標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 21287-2007 電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)范電子工業(yè)中使用的三氟化氮氣體的質(zhì)量要求、試驗方法以及包裝、標(biāo)志、運輸和儲存等方面。該標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)作為清洗劑或蝕刻氣體的三氟化氮。

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，三氟化氮氣體需要滿足一定的純度要求，具體來說，對于不同級別的產(chǎn)品，其主要成分（即三氟化氮）含量應(yīng)達(dá)到特定百分比以上，并且對雜質(zhì)如氧氣、水分等有嚴(yán)格的限制。此外，還定義了幾種不同等級的產(chǎn)品以適應(yīng)各種應(yīng)用場景的需求。

在檢測方面，《GB/T 21287-2007》詳細(xì)描述了測定三氟化氮純度及其他相關(guān)指標(biāo)的方法，包括但不限于氣相色譜法、質(zhì)譜法等現(xiàn)代分析技術(shù)的應(yīng)用。這些測試手段確保了產(chǎn)品質(zhì)量符合既定規(guī)格。

關(guān)于包裝與標(biāo)識，《GB/T 21287-2007》也給出了明確指導(dǎo)，要求采用專用容器進(jìn)行充裝，并在外包裝上清晰標(biāo)注產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠家信息、生產(chǎn)日期及批號等內(nèi)容，以便于識別和追溯。同時強調(diào)，在整個物流過程中必須遵守安全操作規(guī)程，防止泄漏或其他意外事故的發(fā)生。


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  • 2007-12-14 頒布
  • 2008-07-01 實施
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文檔簡介

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２１２８７—２００７

電子工業(yè)用氣體三氟化氮

犌犪狊犲狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犖犻狋狉狅犵犲狀狋狉犻犳犾狌狅狉犻犱犲

２００７１２１４發(fā)布２００８０７０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

書

犌犅／犜２１２８７—２００７

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２規(guī)范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３要求!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４試驗方法!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

５包裝、標(biāo)志、貯運及安全!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５

附錄Ａ（資料性附錄）切割氣路流程示意圖!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!７

附錄Ｂ（資料性附錄）測定三氟化氮中一氧化碳的氣路切換裝置流程示意圖!!!!!!!!!!８

附錄Ｃ（規(guī)范性附錄）可水解氟化物和總酸度的測定!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!９

附錄Ｄ（資料性附錄）三氟化氮的化學(xué)性質(zhì)和物理參數(shù)!!!!!!!!!!!!!!!!!!１２

Ⅰ

書

犌犅／犜２１２８７—２００７

前言

本標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)ＳＥＭＩ（半導(dǎo)體材料和設(shè)備國際組織）的《三氟化氮》（ＳＥＭＩＣ３．３９—０３０４）２００４年版標(biāo)

準(zhǔn)，并結(jié)合我國三氟化氮生產(chǎn)的實際情況制定。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ｃ為規(guī)范性附錄，附錄Ａ、附錄Ｂ、附錄Ｄ為資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３／ＳＣ１）提出并歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)由湖北沙隆達(dá)天門農(nóng)化有限責(zé)任公司、中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所負(fù)責(zé)起草。

本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位有：核工業(yè)理化研究院特氣中心、中核紅華特種氣體有限公司、黎明化工研究

院、國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心、西南化工研究設(shè)計院等。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：余啟富、宋再卿、劉新明、戴龍俠、方治文、牛學(xué)坤、金美蘭、任清貴、王少楠。

本標(biāo)準(zhǔn)為首次發(fā)布。

Ⅲ

犌犅／犜２１２８７—２００７

電子工業(yè)用氣體三氟化氮

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體———三氟化氮的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標(biāo)志、運

輸、儲存和安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學(xué)

氣相沉積的清洗劑。

分子式：ＮＦ３。

分子量：７１．００１９（按２００１年國際相對原子量）

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則（ＧＢ／Ｔ３７２３—１９９９，ｉｄｔＩＳＯ３１６５：１９７６）

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９８５，ｎｅｑＩＳＯ１４０５：１９８３）

ＧＢ／Ｔ５８３２．１氣體濕度的測定第１部分：電解法

ＧＢ／Ｔ６６８１氣體化工產(chǎn)品采樣通則

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ１４１９４永久氣體充瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

危險化學(xué)品安全管理條例

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例

３要求

電子工業(yè)用氣體三氟化氮應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

－２

三氟化氮（ＮＦ３），１０（體積分?jǐn)?shù)）≥９９．５９９．９９９．９８９９．９９９９．９９６

－６

四氟化碳（ＣＦ４），１０（體積分?jǐn)?shù)）≤１５００５００１００５０２０

－６

氮（Ｎ２），１０（體積分?jǐn)?shù)）≤７００５０１０１０５

－６

氧加氬（Ｏ２＋Ａｒ），１０（體積分?jǐn)?shù)）≤７００５０１０５３

一氧化碳（ＣＯ），１０－６（體積分?jǐn)?shù)）≤５０１０１０５１

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