銅線工藝基礎培訓教材課件

COPPERWIREBONDING

銅線工藝介紹LastRevisionDate:2012-JanUCCPUCSPPreparedBy:LifanqinApprovedBy:Signature

ProcessEngineer_____________

ManufacturingManager_____________COPPERWIREBONDING

銅線工藝介紹Last1內(nèi)容：為什么要發(fā)展銅線銅線的特性更衣室要求銅線的焊接缺陷生產(chǎn)線控制措施銅線壽命控制方法IMC、FAB檢查標準及失效圖片案例分析內(nèi)容：2Y2001Y2002Y2003Y2004Y2005Y2006Y2007Y2008800400600200GoldBasePriceUSDpertroyounce4.08.012.016.0CopperBasePriceUSDperpoundcostreduction從此圖看出，金價一直處于上漲狀態(tài)，而銅線的價格較為穩(wěn)定，在使用銅線時會大大降低成本。其它的選擇：優(yōu)點缺點鋁線電流高WB焊接速度慢，且適于焊線較為簡單的產(chǎn)品合金線比金線傳導性強質(zhì)量不穩(wěn)定為什么要發(fā)展銅線Y2001Y2002Y2003Y2004Y2005Y20063

銅線很容易氧化。氧化的銅線會導致自由球變硬、扭歪和焊接性能變差。銅線的特性

變硬的銅線會導致焊接性能變差，在焊接過程中會導致：

1）焊接缺陷，例如Cratering，Liftedmetal等。

2）第一焊點和第二焊點焊接失效，例如Neckbrokenwire。所以對于銅線焊接的產(chǎn)品，我們要特別注意：第一焊點和第二焊點銅線很容易氧化。銅線的特性變硬的銅線會導致焊接性能變差，4銅線的特性

如何避免銅線氧化？措施1：在EFO處安裝一個EFO夾具，在形成球時用混合氣體可避免銅線氧化混合氣體：95%N25%H2流量：0.4~0.7L/mil

措施2：好的儲存條件

1）銅線必須放入氮氣柜中儲存

2）銅線的使用壽命：未開封的銅線壽命≤6月開封的銅線在常溫下的壽命：純銅≤3天，鈀銅≤30天

3）沒有銅線生產(chǎn)時，應將銅線取下放入氮氣柜中儲存

4）焊了銅線的產(chǎn)品必須96小時內(nèi)完成MOLD（WB從做LOTSTART開始算）銅線的特性如何避免銅線氧化？措施2：好的儲存條件5

如何控制銅線的使用壽命：

1）領到銅線時應先檢查銅線的儲存壽命（從生產(chǎn)日期到使用日期不能超過6個月），然后檢查包裝情況，如果在壽命期內(nèi)包裝有任何破損，應該暫停使用這卷銅線

2）在標簽上寫上開封日期、時間，過期日期、時間，再將標簽貼在銅線盒表面銅線的特性銅線日期時間開封2010-3-19:00過期2010-3-49:00

過期銅線的處理：

1）過期的銅線必須交于工程師處理。

2）銅線超過使用期限后禁止延期在投入生產(chǎn)。如何控制銅線的使用壽命：銅線的特性銅線日期時間開封201061K級凈化室要求客戶BROADCOM將在我們公司生產(chǎn)銅線的產(chǎn)品，要求我們要在1K級以下的空氣潔凈度環(huán)境下生產(chǎn)，所以我們在EOL專門隔離出一片區(qū)域用于作為銅線的生產(chǎn)。該區(qū)域的控制比目前FOL的10K的潔凈度的要求更嚴格，所以對進入該區(qū)域的人員有如下要求：該區(qū)域的OP和技術(shù)員必須是經(jīng)過特殊認證的，被授權(quán)進入該區(qū)域進行生產(chǎn)，將采用指紋授權(quán)系統(tǒng)；2.該區(qū)域的OP和技術(shù)員可以操作銅線和金線的產(chǎn)品，但其他區(qū)域的OP和技術(shù)員只能操作金線的產(chǎn)品，不能進入銅線生產(chǎn)區(qū)域；為了區(qū)別于不同區(qū)域的人員，銅線區(qū)域的人員的衣袖上將有一圈大約2厘米寬淺藍色標志；凈化室要求1K級凈化室要求凈化室要求7

銅線區(qū)域進入流程1.在更衣室穿上有銅線區(qū)域標志的靜電服，按前段靜電服穿戴整理好著裝。頭發(fā)不能露出靜電帽沿口罩必須遮住口鼻注意：中段模壓區(qū)域必須佩戴口罩袖子束緊,請勿卷起袖口露出手臂

避免衣袖松散造成saggingwire等廢品避免沒有束緊的袖帶把產(chǎn)品碰翻。避免手臂上的灰塵和體毛掉在產(chǎn)品上，影響產(chǎn)品質(zhì)量。進入無塵室必須穿凈化靴銅線區(qū)域衣服標志凈化室要求銅線區(qū)域進入流程頭發(fā)不能露出靜電帽沿口罩必須遮住口鼻袖8注意：通道兩頭的兩扇門不可以同時打開，以避免污染凈化室進入銅線區(qū)域要經(jīng)過兩道風淋室,作用是在設定的時間內(nèi)吹除身上的塵埃（圖1）。1）第一道風淋室：前段區(qū)域入口。2）第二道風淋室：前段區(qū)域內(nèi)銅線區(qū)域入口。進入第一道風淋室到前段區(qū)域，先做ESD檢測并記錄（圖2）。進入第二道淋室銅線區(qū)域后，必須隨時雙手10指全戴上指套（圖3）。凈化室要求圖1圖2圖3注意：通道兩頭的兩扇門不可以同時打開，以避免污染凈化室進入9銅線焊接缺陷

AluminumSplash

鋁飛濺

1）焊球下面要有鋁的殘留

2）Cratering測試后焊盤無裂紋和凹坑

3）與它的焊盤或金屬區(qū)無焊接短路焊盤上的鋁層被擠壓到焊球邊緣銅線焊接缺陷AluminumSplash鋁飛濺焊盤上10銅線焊接缺陷

Oxidation

銅線氧化

1）全部的銅線氧化或變色

2）氧化出現(xiàn)在加熱過程中（WB、MOLD）GOOD銅線氧化銅線焊接缺陷Oxidation銅線氧化GOOD銅線氧化11銅線焊接缺陷

PadMetalLift金屬脫離

1）PULL的讀數(shù)超出最小要求

2）ETCH測試后無二氧化硅損壞

3）通過Wirepull/Ballshear/Cratering測試可接受銅線焊接缺陷PadMetalLift金屬脫離12銅線焊接缺陷

CosmeticFlowerBallGOODGOODStitchtailing銅線焊接缺陷CosmeticFlowerBallGOOD13正常焊球異常焊球GOODScaronwiresurfacePoint-ballOxidize銅線焊接缺陷

Scaronwiresurface/Point-ball/Oxidize異常焊球在焊接過程中會導致焊接缺陷，例如Cratering，Liftedmetal，Liftedbond等廢品。正常焊球異常焊球GOODScaronwiresurfa14生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人HB溫度SLP/QFP:200±10SOIC:240±10Pre-heat:180±10Post-heat:120±105個讀數(shù)1/每班,set-up溫度測試記錄表/set-up表技術(shù)員參數(shù)設置USG程序控制1個讀數(shù)1/每個Sublot/每臺機器生產(chǎn)記錄表操作員BondforceBondtimeC/VTIP混合氣體EFO:0.4-0.7L/MinNVT:0.4-0.6L/Min1個讀數(shù)1/每天參數(shù)檢查表操作員Ballsize2倍金線直徑-90%bondpadopening.(球與鉛飛濺必須在焊盤內(nèi),不能接觸或超出passivation)4個讀數(shù)Set-upSet-up表技術(shù)員Ballthickness0.3-1.0倍金線直徑4個讀數(shù)Set-upSet-up表技術(shù)員生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人HB溫度15生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人LoopheightSLP<9milsTSLP<8milsSOICEP<8milsSOICFU<10milsLQFP<10milsTQFP<8mils4個讀數(shù)Set-upSet-up表技術(shù)員WirePullAllbondpads/1units每臺機器/每天,set-upX-barchartIPQAWedgePullBallShearFABRoundshapeballNoOxidizeball5ballsSet-up,設備PM,設備維修,更換或調(diào)試EFO,更換或調(diào)試陶瓷管Set-up表,生產(chǎn)記錄本QA-LAB生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人Loop16生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人IMC.IMCremain>80%;2.IMCvoid<10%perarea.3.IMCcenterregion(50%ofballradius）void<15%oftotalbondareaRemark:WBbake250deg/3hourthensendtoLAB.kindlyrefertoappendixforbetterunderstanding.Allbondpads/2units每臺機器/每天參數(shù)檢查表QA-LABCrateringNocrateringorOxidelayerdamageAllbondpads/5Unit每臺機器/每天,Set-up參數(shù)檢查表表,Set-up表QA-LAB生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人IMC.17生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人WireSpoolFloorLifeMax30daysforpdcoatedwire(afterremovingfromoriginal).Max3daysforpurecopperwire(afterremovingfromoriginal)壽命標簽每臺機器/每天操作員StagingTimeofBondedUnitsMax96hours隨工單Sublot/每天操作員CapillaryLifeTimeMax300KunderBurn-inmode(setlimitis250k)1個讀數(shù)Sublot/每天/每臺機器生產(chǎn)記錄表操作員生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人Wire18銅線的壽命控制方法一、金線系統(tǒng)控制銅線使用壽命流程如下（責任人：POP）：注意：1）新開機器（機器上沒有銅線的），POP按要求直接發(fā)放。

2）更換銅線的機器，必須先將銅線交與POP從系統(tǒng)返回小房間，POP再按要求發(fā)放，否則系統(tǒng)不支持。銅線的壽命控制方法一、金線系統(tǒng)控制銅線使用壽命流程如下（責任19銅線的壽命控制方法二、WB機器設定銅線使用壽命（責任人：TECH/OP）：注意：1）每次更換銅線后都必須按標簽上填寫的壽命分鐘數(shù)設定。

2）純銅與鈀銅的壽命不一致，壽命未到期返回后再次領出時銅線的剩余壽命與新領出銅線壽命不一致。1、點擊“Configure”.2、點擊“WireUsage”.4、點擊“TimerDuration”，設定銅線的壽命(按標簽上填寫的壽命分鐘數(shù)來設定).3、點擊“WireUsageTimer”,并將"OFF"改為"ON“.5、點擊“ChangeWireSpool“,確認TimeRemaining一欄是否變?yōu)?290mins.6、點擊“StopBondingAfter”,選擇Device(三個選項:Devive,Index,Strip),

表示當前這粒die生產(chǎn)完后報警。7、當銅線壽命到期時，機器報警，操作員應將該卷銅線取下返回給POP.銅線的壽命控制方法二、WB機器設定銅線使用壽命（責任人：TE20銅線的壽命控制方法三、MES系統(tǒng)控制WB到MOLD的時間不能超過96小時（責任人：主管）：1、WB從LOTSTART開始到中段MOLD的時間不能超過96小時。注意：WB上新LOT時必須先做LOTSTART。2、MES系統(tǒng)自動抓取WBSTART-OP3-QA3-MOLSTART的時間，如果有SUBLOT超過72小時，該SUBLOT信息自動上傳到對應工序的CopperBondedUnitWIP報告中，IT將發(fā)出CopperBondedUnitWIP報告跟主管，提醒主管及時處理。注意：如果主管沒有處理，IT將每6小時發(fā)一次CopperBondedUnitWIP報告。銅線的壽命控制方法三、MES系統(tǒng)控制WB到MOLD的時間不能21IMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片IMC=94.7%

Pass判斷標準1.IMCremain>80%2.IMCcenterregionvoid<15%oftotalarea.3.IMCcentervoidcenterregion<10%perarea.IMC=47.6%Fail

IMC檢查標準及失效圖片:IMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片22IMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片

FAB檢查標準及失效圖片:PassFailGOODScaronwiresurfacePoint-ballOxidizeIMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片23

Crosssection檢查標準:IMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片AlPadremain:ForAlthickness<1.0,Alremainrange15%~50%ofOriginalAlPadthickness.ForAlthickness>1.0um,Alremainrange25~50%for75%ofcontactarea;

Profileflatness:25%rangefromMaxtoMinofOriginalAlPadthickness.OriginalAlPadthickness=2um.Alremaincriteria =2umx25%~2umx

50% =0.5um~1umActualremain =0.61um~0.82um(Passed)Profileflatness=25%x2um(OriginalAlPadthickness)=0.5umProfileflatnesscriteria=0.0umto0.5umActualProfileflatness =Max–Min =0.82um–0.61um =0.21um(Passed)Remark:SEMmeasurementmustbetakenontheLowestandHighestpointasreference.Crosssection檢查標準:IMC、FAB及Cro24背景：BROADCOM客戶在ASESUB-CON生產(chǎn)的銅線產(chǎn)品發(fā)現(xiàn)大量的LIFTEDBOND廢品，給BROADCOM客戶造成嚴重的損失，現(xiàn)客戶要求索賠1200萬USD，因我們公司也在量產(chǎn)銅線產(chǎn)品，為防患于未然，確保產(chǎn)品質(zhì)量，嚴格按操作流程生產(chǎn)，主管及培訓員加強生產(chǎn)線AUDIT。廢品樣品：LiftedbondrejectPoorIMCcoverageatbondpadwasobserved（55%-75%）Highlight-ASECopperWireQualityIssue-LiftedBond背景：BROADCOM客戶在ASESUB-CON生產(chǎn)的銅25預防行動：1、SET-UP要確認BS/WP/BallThickness/Wedgepull/Ballsize/LoopHigh…。2、M/CSET-UP需要送調(diào)機片到QALAB處做FAB/Cratering檢查。3、每班每臺機器需要送調(diào)機片到QALAB處做CrateringMonitor檢查（如當班該機器做了SET-UPcratering的檢查，就不需要做crateringmonitor檢查，但是記錄）。4、設備PM/設備維修/更換或調(diào)試EFO/更換或調(diào)試陶瓷管需要送調(diào)機片到QALAB處做FAB檢查5、每天夜班每臺要打2粒DIE并在OVEN機烘烤3小時后送QALAB處做IMC檢查。6、以上的ACTION大家必須真實有效的執(zhí)行，如AUDIT發(fā)現(xiàn)任何弄虛作假，該員工立即開除。預防行動：26客戶特殊要求MPS客戶特殊要求：客戶特殊要求MPS客戶特殊要求：27HistorySheetREVNOORIGINATORDESCRIPTIONDATEALifanqinOriginalRelease2011-4BLifanqinUpdatelinecontrolitem2011-8CLifanqinAddIMC、FABandCrosssectioncheckbyQALAB2012-1DLifanqinAddcopperwirelifecontrol2012-3HistorySheetREVNOORIGINAT28演講完畢，謝謝觀看！演講完畢，謝謝觀看！29COPPERWIREBONDING

銅線工藝介紹LastRevisionDate:2012-JanUCCPUCSPPreparedBy:LifanqinApprovedBy:Signature

ProcessEngineer_____________

ManufacturingManager_____________COPPERWIREBONDING

銅線工藝介紹Last30內(nèi)容：為什么要發(fā)展銅線銅線的特性更衣室要求銅線的焊接缺陷生產(chǎn)線控制措施銅線壽命控制方法IMC、FAB檢查標準及失效圖片案例分析內(nèi)容：31Y2001Y2002Y2003Y2004Y2005Y2006Y2007Y2008800400600200GoldBasePriceUSDpertroyounce4.08.012.016.0CopperBasePriceUSDperpoundcostreduction從此圖看出，金價一直處于上漲狀態(tài)，而銅線的價格較為穩(wěn)定，在使用銅線時會大大降低成本。其它的選擇：優(yōu)點缺點鋁線電流高WB焊接速度慢，且適于焊線較為簡單的產(chǎn)品合金線比金線傳導性強質(zhì)量不穩(wěn)定為什么要發(fā)展銅線Y2001Y2002Y2003Y2004Y2005Y200632

銅線很容易氧化。氧化的銅線會導致自由球變硬、扭歪和焊接性能變差。銅線的特性

變硬的銅線會導致焊接性能變差，在焊接過程中會導致：

1）焊接缺陷，例如Cratering，Liftedmetal等。

2）第一焊點和第二焊點焊接失效，例如Neckbrokenwire。所以對于銅線焊接的產(chǎn)品，我們要特別注意：第一焊點和第二焊點銅線很容易氧化。銅線的特性變硬的銅線會導致焊接性能變差，33銅線的特性

如何避免銅線氧化？措施1：在EFO處安裝一個EFO夾具，在形成球時用混合氣體可避免銅線氧化混合氣體：95%N25%H2流量：0.4~0.7L/mil

措施2：好的儲存條件

1）銅線必須放入氮氣柜中儲存

2）銅線的使用壽命：未開封的銅線壽命≤6月開封的銅線在常溫下的壽命：純銅≤3天，鈀銅≤30天

3）沒有銅線生產(chǎn)時，應將銅線取下放入氮氣柜中儲存

4）焊了銅線的產(chǎn)品必須96小時內(nèi)完成MOLD（WB從做LOTSTART開始算）銅線的特性如何避免銅線氧化？措施2：好的儲存條件34

如何控制銅線的使用壽命：

1）領到銅線時應先檢查銅線的儲存壽命（從生產(chǎn)日期到使用日期不能超過6個月），然后檢查包裝情況，如果在壽命期內(nèi)包裝有任何破損，應該暫停使用這卷銅線

2）在標簽上寫上開封日期、時間，過期日期、時間，再將標簽貼在銅線盒表面銅線的特性銅線日期時間開封2010-3-19:00過期2010-3-49:00

過期銅線的處理：

1）過期的銅線必須交于工程師處理。

2）銅線超過使用期限后禁止延期在投入生產(chǎn)。如何控制銅線的使用壽命：銅線的特性銅線日期時間開封2010351K級凈化室要求客戶BROADCOM將在我們公司生產(chǎn)銅線的產(chǎn)品，要求我們要在1K級以下的空氣潔凈度環(huán)境下生產(chǎn)，所以我們在EOL專門隔離出一片區(qū)域用于作為銅線的生產(chǎn)。該區(qū)域的控制比目前FOL的10K的潔凈度的要求更嚴格，所以對進入該區(qū)域的人員有如下要求：該區(qū)域的OP和技術(shù)員必須是經(jīng)過特殊認證的，被授權(quán)進入該區(qū)域進行生產(chǎn)，將采用指紋授權(quán)系統(tǒng)；2.該區(qū)域的OP和技術(shù)員可以操作銅線和金線的產(chǎn)品，但其他區(qū)域的OP和技術(shù)員只能操作金線的產(chǎn)品，不能進入銅線生產(chǎn)區(qū)域；為了區(qū)別于不同區(qū)域的人員，銅線區(qū)域的人員的衣袖上將有一圈大約2厘米寬淺藍色標志；凈化室要求1K級凈化室要求凈化室要求36

銅線區(qū)域進入流程1.在更衣室穿上有銅線區(qū)域標志的靜電服，按前段靜電服穿戴整理好著裝。頭發(fā)不能露出靜電帽沿口罩必須遮住口鼻注意：中段模壓區(qū)域必須佩戴口罩袖子束緊,請勿卷起袖口露出手臂

避免衣袖松散造成saggingwire等廢品避免沒有束緊的袖帶把產(chǎn)品碰翻。避免手臂上的灰塵和體毛掉在產(chǎn)品上，影響產(chǎn)品質(zhì)量。進入無塵室必須穿凈化靴銅線區(qū)域衣服標志凈化室要求銅線區(qū)域進入流程頭發(fā)不能露出靜電帽沿口罩必須遮住口鼻袖37注意：通道兩頭的兩扇門不可以同時打開，以避免污染凈化室進入銅線區(qū)域要經(jīng)過兩道風淋室,作用是在設定的時間內(nèi)吹除身上的塵埃（圖1）。1）第一道風淋室：前段區(qū)域入口。2）第二道風淋室：前段區(qū)域內(nèi)銅線區(qū)域入口。進入第一道風淋室到前段區(qū)域，先做ESD檢測并記錄（圖2）。進入第二道淋室銅線區(qū)域后，必須隨時雙手10指全戴上指套（圖3）。凈化室要求圖1圖2圖3注意：通道兩頭的兩扇門不可以同時打開，以避免污染凈化室進入38銅線焊接缺陷

AluminumSplash

鋁飛濺

1）焊球下面要有鋁的殘留

2）Cratering測試后焊盤無裂紋和凹坑

3）與它的焊盤或金屬區(qū)無焊接短路焊盤上的鋁層被擠壓到焊球邊緣銅線焊接缺陷AluminumSplash鋁飛濺焊盤上39銅線焊接缺陷

Oxidation

銅線氧化

1）全部的銅線氧化或變色

2）氧化出現(xiàn)在加熱過程中（WB、MOLD）GOOD銅線氧化銅線焊接缺陷Oxidation銅線氧化GOOD銅線氧化40銅線焊接缺陷

PadMetalLift金屬脫離

1）PULL的讀數(shù)超出最小要求

2）ETCH測試后無二氧化硅損壞

3）通過Wirepull/Ballshear/Cratering測試可接受銅線焊接缺陷PadMetalLift金屬脫離41銅線焊接缺陷

CosmeticFlowerBallGOODGOODStitchtailing銅線焊接缺陷CosmeticFlowerBallGOOD42正常焊球異常焊球GOODScaronwiresurfacePoint-ballOxidize銅線焊接缺陷

Scaronwiresurface/Point-ball/Oxidize異常焊球在焊接過程中會導致焊接缺陷，例如Cratering，Liftedmetal，Liftedbond等廢品。正常焊球異常焊球GOODScaronwiresurfa43生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人HB溫度SLP/QFP:200±10SOIC:240±10Pre-heat:180±10Post-heat:120±105個讀數(shù)1/每班,set-up溫度測試記錄表/set-up表技術(shù)員參數(shù)設置USG程序控制1個讀數(shù)1/每個Sublot/每臺機器生產(chǎn)記錄表操作員BondforceBondtimeC/VTIP混合氣體EFO:0.4-0.7L/MinNVT:0.4-0.6L/Min1個讀數(shù)1/每天參數(shù)檢查表操作員Ballsize2倍金線直徑-90%bondpadopening.(球與鉛飛濺必須在焊盤內(nèi),不能接觸或超出passivation)4個讀數(shù)Set-upSet-up表技術(shù)員Ballthickness0.3-1.0倍金線直徑4個讀數(shù)Set-upSet-up表技術(shù)員生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人HB溫度44生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人LoopheightSLP<9milsTSLP<8milsSOICEP<8milsSOICFU<10milsLQFP<10milsTQFP<8mils4個讀數(shù)Set-upSet-up表技術(shù)員WirePullAllbondpads/1units每臺機器/每天,set-upX-barchartIPQAWedgePullBallShearFABRoundshapeballNoOxidizeball5ballsSet-up,設備PM,設備維修,更換或調(diào)試EFO,更換或調(diào)試陶瓷管Set-up表,生產(chǎn)記錄本QA-LAB生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人Loop45生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人IMC.IMCremain>80%;2.IMCvoid<10%perarea.3.IMCcenterregion(50%ofballradius）void<15%oftotalbondareaRemark:WBbake250deg/3hourthensendtoLAB.kindlyrefertoappendixforbetterunderstanding.Allbondpads/2units每臺機器/每天參數(shù)檢查表QA-LABCrateringNocrateringorOxidelayerdamageAllbondpads/5Unit每臺機器/每天,Set-up參數(shù)檢查表表,Set-up表QA-LAB生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人IMC.46生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人WireSpoolFloorLifeMax30daysforpdcoatedwire(afterremovingfromoriginal).Max3daysforpurecopperwire(afterremovingfromoriginal)壽命標簽每臺機器/每天操作員StagingTimeofBondedUnitsMax96hours隨工單Sublot/每天操作員CapillaryLifeTimeMax300KunderBurn-inmode(setlimitis250k)1個讀數(shù)Sublot/每天/每臺機器生產(chǎn)記錄表操作員生產(chǎn)線控制措施檢查項控制范圍讀數(shù)檢查頻率記錄責任人Wire47銅線的壽命控制方法一、金線系統(tǒng)控制銅線使用壽命流程如下（責任人：POP）：注意：1）新開機器（機器上沒有銅線的），POP按要求直接發(fā)放。

2）更換銅線的機器，必須先將銅線交與POP從系統(tǒng)返回小房間，POP再按要求發(fā)放，否則系統(tǒng)不支持。銅線的壽命控制方法一、金線系統(tǒng)控制銅線使用壽命流程如下（責任48銅線的壽命控制方法二、WB機器設定銅線使用壽命（責任人：TECH/OP）：注意：1）每次更換銅線后都必須按標簽上填寫的壽命分鐘數(shù)設定。

2）純銅與鈀銅的壽命不一致，壽命未到期返回后再次領出時銅線的剩余壽命與新領出銅線壽命不一致。1、點擊“Configure”.2、點擊“WireUsage”.4、點擊“TimerDuration”，設定銅線的壽命(按標簽上填寫的壽命分鐘數(shù)來設定).3、點擊“WireUsageTimer”,并將"OFF"改為"ON“.5、點擊“ChangeWireSpool“,確認TimeRemaining一欄是否變?yōu)?290mins.6、點擊“StopBondingAfter”,選擇Device(三個選項:Devive,Index,Strip),

表示當前這粒die生產(chǎn)完后報警。7、當銅線壽命到期時，機器報警，操作員應將該卷銅線取下返回給POP.銅線的壽命控制方法二、WB機器設定銅線使用壽命（責任人：TE49銅線的壽命控制方法三、MES系統(tǒng)控制WB到MOLD的時間不能超過96小時（責任人：主管）：1、WB從LOTSTART開始到中段MOLD的時間不能超過96小時。注意：WB上新LOT時必須先做LOTSTART。2、MES系統(tǒng)自動抓取WBSTART-OP3-QA3-MOLSTART的時間，如果有SUBLOT超過72小時，該SUBLOT信息自動上傳到對應工序的CopperBondedUnitWIP報告中，IT將發(fā)出CopperBondedUnitWIP報告跟主管，提醒主管及時處理。注意：如果主管沒有處理，IT將每6小時發(fā)一次CopperBondedUnitWIP報告。銅線的壽命控制方法三、MES系統(tǒng)控制WB到MOLD的時間不能50IMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片IMC=94.7%

Pass判斷標準1.IMCremain>80%2.IMCcenterregionvoid<15%oftotalarea.3.IMCcentervoidcenterregion<10%perarea.IMC=47.6%Fail

IMC檢查標準及失效圖片:IMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片51IMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片

FAB檢查標準及失效圖片:PassFailGOODScaronwiresurfacePoint-ballOxidizeIMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片52

Crosssection檢查標準:IMC、FAB及Crosssection檢查標準及失效圖片AlPadremain:ForAlthickness<1.0,Alremainrange15%~50%ofOriginalAlPadthickness.ForAlthickness>1.0um,Alremainrange25~50%for75%ofcontactarea;

Profileflatness:25%rang