GB/T 11446.3-2013電子級水測試方法通則

ICS31030

L90-

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T114463—2013

代替.

GB/T11446.3—1997

電子級水測試方法通則

Genericrulesfortestmethodsofelectronicgradewater

2013-12-31發(fā)布2014-08-15實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T114463—2013

.

前言

預(yù)計結(jié)構(gòu)如下

GB/T11446:

電子級水

———GB/T11446.1;

待定

———GB/T11446.2();

電子級水測試方法通則

———GB/T11446.3;

電子級水電阻率的測試方法

———GB/T11446.4;

電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法

———GB/T11446.5;

電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法

———GB/T11446.6;

電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法

———GB/T11446.7;

電子級水中總有機碳的測試方法

———GB/T11446.8;

電子級水中微粒的儀器測試方法

———GB/T11446.9;

電子級水中細菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法

———GB/T11446.10。

本部分為的第部分

GB/T114463。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分代替電子級水測試方法通則

GB/T11446.3—1997《》。

本部分與相比主要有如下變化

GB/T11446.3—1997,:

術(shù)語和定義中增加了準(zhǔn)確度精密度和檢出限的定義見第章

———“3”“”、“”“”(3);

在采樣中增加了對采集用于非堿性痕量金屬及微粒分析的樣品的要求并修訂了采樣瓶

———“4”,,

的準(zhǔn)備要求見第章

(4);

增加了條款將瓶子放入塑料袋中密封并采集平行樣品見

———“4.9,,?！?4.9);

修改了貯存與運輸中的貯存溫度條件并對需要檢測3--2-的樣品的貯存條

———“5”,PO4、NO3、SO4

件提出了要求見第章

(5)。

本部分由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出

。

本部分由中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院歸口

。

本部分起草單位信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所中國電子技

:、、

術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院中國電子科技集團公司第四十六研究所

、。

本部分主要起草人褚連青王奕何秀坤段曙光提劉旺劉筠

:、、、、、。

本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T11446.3—1989、GB/T11446.3—1997。

Ⅰ

GB/T114463—2013

.

電子級水測試方法通則

1范圍

的本部分規(guī)定了電子級水的采樣貯存與運輸及報告的格式

GB/T11446、。

本部分適用于級電子級水

EW-Ⅰ~EW-Ⅳ。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電子級水

GB/T11446.1—2013

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T11446.1—2013。

31

.

取樣sampling

獲得被試驗物質(zhì)的有代表性的部分

。

32

.

在線監(jiān)測on-linemonitoring

在高純水生產(chǎn)過程中選擇合適的取樣點用儀器直接對水質(zhì)指標(biāo)進行測量

,。

33

.

濃度concentration

單位量試樣中所包含的某種物質(zhì)的量

。

34

.

靈敏度sensitivity

試樣中被測元素的含量變化與測得的相應(yīng)信號的變化之比值

。

35

.

空白值blankvalue

由水試劑器皿儀器環(huán)境及操作人員本身引入的測量結(jié)果的額外增加值

、、、、。

36

.

空白試驗blanktest

在不加入試樣或被測元素的情況下