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國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程持續(xù)加快一、電子氣體概況電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器、化合物半導(dǎo)體器件等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)原材料,廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。一般在集成電路領(lǐng)域可以將電子氣體分為大宗氣體和特殊氣體兩類,而根據(jù)電子特殊氣體的不同用途分類,可以分為化學(xué)氣相沉積氣、離子注入氣、外延晶體生長(zhǎng)氣、發(fā)光二極管氣、刻蝕氣、摻雜氣等。其原料主要為空氣分離氣體、石油化工和煤化工生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的低純度原料氣及廢氣和其它基礎(chǔ)化工原料。主要原材料來(lái)源廣泛,市場(chǎng)供應(yīng)充足,較容易從相關(guān)原材料供應(yīng)廠家獲得。特別是在微電子領(lǐng)域和集成電路領(lǐng)域隨著制程節(jié)點(diǎn)的不斷減小,特種氣體作為集成電路制造的關(guān)鍵材料,伴隨著下游產(chǎn)業(yè)技術(shù)的快速迭代,特種氣體的精細(xì)化程度持續(xù)提高,特別是在純度和精度方面,對(duì)特氣的要求持續(xù)提高。因此整體上電子氣體行業(yè)的市場(chǎng)壁壘特別是技術(shù)壁壘很高,其他企業(yè)進(jìn)入市場(chǎng)的難度非常大。隨著近年來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)在全球范圍內(nèi)的蓬勃發(fā)展,同時(shí)也帶動(dòng)了電子氣體行業(yè)的市場(chǎng)銷售。電子氣體是晶圓制造過(guò)程中的重要材料,廣泛應(yīng)用于成膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積等工藝環(huán)節(jié)中,在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種電子氣體。據(jù)估計(jì)電子氣體在晶圓制造中的成本占比約為13%。而我國(guó)電子氣體市場(chǎng)近年來(lái)發(fā)展迅速,2018年我國(guó)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模達(dá)121.56億元,占全球市場(chǎng)比重的44.4%,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國(guó)大陸逐漸轉(zhuǎn)移,未來(lái)的市場(chǎng)比重還將不斷增加。二、行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局全球市場(chǎng)的電子氣體行業(yè)市場(chǎng)集中度較高,美國(guó)空氣化工、美國(guó)普萊克斯、德國(guó)林德、法國(guó)液化空氣和日本大陽(yáng)日酸控制;了全球市場(chǎng)85%以上的市場(chǎng)份額。而由于長(zhǎng)期以來(lái)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展落后且電子氣體行業(yè)市場(chǎng)壁壘較高,因此過(guò)去很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)主要依賴進(jìn)口電子氣體,目前全球主要電子氣體企業(yè)在中國(guó)均已基本設(shè)廠。相比之下,國(guó)內(nèi)電子氣體企業(yè)規(guī)模較小且一般為區(qū)域性企業(yè),缺乏領(lǐng)軍型企業(yè),產(chǎn)品種類也不夠豐富。部分電子氣體企業(yè)是從大化工行業(yè)或工業(yè)氣體行業(yè)轉(zhuǎn)型而來(lái),在產(chǎn)品質(zhì)量控制、安全管理等方面缺乏經(jīng)驗(yàn),售后服務(wù)等方面也與國(guó)外公司存在差距,因此主要市場(chǎng)為中低端。但是目前國(guó)內(nèi)企業(yè)一方面依靠通過(guò)產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)快速切入半導(dǎo)體刻蝕氣體,部分含氟氣體已經(jīng)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代,如三氟化氮、六氟化硫。國(guó)內(nèi)企業(yè)的優(yōu)勢(shì)主要在于利用產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)實(shí)現(xiàn)低價(jià)切入市場(chǎng),且近年來(lái)政府對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)扶持力度大大加強(qiáng),相關(guān)企業(yè)能夠享受到更多的政策補(bǔ)貼。三、下游市場(chǎng)蓄勢(shì)待發(fā)隨著半導(dǎo)體集成電路行業(yè)的發(fā)展,以及液晶面板行業(yè)的發(fā)展,對(duì)于大宗氣體及特種氣體的需求都將逐步增長(zhǎng)。特別是以長(zhǎng)江存儲(chǔ),合肥長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等新晶圓廠和以中芯國(guó)際、華虹為代表的老牌晶圓廠正處于產(chǎn)能擴(kuò)張期,未來(lái)3年將迎來(lái)密集投產(chǎn)。在液晶顯示領(lǐng)域,由于人工成本以及土地廠房等方面具有優(yōu)勢(shì),我國(guó)在近年來(lái)承接日本韓國(guó)等地轉(zhuǎn)移的顯示設(shè)備產(chǎn)能成效明顯,截至2018年中國(guó)已經(jīng)成為全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備及材料市場(chǎng)。特別是近幾年將是5G技術(shù)全面推廣的關(guān)鍵階段,因此視頻分辨率將會(huì)出現(xiàn)飛躍式的發(fā)展,從而拉動(dòng)顯示設(shè)備的替代需求。四、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)仍需完善近年來(lái),從中央到地方再到企業(yè),對(duì)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)越來(lái)越重視,對(duì)產(chǎn)品檢測(cè)方法、安全生產(chǎn)指南、應(yīng)用規(guī)范、檢測(cè)認(rèn)證平臺(tái)建設(shè)等標(biāo)準(zhǔn)化相關(guān)技術(shù)也日益重視。隨著經(jīng)濟(jì)全球化進(jìn)程的不斷加快,我國(guó)面臨著更加激烈的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)環(huán)境,技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)更是國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中最重要的領(lǐng)域之一。在電子氣體產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)的品種與品質(zhì)上,我國(guó)處于世界一流水平,但是在部分環(huán)節(jié)依然不完善,與SEMI標(biāo)準(zhǔn)相比,我國(guó)電子氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)在設(shè)備、安全環(huán)保、節(jié)能減排及產(chǎn)品包裝等方面暫時(shí)存在標(biāo)準(zhǔn)空白。因此要盡快建立和健全含氟電子氣體領(lǐng)域的標(biāo)

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