潔凈室及其控制技術(shù)課件

潔凈室及其控制技術(shù)潔凈室及其控制技術(shù)什么是潔凈室？潔凈室Cleanroom:空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制?！訥B50073-2001《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質(zhì)污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機物等)，因為這些污染源可以造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進行，以盡量將污染源和硅片隔離。背景第1節(jié)潔凈室定義、分類與應(yīng)用

什么是潔凈室？潔凈室Cleanroom:空氣懸浮粒子濃度受控半導(dǎo)體工廠潔凈室示意圖5.2

m5.2

m4.8

m5.5

m1.310m(33ft)10m(33ft)72m(236,2ft)0.0m22m(74ft)樓梯間回風(fēng)Cl.100turbulent回風(fēng)區(qū)工藝真空管路補充氣體工藝原料供應(yīng)主管路洗滌塔排風(fēng)扇工藝原料主供應(yīng)系統(tǒng)Level1LowerSubfabLevel2Level30.6m排風(fēng)扇鋼結(jié)構(gòu)微環(huán)境（Class1,SMIF靜壓箱水泥覆蓋防水保溫鍍鋅浪板獨立過濾風(fēng)扇天花吊頂系統(tǒng)高架地板架子格鋼結(jié)構(gòu)特殊氣體氣柜無塵電梯人員操作區(qū)（Class100)半導(dǎo)體工廠潔凈室示意圖5.2m5.2m4.8m5.5根據(jù)潔凈的程度一般凈化，粗效過濾器。中等凈化，粗、中效過濾器。超凈凈化，粗、中、高三級效過濾器。根據(jù)潔凈室的用途工業(yè)潔凈室，控制非生物微粒的污染。

生物潔凈室，控制生物微粒的污染。

一般生物潔凈室隔離生物潔凈室第1節(jié)潔凈室定義、分類與應(yīng)用

根據(jù)潔凈的程度第1節(jié)潔凈室定義、分類與應(yīng)用

根據(jù)氣流流型單向流非單向流混合流第1節(jié)潔凈室定義、分類與應(yīng)用

根據(jù)氣流流型第1節(jié)潔凈室定義、分類與應(yīng)用

第2節(jié)空氣潔凈度標準與控制對象控制對象：最小微粒直徑，微粒數(shù)量。一、控制的最小粒徑（1）生產(chǎn)的機械角度考慮；（2）白熾燈作光源的散射光式粒子計數(shù)器測試；（3）大規(guī)模集成電路生產(chǎn)要求控制0.1μm。二、控制的微粒數(shù)量原則：（1）現(xiàn)有措施能達到；（2）經(jīng)濟上能明顯區(qū)別；（3）記憶方便。第2節(jié)空氣潔凈度標準與控制對象控制對象：最小微粒直徑，微三、被控制的含塵濃度的具體規(guī)定1、何狀態(tài)下的含塵濃度動態(tài)、靜態(tài)、空態(tài)2、何范圍內(nèi)的含塵濃度離地0.8~1.5m高的區(qū)域。潔凈度的控制對象三、被控制的含塵濃度的具體規(guī)定潔凈度的控制對象空氣潔凈度標準2.1潔凈度等級標準（工程中所依據(jù)的各項標準和規(guī)范）空氣潔凈度：潔凈空氣中含塵量多少的程度（即含塵濃度）。1、美國空軍技術(shù)條令世界上第一個潔凈度標準。1961年3月問世。美國聯(lián)邦標準的基石。2、美國聯(lián)邦標準2091963年12月問世。0.5μm5.0μm3、美國聯(lián)邦標準FS209E空氣潔凈度標準2.1潔凈度等級標準（工程中所依據(jù)的各項標表2-1

美國聯(lián)邦標準（USAFederalStandard）209E（1992年）潔凈度級別Cleanclass粒徑ParticlesSize(μm)與等級限值（個/ft3

）≥0.1μm≥0.2μm≥0.3μm≥0.5μm≥5.0μm1級35.07.503.001NA10級35075.030.010NA100級NA750300100NA1000級NANANA10007.010000級NANANA1000070.3100000級NANANA100000700表2-1

美國聯(lián)邦標準（USAFederalStanda潔凈室的潔凈度是如何確定的？10000000001101001000100001000000.010.1110顆粒直徑（μm）顆粒數(shù)量（個）Class1Class10Class100Class1000Class100000.51立方英尺為單位空間直徑0.5微米的塵埃粒子為比較標準Class1：大于0.5微米的粒子少于1個Class10：大于0.5微米的粒子少于10個Class100：大于0.5微米的粒子少于100個Class1000：大于0.5微米的粒子少于1000個Class10000：大于0.5微米的粒子少于10000個潔凈室的潔凈度是如何確定的？1000000000110100等級名稱等級限值0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5μm國際單位英制單位/m3/ft3/m3/ft3/m3/ft3/m3/ft3/m3/ft3M1

3509.9175.72.1430.90.875100.283

M1.511240352657.5106335.31

M2

350099.175721.43098.751002.83

M2.510124035026507510603035310

M3

350009917570214309087.5100028.3

M3.5100

26500750106003003530100

M4

75700214003090087510000283

M4.51000

3530010002477M5

100000283061817.5M5.510000

35300010000247070M6

1000000283006180175M6.5100000

353000010000024700700M7

10000000283000618001750表2-1

美國聯(lián)邦標準（USAFederalStandard）209E（1992年）等級名稱等級限值0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5μ各種要求粒徑d的粒子最大允許濃度由公式確定。FS209E英制單位制計算公式：式中：N——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度（pc/ft3）

Nc——潔凈度等級

d——要求的粒徑（μm），其值為[0.1~5.0]。

0.5——常數(shù)，其量綱為μm。FS209E國際單位制計算公式：式中：CM——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度（pc/m3）

M——潔凈度等級各種要求粒徑d的粒子最大允許濃度由公式確定。FS209E國際

某潔凈室用≥0.2μm粒徑的粒子檢驗，允許濃度限制為7.5×104個/m3，相當于美國聯(lián)邦標準209E國際單位制M多少級？某潔凈室用≥0.2μm粒徑的粒子檢驗，允許濃度限制為7表2-2

潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級ISO14644-1、GB50073-2001空氣潔凈度等級(N)大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um1102

210024104

31000237102358

4100002370102035283

51000002370010200352083229610000002370001020003520083202937

3520008320029308

3520000832000293009

352000008320000293000表2-2

潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級大于或等于各種要求粒徑D的粒子最大允許濃度Cn由公式確定。式中：Cn——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度（pc/m3）；Cn是以四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位。

N——潔凈度等級，數(shù)字不超出9，潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量。

D——要求的粒徑（μm），其值為[0.1~5.0]。

0.1——常數(shù)，其量綱為μm。各種要求粒徑D的粒子最大允許濃度Cn由公式確定。

某潔凈室用≥0.2μm粒徑的粒子檢驗，允許濃度限制為7.5×104個/m3，相當于《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》多少級？某潔凈室用≥0.2μm粒徑的粒子檢驗，允許濃度限制為7潔凈度等級標準我國1、《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GBJ73-842、現(xiàn)在標準中國國家標準GB50073-2001（等同采用國際標準ISO14644-1）特點：與舊規(guī)范相比，控制粒徑2種增加到6種；4個級別增加到9個級別。另，允許采用整數(shù)間的中間級別。潔凈度等級標準我國塵埃粒子直徑的示意圖塵埃粒直徑（單位：μm）0.00010.0010.010.11.010100100010000香煙的煙顏料煙硅砂花粉植物孢子水泥人的頭發(fā)重工業(yè)發(fā)出的粒子病毒細菌化學(xué)物質(zhì)0.5μm塵埃粒子直徑的示意圖塵埃粒直徑（單位：μm）0.00010.在太平洋中游弋的一條鰹魚以ISO1級的潔凈度為例來計算潔凈度1級的上限是1m3空氣中0.1μm粒子＜10個，

即浮游粒子在空氣中的體積比：根據(jù)世界地理知識，可查到太平洋的面積為16500萬km2、平均深度為4282m、體積為70700萬km3。一條鰹魚的體積大約為0.004m3即一條鰹魚在太平洋中的體積比：在太平洋中游弋的一條鰹魚以ISO1級的潔凈度為例來計算生物潔凈室相關(guān)標準1、美國航空航天管理局《潔凈室和潔凈工作臺微生物控制標準》2、現(xiàn)在標準醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房空氣潔凈度標準GMP-97。生物潔凈室相關(guān)標準潔凈度級別Cleanclass塵埃最大允許數(shù)/立方米Maximumpermitquantityofparticlespercubicmetre微生物最大允許數(shù)

Maximumpermitquantityofmicroorganism≥0.5um≥5um浮游菌個/立方米沉降菌個/皿.30min100350005110000350,0002,00010031000003,500,00020,0005001030000010,500,00061,800NA15中國藥品生產(chǎn)潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度標準

注1：大于100000級的參數(shù)是參考美國聯(lián)邦標準潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)空氣浮游粒子潔凈等級；

注2：空氣潔凈度的測試以靜態(tài)條件為依據(jù)，測試方法應(yīng)符合國家醫(yī)藥管理工業(yè)潔凈室和潔凈區(qū)懸浮粒子的測試方法》中有關(guān)規(guī)定；

注3：對于空氣潔凈度為100級的潔凈室，室內(nèi)大于等于5μm塵粒的計數(shù)，應(yīng)進行多次采樣，當其多次出現(xiàn)時，方可認為該測試數(shù)值是可靠的。潔凈度級別Cleanclass塵埃最大允許數(shù)/立方米Ma第3節(jié)潔凈室的工作原理及其應(yīng)用潔凈室控制微粒污染的主要途徑：

1.控制污染源，減少污染發(fā)生量；

2.迅速有效地排除室內(nèi)已經(jīng)發(fā)生的污染；

3.有效地阻止室外的污染侵入。（或有效地防止室內(nèi)污染逸至室外）第3節(jié)潔凈室的工作原理及其應(yīng)用潔凈室控制微粒污染的主要潔凈室的四原則1、增大換氣次數(shù)2、設(shè)備發(fā)塵部位應(yīng)有排氣3、室內(nèi)的氣流形式應(yīng)使得灰塵難以在產(chǎn)品上附著不將灰塵帶入不讓灰塵產(chǎn)生不讓灰塵堆積迅速排除灰塵1、過濾器本身及外框無漏風(fēng)2、潔凈室需保持一定的正壓3、作業(yè)人員需穿潔凈服并經(jīng)風(fēng)淋4、帶入的工具、材料等必須擦洗干凈1、正確穿著潔凈服2、不使用容易發(fā)塵的物品及材料3、減少不必要的人員走動4、不用的物品嚴禁帶入1、清掃作業(yè)不留死角，特別是不易清掃的角落和設(shè)備周圍2、盡量減少風(fēng)管、配管暴露于潔凈室內(nèi)3、實施標準化的清掃作業(yè)潔凈室的四原則1、增大換氣次數(shù)不將灰塵帶入不讓灰塵產(chǎn)生不讓灰潔凈室的潔凈度是如何維持的？CoolingCoil干式冷盤管Fab生產(chǎn)層Sub-Fab下技術(shù)層Chamber回風(fēng)靜壓室Shaft回風(fēng)井道FanFilterUnit風(fēng)機過濾單元Cleanroom潔凈室Chamber回風(fēng)靜壓室AHU空調(diào)機Duct風(fēng)管過濾、送風(fēng)量、壓力梯度、氣流組織潔凈室的潔凈度是如何維持的？CoolingCoilFabSHEPAFilter高效過濾器——HighEfficiencyParticulateAirFilter密封條外框過濾器介質(zhì)波浪型隔離體褶皺狀濾紙外框熱溶膠熱溶膠（多處加工）外框濾紙ULPAFilter高效過濾器——UltraLowPenetration

AirFilter灰塵是如何去除的呢？HEPAFilter高效過濾器——密封條外框過濾器介質(zhì)波浪過濾器去除灰塵的效率如何呢？（舉例）名稱灰塵粒徑捕集率HEPA高效0.30μm99.97～99.999％ULPA超高效99.9995%以上0.15μm過濾器去除灰塵的效率如何呢？（舉例）名稱灰塵粒徑捕集率HEP灰塵又是如何產(chǎn)生的呢？25357825空氣中漏入原料中帶入設(shè)備運轉(zhuǎn)產(chǎn)生生產(chǎn)過程產(chǎn)生人員因素造成——摘自GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》灰塵又是如何產(chǎn)生的呢？25357825空氣中漏入原料中帶入設(shè)除了灰塵還要防止什么呢？酸、堿——SOX、NH3、HCl、HF等有機物——VOC→DBP等摻雜物——P、B等金屬物——Al、Cu、W等除了灰塵還要防止什么呢？酸、堿——SOX、NH3、HCl、H這些化學(xué)物質(zhì)有什么危害呢？結(jié)合不緊密金屬物氧化膜老化有機物P、N翻轉(zhuǎn)摻雜物保護層顯影不良堿性物誘發(fā)硼污染（鹽酸和PTFE反應(yīng)生成硼）酸型物危害化學(xué)物質(zhì)這些化學(xué)物質(zhì)有什么危害呢？結(jié)合不緊密金屬物氧化膜老化有機物P化學(xué)物質(zhì)又是如何產(chǎn)生的呢？大氣（農(nóng)藥）、生產(chǎn)中使用的化學(xué)品、HEPA、阻燃劑H3BO3、BF3、H3PO4、磷酸脂、有機磷摻雜性氣體Dopants大氣、生產(chǎn)中使用的化學(xué)品、可塑劑、硅烷、建材酞酸脂、硅氧烷、芳香族碳水化合物、脂肪族碳水化合物凝縮性有機物Condensables大氣、生產(chǎn)中使用的化學(xué)品、作業(yè)人員NH3、NH4OH、TMAH、TMA、TEA、HMDS、CHA堿性物質(zhì)Bases大氣、生產(chǎn)中使用的化學(xué)品SOX、NOX、HCl、H3PO4、HF、HNO3、H2SO4酸性物質(zhì)Acids主要來源化學(xué)物質(zhì)分類化學(xué)物質(zhì)又是如何產(chǎn)生的呢？H3BO3、BF3、H3PO40102030405060708090100050100150200效率％Gigasorb堿Gigasorb酸測試條件:濕度：50%溫度:20～23°C風(fēng)量：2600m3/h吸附物g化學(xué)物質(zhì)去除的效率如何呢？活性炭化學(xué)過濾器010203040506070809010005010015活性炭是如何吸附化學(xué)物質(zhì)的呢？活性炭的小孔組織有非常大量的內(nèi)表面，約1000M2/g吸附發(fā)生在活性炭的內(nèi)表面被吸附的化學(xué)分子通過擴散進入活性炭龐大的小孔組織，抵達微孔。碰撞發(fā)生在微孔表面?；钚蕴客ㄟ^它的弱吸引力有效地抓住化學(xué)分子——物理吸附活性炭表面和分子間的相互作用是較弱的，不可能留住較輕的不穩(wěn)定化學(xué)分子使用精制活性炭（酸、堿、有機）來對應(yīng)不同的化學(xué)氣體分子——化學(xué)吸附微孔微孔微孔氣流活性炭是如何吸附化學(xué)物質(zhì)的呢？活性炭的小孔組織有非常大量的內(nèi)化學(xué)過濾器和FFU的HEPA/ULPA的安裝關(guān)系風(fēng)向酸化學(xué)過濾器(C)堿化學(xué)過濾器(A)有機化學(xué)過濾器(L)FFU用ULPA過濾器化學(xué)過濾器和FFU的HEPA/ULPA的安裝關(guān)系風(fēng)向酸化學(xué)過有了HEPA、ULPA，還要進行新風(fēng)的空氣凈化（濕度控制）后過濾器除5μm以上顆粒（效率82％以上）預(yù)熱盤管冬季空氣預(yù)熱初效過濾器除5μm以上顆粒（效率75％以上）中效過濾器除1μm以上顆粒（效率90％以上）化學(xué)過濾器除H2S、SOX、NOX、除HCl、NH3除Cl2、O3、HEPA過濾器除0.1μm以上顆粒（效率99.999％以上）再熱盤管加熱空氣調(diào)整溫、濕度溫度：21.5±0.5℃濕度：40±15％水噴淋段除氨除懸浮物加濕空氣新風(fēng)冷卻盤管冷卻空氣除濕至露點溫度溫度：10℃濕度：100％變頻風(fēng)機排氣風(fēng)量補充泄漏風(fēng)量補充金屬網(wǎng)防鳥防蟲防漂浮物空氣溫度：-5~40℃濕度：0~100％SO2：10～120mg/M3

NO2：10～150mg/M3可吸入顆粒：

10～200mg/M3大氣含塵計數(shù)濃度：1.3×108個/M3

溫度：21.5±0.5℃濕度：40±15％潔凈度：約Class1等濕升溫（冬季工況）等焓加濕冷卻除濕等濕升溫等焓加濕（夏季工況）冷卻除濕等濕升溫有了HEPA、ULPA，還要進行新風(fēng)的空氣凈化（濕度控制）后一、原理

當一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內(nèi)時，迅速向四周擴散、混合。同時把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風(fēng)口排走，這股干凈氣流稀釋著室內(nèi)污染的空氣，把原來含塵濃度很高的室內(nèi)空氣沖淡了，一直達到平衡。所以氣流擴散的越快，越均勻，那么稀釋的效果當然越好。特點：從來流到出流之間氣流的流通斷面是變化的。流態(tài)實質(zhì)：非均勻流（急變流）非單向流（亂流）潔凈室潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)及其氣流組織形式一、原理非單向流（亂流）潔凈室潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)及其氣流組織形二、氣流組織高效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板）；流線型散流器頂送；局部孔板送風(fēng)；側(cè)送。非單向流（亂流）潔凈室二、氣流組織非單向流（亂流）潔凈室利用風(fēng)管上送側(cè)排為非單向流潔凈室易控制大范圍的空氣流動利用風(fēng)管上送側(cè)排直接利用空調(diào)箱側(cè)送側(cè)回不能形成同一方向氣流，是亂流適合潔凈度要求不高的潔凈室利用風(fēng)管和地板上送下回為混合流潔凈室適合有較高潔凈度和較大熱負荷要求的潔凈室但必須確保架空地板高度Cleanroom潔凈室直接利用空調(diào)箱側(cè)送側(cè)回利用風(fēng)管和地板上送下回Cleanroo三、效果

根據(jù)非單向流潔凈室的工作原理，它可以達到的潔凈度一般為1000~10000（6-7）級，如果設(shè)計合理，部分情況下可達100（5）級。室內(nèi)換氣次數(shù)越大，一般來說，所得潔凈度也越高。100000級潔凈室，換氣次數(shù)小于20次/小時10000級潔凈室，換氣次數(shù)20-60次/小時1000級潔凈室，換氣次數(shù)60-150次/小時非單向流（亂流）潔凈室三、效果非單向流（亂流）潔凈室一、基本原理

在單向流潔凈室內(nèi)，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面，所以這種潔凈室不是靠摻混作用，而是靠推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排至室外，從而達到凈化室內(nèi)空氣的目的。二、特點（1）全室斷面上的流速比較均勻。（2）至少在工作區(qū)內(nèi)流線平行。流線平行指時均流線彼此平行。（3）至少在工作區(qū)內(nèi)沒有渦流。單向流（層流）潔凈室潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)及其氣流組織形式一、基本原理單向流（層流）潔凈室潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)及其氣流組織單向流（層流）潔凈室三、單向流潔凈室的分類1、垂直單向流潔凈室（1）頂棚滿布高效過濾器送風(fēng)，全地板格柵回風(fēng)典型的垂直單向流潔凈室優(yōu)點：可獲得均勻向下的單向氣流，因而自凈能力強，能夠達到最高的潔凈度級別。缺點：頂棚結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，造價和維護費用高，高效過濾器堵漏較困難。單向流（層流）潔凈室三、單向流潔凈室的分類利用FFU和地板上送下回易形成垂直單向流適合有較高潔凈度要求的潔凈室但必須確保架空地板高度利用FFU和地板上送下回氣流組織：（1）頂棚滿布高效過濾器送風(fēng)，全地板格柵回風(fēng)（2）側(cè)布高效過濾器頂棚阻尼層送風(fēng)，全地板格柵回風(fēng)（3）頂棚和側(cè)面雙布高效過濾器送風(fēng)，全地板格柵回風(fēng)（4）全頂棚送風(fēng)，兩側(cè)下回風(fēng)單向流（層流）潔凈室氣流組織：單向流（層流）潔凈室2、水平單向流潔凈室單向流（層流）潔凈室（1）送風(fēng)墻滿布高效過濾器水平送風(fēng)，全墻面回風(fēng)（2）“隧道”式單向流送風(fēng)2、水平單向流潔凈室單向流（層流）潔凈室（1）送風(fēng)墻滿布高混合流潔凈室混合流潔凈室《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定：1-4級應(yīng)垂直單向流5級應(yīng)垂直單向流或水平單向流6-9級宜非單向流《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定：潔凈室的構(gòu)造是怎樣的？低中高設(shè)備費用循環(huán)風(fēng)量較少運行成本最低對生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱、排熱進行分別處理，可以降低運行成本生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱即為空調(diào)的熱負荷，運行成本最高運行成本20－50次/h通道內(nèi)200－400次/h，下降風(fēng)速0.25-0.45m/s；其它區(qū)域100－200次/h400－500次/h、下降風(fēng)速0.45m/s換氣次數(shù)10,000～100,000級室內(nèi)潔凈度不高易受作業(yè)人員的活動而導(dǎo)致潔凈度下降1～10,000級潔凈通道內(nèi)為高潔凈度區(qū)域可以減少作業(yè)人員對潔凈度的影響1～1000級室內(nèi)全部為高潔凈度區(qū)域易受作業(yè)人員的活動而導(dǎo)致潔凈度下降潔凈度潔凈室氣流方式流程圖亂流方式部分層流方式全面垂直層流方式比較項目潔凈室的構(gòu)造是怎樣的？低中高設(shè)備費用循環(huán)風(fēng)量較少對生產(chǎn)設(shè)備的氣流流型潔凈級別（級）送風(fēng)量（m/s）（次/h）耗冷指標（W/m2）投資指標（元/m2）耗電指標（W/m2）單向流垂直10100>0.25m/s1300-150010000-130001.25-1.35水平100>0.3m/s800-10005000-60000.9-1.0非單向流100050-60次/h600-7002800-30000.25-0.331000025-30次/h500-6002000-22000.22-0.2610000015-20次/h350-4001400-16000.13-0.16潔凈室的造價與運行費用不同級別潔凈室廠房的送風(fēng)量、冷量、投資、耗電指標（僅供參考）氣流流型潔凈級別送風(fēng)量耗冷指標投資指標耗電指標（W/m2）單潔凈室的溫度是如何控制的？CoolingUnit干冷盤管干冷盤管溫差小，溫度分布均勻，控制精度高主要用于小范圍作業(yè)室的溫度控制AirHandlingUnit空調(diào)機自帶循環(huán)風(fēng)機，可處理風(fēng)量較大主要用于較大范圍用力室的溫度控制潔凈室的溫度是如何控制的？CoolingUnit干冷盤管潔凈室的熱負荷從哪里來？59%8%29%4%生產(chǎn)設(shè)備動力設(shè)備其它——照明、人體、建筑物大氣熱負荷名稱1建筑物熱負荷來自建筑物外墻、屋頂?shù)?人體熱負荷來自人體的發(fā)熱3照明熱負荷來自熒光燈的輻射熱4生產(chǎn)設(shè)備熱負荷加熱器、馬達、泵等5動力設(shè)備熱負荷空調(diào)機、FFU來源No.潔凈室的熱負荷從哪里來？59%8%29%4%生產(chǎn)設(shè)備動力設(shè)備潔凈室為什么還要控制壓差？潔凈室的壓差就是使?jié)崈羰遗c周圍的空間必須維持一定的靜壓差，潔凈度不同的潔凈室之間，或潔凈室與一般房間之間保持適當?shù)膲翰钪担淠康氖菫榱吮ＷC在潔凈度等級低的區(qū)域其潔凈度遭受破壞時，潔凈度等級高的區(qū)域可以免受鄰室的污染。知道了嗎——潔凈室內(nèi)為什么要隨手關(guān)門？不同潔凈等級的潔凈室之間應(yīng)維持不小于5Pa的壓差，級別高的區(qū)域為正壓；潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間也應(yīng)維持不小于5Pa的壓差；潔凈區(qū)與室外也應(yīng)維持不小于10Pa的壓差。潔凈室為什么還要控制壓差？潔凈室的壓差就是使?jié)崈羰遗c周圍的空自動洗手裝置Airshower風(fēng)淋室Cleanbench潔凈工作臺Cleanbooth層流罩Passbox傳遞窗潔凈室配套設(shè)施——凈化設(shè)施自動洗手裝置Airshower風(fēng)淋室Cleanbench潔潔凈室配套設(shè)施——高靈敏度煙感探測器潔凈室配套設(shè)施——高靈敏度煙感探測器第4節(jié)生物潔凈室技術(shù)一般生物潔凈室隔離式生物潔凈室（生物安全實驗室）第4節(jié)生物潔凈室技術(shù)一般生物潔凈室生物潔凈室生物潔凈室定義生物潔凈室主要控制懸浮粒子生物微粒的污染。其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，房間一般保持正壓，實際上是結(jié)構(gòu)和材料允許作滅菌處理的工業(yè)潔凈室。過濾除菌消毒除菌紫外線消毒除菌生物潔凈室生物潔凈室定義過濾除菌生物潔凈室設(shè)計生物潔凈室設(shè)計的特點過濾器的選擇生物潔凈室可采用亞高效過濾器或過濾效率較低的高效過濾器作為末端過濾器。防止交叉污染的措施（1）工藝布局合理，按照GMP設(shè)計建筑（2）凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計合理生物潔凈室設(shè)計生物潔凈室設(shè)計的特點生物潔凈室設(shè)計（3）凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計合理①不同的污染氣流不要合到一起，除非各種污染氣流經(jīng)過濾處理并符合要求后。②對于產(chǎn)生劇毒性、強致敏性、高生物活性或粉塵性微粒的潔凈室，應(yīng)單獨設(shè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。③若回風(fēng)經(jīng)過濾或吸附等處理后，仍不能避免交叉污染則不要回風(fēng)。④嚴格控制房間正負壓，防止相鄰房間氣流出現(xiàn)反灌現(xiàn)象，這一點在生物潔凈室的設(shè)計及使用過程中應(yīng)特別重視。生物潔凈室設(shè)計（3）凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計合理生物潔凈室設(shè)計（4）值班系統(tǒng)設(shè)計目前許多生物潔凈廠房的工作班次為單班制，下班后，為防止室外污染物滲入潔凈室，或室內(nèi)危險氣體逸至其他房間或室外，應(yīng)設(shè)值班運行系統(tǒng)，維持房間正負壓。在潮濕環(huán)境，值班時需供冷水去除空氣水分，防止室內(nèi)表面長霉；在寒冷地區(qū)，值班時需供熱水，防止室內(nèi)儲水容器或管路凍結(jié)。生物潔凈室設(shè)計（4）值班系統(tǒng)設(shè)計生物安全實驗室確保操作生物危險因子的工作人員不受實驗對象的傷害；確保周圍環(huán)境不受其污染；確保實驗因子保持原有本性所采取綜合措施的實驗室。三項技術(shù)措施樣品隔離技術(shù)（機械、氣幕），防止傳染因子進入環(huán)境接觸人體定向流技術(shù)（三級負壓系統(tǒng)），防止傳染因子擴散消毒滅菌技術(shù)（物理、化學(xué)），滅活傳染因子生物安全實驗室確保操作生物危險因子的工作人員不受實驗對象的傷生物安全實驗室一級屏障（primarybarrier）是操作者和被操作對象之間的隔離，也稱一級隔離如生物安全柜分3級-I、II、III級個體防護裝備口罩、面具、眼鏡，防護衣、帽、褲、鞋、靴、襪、手套、正壓服等生物安全實驗室一級屏障（primarybarrier）是操

一級屏障