多晶硅鑄錠爐操作與生產(chǎn)流程課件

多晶鑄錠爐簡(jiǎn)介與硅錠生產(chǎn)流程多晶鑄錠爐簡(jiǎn)介與硅錠生產(chǎn)流程1培訓(xùn)內(nèi)容主要用途和特性設(shè)備的組成和工作原理結(jié)晶爐操作界面硅錠生產(chǎn)流程注意事項(xiàng)培訓(xùn)內(nèi)容主要用途和特性2主要用途和特性1用途：

JJL-240型多晶鑄錠爐將不規(guī)則的硅原料，裝爐后重熔,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)步定向凝固，生產(chǎn)出高質(zhì)量，標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的多晶硅硅碇。2特性：

在58小時(shí)之內(nèi)生產(chǎn)出275kg的多晶硅硅錠。在整個(gè)結(jié)晶過程中，只有一個(gè)部件運(yùn)動(dòng)，簡(jiǎn)化設(shè)備的操作性和復(fù)雜性。主要用途和特性1用途：3設(shè)備的組成和工作原理

設(shè)備的組成:

鋼結(jié)構(gòu)部件、爐體部件、加熱隔熱系統(tǒng)、真空與供氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、電源供應(yīng)及控制系統(tǒng)。設(shè)備的組成和工作原理設(shè)備的組成:41爐體部件爐體的組成主要由頂蓋、上爐體和下爐體組成，它們由雙層不銹鋼焊接形成。層與層之間留有一定間隙，便于冷卻水通過。1爐體部件爐體的組成主要由頂蓋、上爐體和下爐體52加熱隔熱系統(tǒng)

隔熱籠在上爐體內(nèi)，由上下兩層不銹鋼架組成。四周襯有碳纖維隔熱材料，主要起保溫、隔熱作用。六個(gè)銅電極從爐體上方穿入，并提供交流電給石墨電極，電極通過石墨螺栓與加熱片（呈四方形）連接。四角用轉(zhuǎn)接片連接，上部被隔熱材料覆蓋，周圍是隔熱籠。在下爐體內(nèi)，用三支石墨柱支撐著一個(gè)用雙層隔熱材料組成的平臺(tái)，在隔熱籠下降時(shí)形成一個(gè)密閉腔。在此平臺(tái)上，懸空支撐著一散熱交換臺(tái)，用于放置坩堝。2加熱隔熱系統(tǒng)隔熱籠在上爐體內(nèi)，由上下兩層63真空與供氣系統(tǒng)

真空系統(tǒng)是由機(jī)械泵、羅茨泵、安全閥等其他附件組成，當(dāng)爐內(nèi)壓力抽到0.005毫帕?xí)r才可以運(yùn)行。當(dāng)真空抽到40毫帕以下時(shí)，羅茨泵自動(dòng)開始細(xì)抽。爐內(nèi)工作壓力需維持600毫帕?xí)r，是靠機(jī)械泵抽氣作用。

氬氣進(jìn)入的量是由質(zhì)流控制器控制，抽氣量是由連接真空泵的比例調(diào)節(jié)閥調(diào)整?？諝鈮毫刂崎y用于關(guān)閉氬氣進(jìn)氣系統(tǒng)及爐體與真空系統(tǒng)分開。3真空與供氣系統(tǒng)真空系統(tǒng)是由機(jī)械泵、74冷卻系統(tǒng)爐體上部進(jìn)氣冷卻循環(huán)水分八路，F(xiàn)1，F(xiàn)2，F(xiàn)3三組對(duì)應(yīng)六個(gè)電極，F(xiàn)4進(jìn)氣法蘭，F(xiàn)5上爐體，F(xiàn)6下爐體上部，F(xiàn)7下爐體下部，F(xiàn)8真空泵。爐內(nèi)的溫度通過循環(huán)水散出，升溫后的水通過外冷卻塔進(jìn)行冷熱交換，并用水泵送回內(nèi)循環(huán)。

4冷卻系統(tǒng)爐體上部進(jìn)氣冷卻循環(huán)水分八路85電源供應(yīng)與控制系統(tǒng)

電源供應(yīng)與控制系統(tǒng)主要由電源柜和控制柜組成。電源柜包括電源開關(guān)，功率控制器等。控制柜系統(tǒng)包括工控機(jī)，SNAP智能處理器，加熱器的電源系統(tǒng)，真空系統(tǒng)控制單元，檢測(cè)單元，運(yùn)動(dòng)控制單元，系統(tǒng)供電單元。5電源供應(yīng)與控制系統(tǒng)電源供應(yīng)與控制系統(tǒng)主要由電91)工控機(jī)整個(gè)控制系統(tǒng)以工控機(jī)操作為上位機(jī)，上位機(jī)完成控制工藝的設(shè)置，控制過程中的監(jiān)控，各種反饋信息（如：溫度、水流量、隔熱區(qū)位置等）出現(xiàn)異常報(bào)警顯示，統(tǒng)計(jì)和記錄整個(gè)硅結(jié)晶過程的各種參量的變化情況并生成圖表。2）SNPA智能處理器是控制系統(tǒng)的下位機(jī)單元，是核心單元，完成對(duì)溫度的控制，真空度及充入氬氣的壓力控制，隔熱籠的提升控制，結(jié)晶的速度，水流量的檢測(cè)，并送達(dá)上位機(jī)。3）加熱器電源系統(tǒng)包括大容量的降壓變壓器以及可控硅的控制單元。4）真空系統(tǒng)控制單元包括對(duì)真空泵的控制，真空度的檢測(cè)，以及氣體流量控制。1)工控機(jī)105）檢測(cè)單元檢測(cè)單元包括溫度、水流量、隔熱籠位置等檢測(cè)。檢測(cè)器件有熱電偶，紅外測(cè)溫儀，流量計(jì)以及位置反饋編碼器組成。6）運(yùn)動(dòng)單元控制運(yùn)動(dòng)單元控制下爐體的升降運(yùn)動(dòng)、隔熱區(qū)的提升等動(dòng)作。7）系統(tǒng)供電單元系統(tǒng)電源單元包括總電源開關(guān)，控制柜內(nèi)配電保護(hù)，以及UPS等構(gòu)成。5）檢測(cè)單元11工作原理

1多晶硅鑄錠爐的工作順序分：加熱，熔化，結(jié)晶，退火，冷卻，急冷等六個(gè)步驟。加熱：七個(gè)步驟（4-5小時(shí)）熔化：十二個(gè)步驟（12-13小時(shí)）結(jié)晶：七個(gè)步驟（24-25小時(shí)）退火：三個(gè)步驟（3小時(shí)）冷卻：五個(gè)步驟（10-12小時(shí)）工作原理1多晶硅鑄錠爐的工作順序分：加熱，12通過工控機(jī)設(shè)置完成各種工藝參數(shù)和預(yù)定參數(shù)后，送達(dá)SNAP智能控制器。具體過程：將經(jīng)過SiN噴涂處理后的坩堝裝入硅原料，并放置在熱交換臺(tái)上。關(guān)閉爐體抽真空，然后通過調(diào)整可控制硅的控制單元的變壓器輸出的低電壓高電流，電流加到石墨加熱器，并通過SNAP智能控制器，自動(dòng)溫度控制，加熱若干小時(shí)以后完全熔化硅料。當(dāng)硅料完全熔化后，根據(jù)工藝要求，緩慢提升隔熱籠位置，暴露出熱交換臺(tái)，使一部分熱量散發(fā)到爐壁，通過冷卻水把爐壁熱量帶走，交換臺(tái)溫度的下降會(huì)傳到坩堝底部，使硅溶液形成垂直的溫度梯度，此溫度梯度會(huì)使硅溶液下方凝固結(jié)晶至上方。當(dāng)所有的硅液都凝固后，硅錠再經(jīng)過退火、通入氬氣、控制冷卻方式等步驟以避免硅錠出現(xiàn)內(nèi)應(yīng)力，以及減少硅錠產(chǎn)生的晶體缺陷（主要是點(diǎn)、線、面缺陷），從而提高硅錠質(zhì)量性能。（硅的導(dǎo)電性、可切割性。）通過工控機(jī)設(shè)置完成各種工藝參數(shù)和預(yù)定參數(shù)后，送達(dá)SNA13結(jié)晶爐操作界面

操作界面的組成操作界面是有報(bào)警、監(jiān)控、自動(dòng)控制、工藝、手動(dòng)控制、趨勢(shì)圖六大窗口組成。

結(jié)晶爐操作界面操作界面的組成14報(bào)警窗口最常見的主要報(bào)警有：加熱器斷開報(bào)警、丟失主電源報(bào)警、主電源缺項(xiàng)報(bào)警、隔熱籠提升故障報(bào)警、TC1熱電偶故障報(bào)警、高溫計(jì)不在原點(diǎn)上報(bào)警、UPS錯(cuò)誤報(bào)警、冷卻水流量報(bào)警等。報(bào)警窗口最常見的主要報(bào)警有：15監(jiān)控窗口在監(jiān)控窗口中可以看到系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)的狀態(tài)，包括當(dāng)前的模式，步驟，剩余時(shí)間以及當(dāng)前正在使用的工藝文件名。在屏幕上還顯示進(jìn)氣閥的設(shè)定值和實(shí)測(cè)值，出氣閥的設(shè)定值和實(shí)測(cè)值，爐內(nèi)壓力的設(shè)定值和實(shí)測(cè)值，8路水流量的實(shí)測(cè)值，隔熱籠的目標(biāo)位置和實(shí)際位置，瞬時(shí)電流、電壓、功率、通斷百分比，控制方式以及各自的設(shè)定值和實(shí)測(cè)值等。監(jiān)控窗口在監(jiān)控窗口中可以看到系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)的狀態(tài)，包括當(dāng)16自動(dòng)控制窗口自動(dòng)控制窗口主要包含自動(dòng)運(yùn)行的一些功能。操作者可以選擇正常啟動(dòng)或定時(shí)啟動(dòng)來開始一次自動(dòng)加工。只要按下自動(dòng)運(yùn)行按鈕，系統(tǒng)就會(huì)開始自動(dòng)運(yùn)行；自動(dòng)運(yùn)行開始運(yùn)行時(shí)，旁邊會(huì)出現(xiàn)一個(gè)綠色圓圖標(biāo)，指示當(dāng)前正在自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)。自動(dòng)控制窗口自動(dòng)控制窗口主要包含自動(dòng)運(yùn)行的一些功能。操作17工藝窗口工藝文件在整個(gè)系統(tǒng)中具體很重要的意義，任何一次自動(dòng)循環(huán)都是按照工世文件的設(shè)定進(jìn)行的，工藝文件的更改可以直接影響生產(chǎn)出來的硅錠質(zhì)量。工藝文件總共分四頁(yè)，操作者可以按翻頁(yè)按扭在各頁(yè)面之間切換。在一般情況下不建議不懂工藝的人員隨便修改工藝。工藝窗口工藝文件在整個(gè)系統(tǒng)中具體很重要的意義，任何一次18手動(dòng)控制窗口在手動(dòng)界面上，允許操作者對(duì)各個(gè)閥門以及電源接觸器進(jìn)行操作，更改加熱控制方式、功率設(shè)定、溫度設(shè)定等。此窗口還包含隔熱籠操作、下爐體運(yùn)行控制、慢速抽真空、維護(hù)操作等子窗口。手動(dòng)控制窗口在手動(dòng)界面上，允許操作者對(duì)各個(gè)閥門以及電源接19趨勢(shì)圖窗口趨勢(shì)圖界面顯示5個(gè)小時(shí)內(nèi)8個(gè)變量的實(shí)時(shí)變化趨勢(shì)，可以查看功率、3個(gè)熱電偶的溫度、爐腔壓力、隔熱籠位置、高溫計(jì)和報(bào)警。該趨勢(shì)圖分為實(shí)時(shí)趨勢(shì)和歷史趨勢(shì)2個(gè)部分。趨勢(shì)圖窗口趨勢(shì)圖界面顯示5個(gè)小時(shí)內(nèi)8個(gè)變量的實(shí)時(shí)變化趨勢(shì)20硅錠生產(chǎn)流程生產(chǎn)流程圖：坩堝噴涂

坩堝烘烤

檢驗(yàn)

裝料

進(jìn)爐

監(jiān)控

出爐

備料脫錠入庫(kù)硅錠生產(chǎn)流程生產(chǎn)流程圖：坩堝噴涂坩堝烘烤檢驗(yàn)裝料進(jìn)爐21坩堝噴涂步驟：

1準(zhǔn)備好250gSiN、1000mL水、放入小烘箱進(jìn)行烘烤。2打開加熱開關(guān)，待溫度升到30℃后開始噴涂。

3重復(fù)噴涂，直至SiN溶液噴完。坩堝噴涂步驟：22坩堝烘烤步驟：

1將坩堝小心抬到烘烤箱內(nèi)平放。2關(guān)閉烘箱門，鎖上鎖扣。3打開加熱按鈕進(jìn)行加熱。4烘烤時(shí)間需30多小時(shí)后使用。

坩堝烘烤步驟：23備料

步驟：

1拿好備料單到倉(cāng)庫(kù)領(lǐng)料。2按照備料單上的重量，類型，電阻率分類進(jìn)行備料。3校對(duì)重量，領(lǐng)出倉(cāng)庫(kù)。備料步驟：24檢驗(yàn)步驟：

1將領(lǐng)出的硅原料拉到檢驗(yàn)室。2按照原料的類型，電阻率進(jìn)行抽檢。3認(rèn)真記錄抽檢的數(shù)據(jù)。4發(fā)現(xiàn)問題及時(shí)通知負(fù)責(zé)人。檢驗(yàn)步驟：25裝料步驟：1用一些比較有規(guī)則的硅原料平面對(duì)坩堝四周及底部進(jìn)行護(hù)面，防止SiN涂層被破壞。2在裝料過程中，應(yīng)該輕拿輕放。3裝料盡可能以不超高為目標(biāo)。4裝料完畢后要對(duì)坩堝四壁清理。裝料步驟：26進(jìn)爐步驟：

1小心用專用叉車將裝好硅料的坩堝從小推車上升起。2使用專用叉車將坩堝放到石墨交換臺(tái)上。3放入交換臺(tái)時(shí)應(yīng)緩慢下降。4坩堝盒與交換臺(tái)四周距離41±2cm.

原料進(jìn)爐進(jìn)爐步驟：原料進(jìn)爐27監(jiān)控步驟：1合上爐體，關(guān)上夾具。2點(diǎn)慢速抽真空按鈕，慢抽真空。3檢查水，電，氣等相關(guān)輔助設(shè)備并記錄各項(xiàng)參數(shù)。4當(dāng)真空抽到0.005mbar開始運(yùn)行。5熔化第十步會(huì)有報(bào)警需人工確認(rèn)。6長(zhǎng)晶第六步會(huì)有報(bào)警需人工確認(rèn)。7長(zhǎng)晶第七步會(huì)有報(bào)警需人工確讓。監(jiān)控步驟：28出爐步驟：1打開爐體，使用專用叉車將結(jié)晶好的硅錠從爐體取出。2緩慢得將硅錠放到專用的推車上，蓋上保溫罩，拉到指定點(diǎn)。3標(biāo)注高溫，小心燙傷。出爐步驟：29脫錠入庫(kù)步驟：

1取出石墨側(cè)板，脫掉石英坩堝。2對(duì)硅錠四周進(jìn)行清理衛(wèi)生。3標(biāo)注硅錠編號(hào)入庫(kù)。脫錠入庫(kù)步驟：30注意事項(xiàng)1在生產(chǎn)過操作程中應(yīng)穿戴防護(hù)服、手套、口罩。2設(shè)備在運(yùn)行過程中，禁止隨意開、關(guān)，點(diǎn)擊操作界面。3在需要確認(rèn)熔化，透頂報(bào)警時(shí)，要通過確認(rèn)后方可跳步。長(zhǎng)角報(bào)警時(shí)按取消鍵以使這步按設(shè)定工藝走完。4遇到斷水時(shí)，應(yīng)在最短時(shí)間內(nèi)切換使用備用水以保證設(shè)備的安全。5在處理突發(fā)事件時(shí)，同時(shí)要注意人身安全。6外圍輔助設(shè)備發(fā)生故障時(shí)及時(shí)聯(lián)系當(dāng)班人員修復(fù)。注意事項(xiàng)1在生產(chǎn)過操作程中應(yīng)穿戴防護(hù)服、手套、口罩。31演講完畢，謝謝觀看！演講完畢，謝謝觀看！32

多晶鑄錠爐簡(jiǎn)介與硅錠生產(chǎn)流程多晶鑄錠爐簡(jiǎn)介與硅錠生產(chǎn)流程33培訓(xùn)內(nèi)容主要用途和特性設(shè)備的組成和工作原理結(jié)晶爐操作界面硅錠生產(chǎn)流程注意事項(xiàng)培訓(xùn)內(nèi)容主要用途和特性34主要用途和特性1用途：

JJL-240型多晶鑄錠爐將不規(guī)則的硅原料，裝爐后重熔,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)步定向凝固，生產(chǎn)出高質(zhì)量，標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的多晶硅硅碇。2特性：

在58小時(shí)之內(nèi)生產(chǎn)出275kg的多晶硅硅錠。在整個(gè)結(jié)晶過程中，只有一個(gè)部件運(yùn)動(dòng)，簡(jiǎn)化設(shè)備的操作性和復(fù)雜性。主要用途和特性1用途：35設(shè)備的組成和工作原理

設(shè)備的組成:

鋼結(jié)構(gòu)部件、爐體部件、加熱隔熱系統(tǒng)、真空與供氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、電源供應(yīng)及控制系統(tǒng)。設(shè)備的組成和工作原理設(shè)備的組成:361爐體部件爐體的組成主要由頂蓋、上爐體和下爐體組成，它們由雙層不銹鋼焊接形成。層與層之間留有一定間隙，便于冷卻水通過。1爐體部件爐體的組成主要由頂蓋、上爐體和下爐體372加熱隔熱系統(tǒng)

隔熱籠在上爐體內(nèi)，由上下兩層不銹鋼架組成。四周襯有碳纖維隔熱材料，主要起保溫、隔熱作用。六個(gè)銅電極從爐體上方穿入，并提供交流電給石墨電極，電極通過石墨螺栓與加熱片（呈四方形）連接。四角用轉(zhuǎn)接片連接，上部被隔熱材料覆蓋，周圍是隔熱籠。在下爐體內(nèi)，用三支石墨柱支撐著一個(gè)用雙層隔熱材料組成的平臺(tái)，在隔熱籠下降時(shí)形成一個(gè)密閉腔。在此平臺(tái)上，懸空支撐著一散熱交換臺(tái)，用于放置坩堝。2加熱隔熱系統(tǒng)隔熱籠在上爐體內(nèi)，由上下兩層383真空與供氣系統(tǒng)

真空系統(tǒng)是由機(jī)械泵、羅茨泵、安全閥等其他附件組成，當(dāng)爐內(nèi)壓力抽到0.005毫帕?xí)r才可以運(yùn)行。當(dāng)真空抽到40毫帕以下時(shí)，羅茨泵自動(dòng)開始細(xì)抽。爐內(nèi)工作壓力需維持600毫帕?xí)r，是靠機(jī)械泵抽氣作用。

氬氣進(jìn)入的量是由質(zhì)流控制器控制，抽氣量是由連接真空泵的比例調(diào)節(jié)閥調(diào)整。空氣壓力控制閥用于關(guān)閉氬氣進(jìn)氣系統(tǒng)及爐體與真空系統(tǒng)分開。3真空與供氣系統(tǒng)真空系統(tǒng)是由機(jī)械泵、394冷卻系統(tǒng)爐體上部進(jìn)氣冷卻循環(huán)水分八路，F(xiàn)1，F(xiàn)2，F(xiàn)3三組對(duì)應(yīng)六個(gè)電極，F(xiàn)4進(jìn)氣法蘭，F(xiàn)5上爐體，F(xiàn)6下爐體上部，F(xiàn)7下爐體下部，F(xiàn)8真空泵。爐內(nèi)的溫度通過循環(huán)水散出，升溫后的水通過外冷卻塔進(jìn)行冷熱交換，并用水泵送回內(nèi)循環(huán)。

4冷卻系統(tǒng)爐體上部進(jìn)氣冷卻循環(huán)水分八路405電源供應(yīng)與控制系統(tǒng)

電源供應(yīng)與控制系統(tǒng)主要由電源柜和控制柜組成。電源柜包括電源開關(guān)，功率控制器等?？刂乒裣到y(tǒng)包括工控機(jī)，SNAP智能處理器，加熱器的電源系統(tǒng)，真空系統(tǒng)控制單元，檢測(cè)單元，運(yùn)動(dòng)控制單元，系統(tǒng)供電單元。5電源供應(yīng)與控制系統(tǒng)電源供應(yīng)與控制系統(tǒng)主要由電411)工控機(jī)整個(gè)控制系統(tǒng)以工控機(jī)操作為上位機(jī)，上位機(jī)完成控制工藝的設(shè)置，控制過程中的監(jiān)控，各種反饋信息（如：溫度、水流量、隔熱區(qū)位置等）出現(xiàn)異常報(bào)警顯示，統(tǒng)計(jì)和記錄整個(gè)硅結(jié)晶過程的各種參量的變化情況并生成圖表。2）SNPA智能處理器是控制系統(tǒng)的下位機(jī)單元，是核心單元，完成對(duì)溫度的控制，真空度及充入氬氣的壓力控制，隔熱籠的提升控制，結(jié)晶的速度，水流量的檢測(cè)，并送達(dá)上位機(jī)。3）加熱器電源系統(tǒng)包括大容量的降壓變壓器以及可控硅的控制單元。4）真空系統(tǒng)控制單元包括對(duì)真空泵的控制，真空度的檢測(cè)，以及氣體流量控制。1)工控機(jī)425）檢測(cè)單元檢測(cè)單元包括溫度、水流量、隔熱籠位置等檢測(cè)。檢測(cè)器件有熱電偶，紅外測(cè)溫儀，流量計(jì)以及位置反饋編碼器組成。6）運(yùn)動(dòng)單元控制運(yùn)動(dòng)單元控制下爐體的升降運(yùn)動(dòng)、隔熱區(qū)的提升等動(dòng)作。7）系統(tǒng)供電單元系統(tǒng)電源單元包括總電源開關(guān)，控制柜內(nèi)配電保護(hù)，以及UPS等構(gòu)成。5）檢測(cè)單元43工作原理

1多晶硅鑄錠爐的工作順序分：加熱，熔化，結(jié)晶，退火，冷卻，急冷等六個(gè)步驟。加熱：七個(gè)步驟（4-5小時(shí)）熔化：十二個(gè)步驟（12-13小時(shí)）結(jié)晶：七個(gè)步驟（24-25小時(shí)）退火：三個(gè)步驟（3小時(shí)）冷卻：五個(gè)步驟（10-12小時(shí)）工作原理1多晶硅鑄錠爐的工作順序分：加熱，44通過工控機(jī)設(shè)置完成各種工藝參數(shù)和預(yù)定參數(shù)后，送達(dá)SNAP智能控制器。具體過程：將經(jīng)過SiN噴涂處理后的坩堝裝入硅原料，并放置在熱交換臺(tái)上。關(guān)閉爐體抽真空，然后通過調(diào)整可控制硅的控制單元的變壓器輸出的低電壓高電流，電流加到石墨加熱器，并通過SNAP智能控制器，自動(dòng)溫度控制，加熱若干小時(shí)以后完全熔化硅料。當(dāng)硅料完全熔化后，根據(jù)工藝要求，緩慢提升隔熱籠位置，暴露出熱交換臺(tái)，使一部分熱量散發(fā)到爐壁，通過冷卻水把爐壁熱量帶走，交換臺(tái)溫度的下降會(huì)傳到坩堝底部，使硅溶液形成垂直的溫度梯度，此溫度梯度會(huì)使硅溶液下方凝固結(jié)晶至上方。當(dāng)所有的硅液都凝固后，硅錠再經(jīng)過退火、通入氬氣、控制冷卻方式等步驟以避免硅錠出現(xiàn)內(nèi)應(yīng)力，以及減少硅錠產(chǎn)生的晶體缺陷（主要是點(diǎn)、線、面缺陷），從而提高硅錠質(zhì)量性能。（硅的導(dǎo)電性、可切割性。）通過工控機(jī)設(shè)置完成各種工藝參數(shù)和預(yù)定參數(shù)后，送達(dá)SNA45結(jié)晶爐操作界面

操作界面的組成操作界面是有報(bào)警、監(jiān)控、自動(dòng)控制、工藝、手動(dòng)控制、趨勢(shì)圖六大窗口組成。

結(jié)晶爐操作界面操作界面的組成46報(bào)警窗口最常見的主要報(bào)警有：加熱器斷開報(bào)警、丟失主電源報(bào)警、主電源缺項(xiàng)報(bào)警、隔熱籠提升故障報(bào)警、TC1熱電偶故障報(bào)警、高溫計(jì)不在原點(diǎn)上報(bào)警、UPS錯(cuò)誤報(bào)警、冷卻水流量報(bào)警等。報(bào)警窗口最常見的主要報(bào)警有：47監(jiān)控窗口在監(jiān)控窗口中可以看到系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)的狀態(tài)，包括當(dāng)前的模式，步驟，剩余時(shí)間以及當(dāng)前正在使用的工藝文件名。在屏幕上還顯示進(jìn)氣閥的設(shè)定值和實(shí)測(cè)值，出氣閥的設(shè)定值和實(shí)測(cè)值，爐內(nèi)壓力的設(shè)定值和實(shí)測(cè)值，8路水流量的實(shí)測(cè)值，隔熱籠的目標(biāo)位置和實(shí)際位置，瞬時(shí)電流、電壓、功率、通斷百分比，控制方式以及各自的設(shè)定值和實(shí)測(cè)值等。監(jiān)控窗口在監(jiān)控窗口中可以看到系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)的狀態(tài)，包括當(dāng)48自動(dòng)控制窗口自動(dòng)控制窗口主要包含自動(dòng)運(yùn)行的一些功能。操作者可以選擇正常啟動(dòng)或定時(shí)啟動(dòng)來開始一次自動(dòng)加工。只要按下自動(dòng)運(yùn)行按鈕，系統(tǒng)就會(huì)開始自動(dòng)運(yùn)行；自動(dòng)運(yùn)行開始運(yùn)行時(shí)，旁邊會(huì)出現(xiàn)一個(gè)綠色圓圖標(biāo)，指示當(dāng)前正在自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)。自動(dòng)控制窗口自動(dòng)控制窗口主要包含自動(dòng)運(yùn)行的一些功能。操作49工藝窗口工藝文件在整個(gè)系統(tǒng)中具體很重要的意義，任何一次自動(dòng)循環(huán)都是按照工世文件的設(shè)定進(jìn)行的，工藝文件的更改可以直接影響生產(chǎn)出來的硅錠質(zhì)量。工藝文件總共分四頁(yè)，操作者可以按翻頁(yè)按扭在各頁(yè)面之間切換。在一般情況下不建議不懂工藝的人員隨便修改工藝。工藝窗口工藝文件在整個(gè)系統(tǒng)中具體很重要的意義，任何一次50手動(dòng)控制窗口在手動(dòng)界面上，允許操作者對(duì)各個(gè)閥門以及電源接觸器進(jìn)行操作，更改加熱控制方式、功率設(shè)定、溫度設(shè)定等。此窗口還包含隔熱籠操作、下爐體運(yùn)行控制、慢速抽真空、維護(hù)操作等子窗口。手動(dòng)控制窗口在手動(dòng)界面上，允許操作者對(duì)各個(gè)閥門以及電源接51趨勢(shì)圖窗口趨勢(shì)圖界面顯示5個(gè)小時(shí)內(nèi)8個(gè)變量的實(shí)時(shí)變化趨勢(shì)，可以查看功率、3個(gè)熱電偶的溫度、爐腔壓力、隔熱籠位置、高溫計(jì)和報(bào)警。該趨勢(shì)圖分為實(shí)時(shí)趨勢(shì)和歷史趨勢(shì)2個(gè)部分。趨勢(shì)圖窗口趨勢(shì)圖界面顯示5個(gè)小時(shí)內(nèi)8個(gè)變量的實(shí)時(shí)變化趨勢(shì)52硅錠生產(chǎn)流程生產(chǎn)流程圖：坩堝噴涂

坩堝烘烤

檢驗(yàn)

裝料

進(jìn)爐

監(jiān)控

出爐

備料脫錠入庫(kù)硅錠生產(chǎn)流程生產(chǎn)流程圖：坩堝噴涂坩堝烘烤檢驗(yàn)裝料進(jìn)爐53坩堝噴涂步驟：

1準(zhǔn)備好250gSiN、1000mL水、放入小烘箱進(jìn)行烘烤。2打開加熱開關(guān)，待溫度升到30℃后開始噴涂。

3重復(fù)噴涂，直至SiN溶液噴完。坩堝噴涂步驟：54坩堝烘烤步驟：

1將坩堝小心抬到烘烤箱內(nèi)平放。2關(guān)閉烘箱門，鎖上鎖扣。3打開加熱按鈕進(jìn)行加熱。4烘烤時(shí)間需30多小時(shí)后使用。

坩堝烘烤步驟：55備料

步驟：

1拿好備料單到倉(cāng)庫(kù)領(lǐng)料。2按照備料單上的重量，類型，電阻率分類進(jìn)行備料。3校對(duì)重量，領(lǐng)出倉(cāng)庫(kù)。備料步驟：56檢驗(yàn)步驟：

1將領(lǐng)出的硅原料拉到檢驗(yàn)室。2按照原料的類型，電阻率進(jìn)行抽檢。3認(rèn)真記錄抽檢的數(shù)據(jù)。4發(fā)現(xiàn)問題及時(shí)通知負(fù)責(zé)人。檢驗(yàn)步驟：57裝料步驟：1用一些比較有規(guī)則的硅