVOHV主機(jī)AMHS控制裝置用語説明表顯示本書使用之用語。表用語説明用語解説Active裝置具備移載機(jī)構(gòu)之裝置。［遵循SEMIE23規(guī)格］（OHT系統(tǒng)中、OHV屬於Active裝置。）Passive裝置藉由Active裝置來進(jìn)行移載之裝置。[遵循SEMIE23規(guī)格]Passive裝置包含加工裝置/Stocker等。本書中、Passive裝置係與『裝置』同義。AMHS裝置(=AutomatedMaterialHandlingSystem)具有可在Passive裝置間搬送載體之功能的裝置。RGV:RailGuidedVehicles/AGV:AutomatedGuidedVehicles/OHT:OverheadHoistTransportsなど。AutoAccessModeAMHS裝置以自動方式進(jìn)行Handoff之模式。ManualAccessModeOperator以手動方式進(jìn)行Handoff之模式。載體卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來收藏晶圓之箱子。[遵循SEMI規(guī)格]Handoff表示藉由Active裝置對Passive裝置進(jìn)行裝載及卸載之移載動作。本書中、係與『裝載/卸載移載』同義。Handoff干涉區(qū)域Handoff中Active裝置之載體有可能與Passive裝置之載體衝突的空間。Handoff?Interlock異常Handoff中Passive裝置檢測到異常之狀態(tài)。Active裝置之載體與Passive裝置之載體、有可能在Handoff干涉區(qū)域衝突衝突。無法Handoff利用狀態(tài)Passive裝置無法進(jìn)行Handoff之狀態(tài)。Loadport加工裝置/Stocker等之InterfacePort。[遵循SEMIE15規(guī)格]Load從Active裝置往Passive裝置之卸載移載。Unload從Passive裝置往Active裝置之裝載移載。控制信號之種類使用於E84通信之各信號的種類如表所示。關(guān)於通信方向：A=Active裝置、P=Passive裝置。表信號之名稱及功用信號名稱通信方向信號之說明CS_0(=CarrierStage0)A?P指定使用於載體Handoff之Loadport。ON：使用於載體Handoff。OFF：不使用。CS_1(=CarrierStage1)A?P指定使用於載體Handoff之Loadport。ON：使用於載體Handoff。OFF：不使用。※OHT系統(tǒng)中、由於各Loadport設(shè)置有PhotoI/O（1PhotoI/O／1LoadPort）、因此不使用本信號。VALID(=Indicatesthatthesignaltransitionisactiveandselected.)可以通信A?P表示Active裝置?Passive裝置間之通信為有效。ON：通信為有效。OFF：通信為無效。Active裝置在使本信號ON之前、需以CS_0信號或CS_1信號（或兩者）來指定移載對象之Loadport?！鵒HT系統(tǒng)中、僅使用CS_0L_REQ(=LoadRequest)要求裝載P?A表示Loadport被指定為載體之裝載（Active裝置之卸載）。ON：Loadport被指定為載體之裝載OFF：Loadport未被指定為載體之裝載。由Active裝置以CS_0信號指定Loadport、當(dāng)VALID=ON時、Passive裝置使本信號ON。當(dāng)Passive裝置確認(rèn)到載體被放置到正確位置之後、即將本信號OFF。U_REQ(=UnloadRequest)要求卸載P?A表示Loadport被指定為載體之卸載（Active裝置之裝載）。ON：Loadport被指定為載體之卸載OFF：Loadport未被指定為載體之卸載。由Active裝置以CS_0信號指定Loadport、當(dāng)VALID=ON時、Passive裝置即將本信號ON。Passive裝置在載體被完全取走後、即將本信號OFF。TR_REQ(=TransferRequest)要求HandoffA?P對Passive裝置要求Handoff。ON：已提出Handoff要求。OFF：未已提出Handoff要求。當(dāng)BUSY信號OFF時、本信號亦OFF。READY(=ReadyforTransfer)準(zhǔn)備HandoffP?A表示Passive裝置、已從Active裝置收到TR_REQ信號。ON：Passive裝置已做好Handoff之準(zhǔn)備。OFF：Passive裝置尚未做好Handoff之準(zhǔn)備。當(dāng)確認(rèn)到Active裝置之TR_REQ=ON後、Passive裝置即將本信號ON。當(dāng)確認(rèn)到Handoff結(jié)束且Active裝置之COMPT=ON後、Passive裝置即將本信號OFF。BUSY(=BusyforTransfer)Handoff進(jìn)行中A?P表示Active裝置、正進(jìn)行Handoff中。ON：正進(jìn)行Handoff中。OFF：非進(jìn)行Handoff中。Passive裝置在READY=ON狀態(tài)、可開始進(jìn)行Handoff時、Active裝置將使本信號ON。Handoff中Passive裝置不可進(jìn)行任何物理性動作。當(dāng)Passive裝置將L_REQ（或U_REQ）信號OFF、結(jié)束Handoff時、Active裝置即將本信號OFF。（此時、把持裝置需退出至干涉區(qū)域之外）COMPT(=CompleteTransfer)Handoff結(jié)束A?P表示Active裝置已結(jié)束Handoff操作。ON：已結(jié)束Handoff。OFF：尚未結(jié)束Handoff。當(dāng)結(jié)束Handoff操作時（Active裝置將BUSY信號OFF）、Active裝置即將本信號ON。Passive裝置在確認(rèn)到READY=OFF後、Active裝置即將本信號OFF。CONT(=ContinuousHandoff)連續(xù)HandoffA?P表示有連續(xù)Handoff。ON：表示連續(xù)Handoff持續(xù)中。OFF：無連續(xù)Handoff。當(dāng)有連續(xù)Handoff時、根據(jù)最初移載時Passive裝置之BUSY=ONActive裝置即將本信號ON、根據(jù)最後移載時Passive裝置之BUSY=ON、Active裝置即將本信號OFF?！鵒HT系統(tǒng)中、現(xiàn)在不使用本信號。HO_AVBL(=HandoffAvailable)可HandoffP?A表示Passive裝置裝置可進(jìn)行Handoff。又亦有表示Passive裝置存在某種異常之情形。ON：可配合Handoff。OFF：存在某種異常無法配合Handoff。本信號係在開始進(jìn)行Handoff操作前、向Active裝置表示Passive裝置之狀態(tài)。當(dāng)Passive裝置正常時、本信號為ON。當(dāng)Passive裝置檢測到CS_0信號所指定之Loadport存在某種異常時、藉由Active裝置將VALID信號ON或TR_REQ信號ON、Passive裝置即將本信號OFF。又當(dāng)檢測到該P(yáng)assive裝置之其他Loadport有異常時、本信號亦可能OFF。所謂異常係指?無正確地進(jìn)行載體檢測。?Passive裝置一直停留於ManualMode。?Passive裝置無法配合Handoff之狀態(tài)。ES(=EmergencyStop)緊急停止P?A係要求緊急停止Active裝置之動作。ON：正常操作OFF：要求緊急停止當(dāng)Passive裝置判斷為危險狀況時、為立即停止Handoff而將本信號OFF。所謂危險狀況係指?恐傷及資源或製造物時。?對作業(yè)工程會造成傷害之情形。?發(fā)生Handoff?Interlock異常之情形。?當(dāng)按下Passive裝置側(cè)之ES(或EMO)按鈕時。通常、Active裝置在VALIDON～OFF之間監(jiān)測本信號。InterlockTimeoutActive裝置側(cè)之Timer（TA=TimerofActiveequipment）及Passive裝置側(cè)之Timer（TP=TimerofPassiveequipment）如表及表所示。各Timer、係以檢測裝載/卸載時Interlock之異常為目的。表Active裝置所監(jiān)視之TimerTimer監(jiān)視Timer之期間範(fàn)圍（秒）預(yù)設(shè)值（秒）TA1VALIDON―L_REQONVALIDON―U_REQON1-9992TA2TR_REQON―READYON1-9992TA3COMPTON―READYOFF1-9992表Passive裝置所監(jiān)視之TimerTimer監(jiān)視Timer之期間範(fàn)圍（秒）預(yù)設(shè)值（秒）TP1L_REQON―TR_REQONU_REQON―TR_REQON1-9992TP2READYON―BUSYON1-9992TP3BUSYON―CARRIERDETECT（卸載移載開始?至檢測到載體為止）BUSYON―CARRIERREMOVE（裝載移載開始?至取走載體為止）1-99960TP4L_REQOFF―BUSYOFFU_REQOFF―BUSYOFF1-99960TP5READYOFF―VALIDOFF1-9992通信程序裝載移載裝載移載時PhotoI/O之TimingChart如圖所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內(nèi)容如表所示。圖裝載移載時之TimingChart⑨信號名⑨信號方向Timing⑧①CS_0⑧①Active裝置?Passive裝置②VALID②④TR_REQ④⑥BUSY⑥???⑩COMPT???⑩?⑤READY?⑤Passive裝置?Active裝置L_REQ③⑦U_REQ③⑦HO_AVBLESTP5TP4TP2TP1TA3TA2TA1TimerTP5TP4TP2TP1TA3TA2TA1Active裝置TimerPassive裝置TimerTP3結(jié)束移載載體離開PortActive裝置到達(dá)通信開始TP3結(jié)束移載載體離開PortActive裝置到達(dá)通信開始結(jié)束通信裝載移載開始圖裝載移載時之通信內(nèi)容Step信號名信號方向動作說明①CS_0ONA?P當(dāng)Active裝置到達(dá)要進(jìn)行裝載移載之Passive裝置時、即使用CS_0信號來指定移載對象之Loadport。②VALIDONA?P表示可與以CS_0信號所指定之Loadport進(jìn)行通信。③U_REQONP?A在完成從Passive裝置之Loadport使FOUP卸載（Active裝置進(jìn)行裝載移載）之準(zhǔn)備時、即將U_REQ信號ON。④TR_REQONA?PActive裝置對Passive裝置側(cè)要求開始移載。⑤READYONP?APassive裝置側(cè)對Active裝置表示已完成移載之準(zhǔn)備。⑥BUSYONA?P開始移載。⑦U_REQOFFP?A當(dāng)從Loadport上FOUP被完全取走時、Passive裝置側(cè)即將U_REQ信號OFF。⑧BUSYOFFA?P當(dāng)結(jié)束移載操作且脫離與Passive裝置側(cè)干涉之區(qū)域時、即將BUSY信號OFF。⑨TR_REQOFFA?P當(dāng)BUSY信號OFF時、即將本信號OFF。⑩COMPTONA?P通知Passive裝置已結(jié)束裝載移載。?READYOFFP?A當(dāng)確認(rèn)到COMPT信號ON後、即將本信號OFF。?COMPTOFFA?P當(dāng)確認(rèn)到READY信號OFF後、即將本信號OFF。?VALIDOFFA?P當(dāng)確認(rèn)到READY信號OFF後、即將本信號OFF。此時、即結(jié)束Active裝置?Passive裝置之通信。?CS_0OFFA?P當(dāng)確認(rèn)到READY信號OFF後、即將本信號OFF。卸載移載卸載移載時PhotoI/O之TimingChart如圖所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內(nèi)容如表所示。圖卸載移載時之TimingChart⑨信號名⑨信號方向Timing⑧①CS_0⑧①Active裝置?Passive裝置②VALID②④TR_REQ④⑥BUSY⑥???⑩COMPT???⑩?⑤READY?⑤Passive裝置?Active裝置L_REQ⑦③U_REQ⑦③HO_AVBLESTP5TP4TP2TP1TA3TA2TA1TimerTP5TP4TP2TP1TA3TA2TA1Active裝置TimerPassive裝置Timer載體正確地移至Port上TP3結(jié)束移載Active裝置到達(dá)開始通信載體正確地移至Port上TP3結(jié)束移載Active裝置到達(dá)開始通信結(jié)束通信開始卸載移載表卸載移載時之通信內(nèi)容Step信號名信號方向動作說明①CS_0ONA?P當(dāng)Active裝置到達(dá)要進(jìn)行卸載移載之Passive裝置時、即使用CS_0信號來指定移載對象之Loadport。②VALIDONA?P表示可與以CS_0信號所指定之Loadport進(jìn)行通信。③L_REQONP?A自完成將FOUP從Passive裝置之Loadport裝載（Active裝置進(jìn)行卸載移載）之準(zhǔn)備時、即將L_REQ信號ON。④TR_REQONA?PActive裝置對Passive裝置側(cè)要求開始移載。⑤READYONP?APassive裝置對Active裝置表示已完成移載準(zhǔn)備。⑥BUSYONA?P開始移載。⑦L_REQOFFP?A當(dāng)FOUP正確地裝載於Loadport上時、Passive裝置側(cè)即將L_REQ信號OFF。⑧BUSYOFFA?P在結(jié)束移載操作且脫離與Passive裝置側(cè)之干涉區(qū)域時、即將BUSY信號OFF。⑨TR_REQOFFA?P當(dāng)BUSY信號OFF時、即將本信號OFF。⑩COMPTONA?P通知Passive裝置側(cè)已結(jié)束卸載移載。?READYOFFP?A當(dāng)確認(rèn)到COMPT信號ON後、即將本信號OFF。?COMPTOFFA?P當(dāng)確認(rèn)到READY信號OFF後、即將本信號OFF。?VALIDOFFA?P當(dāng)確認(rèn)到READY信號OFF後、即將本信號OFF。此時、即結(jié)束Active裝置?Passive裝置之通信。?CS_0OFFA?P當(dāng)確認(rèn)到READY信號OFF後、即將本信號OFF。異常檢測以下舉例說明OHT系統(tǒng)在Handoff中發(fā)生異常之模式。移載動作開始前之異常1)OHV雖已到達(dá)對象Port、但不開始進(jìn)行移載而立即通過。原因：裝置尚未完成移載準(zhǔn)備（ManualMode等）或在異常狀態(tài)。信號變化：一直處於HO_AVBL=OFF或ES=OFF之狀態(tài)（亦可能兩者皆O(shè)FF）。信號名信號方向TimingCS_0OHV?裝置VALIDREADY裝置?OHVHO_AVBLES動作內(nèi)容由於HO_AVBL由於HO_AVBL為OFF故結(jié)束通信OHV到達(dá)開始通信追記：若該Loadport未經(jīng)Teaching亦會有同樣現(xiàn)象、而未執(zhí)行E84I/F即結(jié)束搬送。2)已到達(dá)對象Port、雖短暫待機(jī)但未開始進(jìn)行移載即通過。原因：裝置尚未完成移載準(zhǔn)備等。或在READY=ON前HO_AVBL=OFF。信號變化：TA1或TA2發(fā)生Timeout後、使OHV側(cè)之信號全部OFF。（以下之TimingChart中、為在TA2Timeout時。）信號名信號方向TimingCS_0OHV?裝置VALIDTR_REQBUSYREADY裝置?OHVL_REQU_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1TP1TA2TA1OHVTimer裝置Timer動作內(nèi)容結(jié)束通信等待READYON結(jié)束通信等待READYONTA2TimeoutOHV到達(dá)開始通信移載動作中之異常開始裝載移載1)在Gripper升降中或開閉中OHV變成異常狀態(tài)、而中止移載動作。開始裝載移載a)OHV檢測到異常。原因：在OHV發(fā)生了某種異常（偏離Teaching位置/搖晃檢知/在荷ON?OFF變化等）。信號變化：使OHV側(cè)之信號全部OFF之後、使HO_AVBL=OFF或ES=OFF。（亦有兩者皆O(shè)FF之情形、依裝置規(guī)格而不同。）信號名信號方向TimingCS_0OHV?裝置VALIDTR_REQBUSYREADY裝置?OHVU_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1TP1TA2TA1OHVTimer裝置Timer動作內(nèi)容發(fā)生異常（OHV）緊急停止TP2發(fā)生異常（OHV）緊急停止TP2OHV到達(dá)開始通信b)裝置檢測到異常。原因：裝置因某種異常而要求緊急停止（按下EMO/在荷Sensor不一致等）。信號變化：HO_AVBL=OFF或ES=OFF。（亦有兩者皆O(shè)FF之情形、依裝置規(guī)格而不同。）信號名信號方向TimingCS_0OHV?裝置VALIDTR_REQBUSYREADY裝置?OHVU_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1TP1TA2TA1OHVTimer異常結(jié)束異常結(jié)束裝置Timer動作內(nèi)容發(fā)生異常（裝置發(fā)生異常（裝置）緊急停止TP2OHV到達(dá)通信開始2）結(jié)束卸載後、Gripper打不開。原因：Loadport之在荷狀態(tài)與動作狀態(tài)不一致。（卸載移載雖已結(jié)束但L_REQ並未OFF。）信號變化：TP3發(fā)生Timeout後、OHV亦一直等待L_REQ=ON?OFF。信號名信號方向TimingCS_0OHV?裝置VALIDTR_REQBUSYREADY裝置?OHVL_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1TP1TA2TA1OHVTimerTP3TP3裝置Timer動作內(nèi)容等待L_REQOFFTP3Timeout卸載移載開始等待L_REQOFFTP3Timeout卸載移載開始FOUP已正確放置在Port上OHV到達(dá)通信開始TP2移載動作後之異常1)結(jié)束裝載/卸載移載後、短暫停留後重新開始移動。原因：裝置側(cè)未確認(rèn)到OHV之移載結(jié)束通知。或確認(rèn)過遲。（COMPT=ON之後、超過指定時間亦未READY=OFF。）信號變化：發(fā)生TA3Timeout後、OHV重新開始移動。（發(fā)生輕度異常。）信號名信號方向TimingCS_0OHV?裝置VALIDTR_REQBUSYCOMPTREADY裝置?OHVU_REQHO_AVBLESTimerTP4TP2TP1TA3TA2TA1TP4TP2TP1TA3TA2TA1OHVTimer裝置Timer動作內(nèi)容等待READYOFFTA3TimeoutFOUP等待READYOFFTA3TimeoutFOUP已不在Port上裝載移載開始OHV到達(dá)通信開始TP3異常結(jié)束GO信號?OFF變化1)突然異常結(jié)束。原因：Device破損、Sensor光遮斷、外部光之干涉等。信號變化：GO信號產(chǎn)生ON?OFF變化、通信中之所有信號皆被Reset。其後即不再進(jìn)行通信。信號名信號方向TimingCS_0OHV?裝置VALIDTR_REQBUSYREADY裝置?OHVU_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1TP1TA2TA1OHVTimer裝置Timer動作內(nèi)容GO信號OFFGO信號OFF信號RestTP2OHV到達(dá)通信開始※GO信號…係用來確認(rèn)光信號被正確地被接收的信號。光信號受信時ON光路遮斷時(非受信時)OFF異常之復(fù)舊以下說明OHT系統(tǒng)之復(fù)舊方法。①收集OHV之EventLog以探尋異常原因。（最好從發(fā)生現(xiàn)狀及Log來判斷。）找出異常模式後再進(jìn)行復(fù)舊作業(yè)。OHV之復(fù)舊如以下所示。自ST停止後到等待READY=ON期間裝置若將HO_AVBL=OFF時、OHV即結(jié)束E84程序並自動進(jìn)行復(fù)舊後再開始移動。TA3Timeout發(fā)生後亦進(jìn)行同樣之處理。（移載中若OFF時、即進(jìn)行與bと相同之處理。）當(dāng)移載動作中裝置將ES=OFF時、OHV即立刻停止並顯示異常Code後、即等待人工復(fù)舊作業(yè)。（將OHVRet並進(jìn)行再入線。）若以上述操作仍無法復(fù)舊時、由於有可能是Hard/Soft之問題因此須進(jìn)行OHV及周邊機(jī)器之調(diào)查?！b置之異常復(fù)舊方法、由於依各裝置系統(tǒng)其Process時間、缺陷模式以及復(fù)舊程序均不同、因此本書不加以規(guī)定。注意事項(xiàng)為維持雙向通信、須注意以下各點(diǎn)。①使OHV側(cè)?裝置側(cè)之兩Device的投光部經(jīng)常相對向。②確保光路避免外部光產(chǎn)生干涉。Connector及各信號之分配Passive裝置側(cè)Connector之型式、係遵循ISO4902採用DB-25Socket（母）型式。1）電氣信號之規(guī)格Active/PassiveON狀態(tài)電流電壓OFF狀態(tài)電流電壓輸入Max10mAMaxVdcMax200μAMax30Vdc輸出Max25mASinkMaxVdcMax100μASourceMax30Vdc電源電壓：+24Vdc(Min.+18Vdc,Max.+30Vdc)/100mA.2)Interlock信號之分配Active裝置?Passive裝置間之Interlock信號之分配如圖所示。又、各Connector之規(guī)格如圖及圖所示。圖信號Bit分配※1NC(NotConnected)…未使用※2Reserved…依裝置之不同有可能被使用之Pin。E84PI/O中則未使用。12345678123456781234567812345678PassiveL_REQU_REQNC※1READYNC※1NC※1HO-AVBLESVALIDCS_0CS_1NC※1TR_REQBUSYCOMPTCONTInputOutputL_REQU_REQNC※1NC(NotConnected)…未使用※2Rese