標準解讀

GB/T 25755-2010《真空技術 濺射離子泵 性能參數(shù)的測量》是一項國家標準，旨在規(guī)范濺射離子泵性能參數(shù)的測量方法。該標準適用于各類濺射離子泵，包括但不限于二極型、三極型和四極型等，主要針對其抽氣速率、極限壓力等關鍵性能指標進行規(guī)定。

根據(jù)標準內容，首先定義了濺射離子泵的基本術語與定義，明確了不同類型泵的工作原理及其應用范圍。接著，詳細描述了測試條件的要求，比如環(huán)境溫度、濕度以及電源電壓等參數(shù)都需控制在特定范圍內以確保測試結果的一致性和準確性。此外，還特別強調了測試前對設備狀態(tài)的檢查，確保泵體清潔無污染，并且處于良好工作狀態(tài)。

對于具體的測量方法，標準中給出了詳細的步驟說明。例如，在測定抽氣速率時，需要使用標準漏孔作為氣體源，通過監(jiān)測系統(tǒng)內壓力變化來間接計算出單位時間內能夠抽取的氣體量；而在評估極限壓力方面，則是通過長時間運行后觀察到的壓力最低值來進行判定。每一步驟都有嚴格的操作規(guī)程和技術要求，以保證數(shù)據(jù)的有效性。

此外，本標準還提供了關于如何處理實驗數(shù)據(jù)的方法，包括但不限于平均值計算、不確定度分析等內容，幫助用戶更科學地理解和利用測試所得信息。同時，也對報告編寫格式提出了建議，確保不同實驗室之間可以相互比較結果。

最后，標準還附有相關參考資料列表，為讀者進一步了解濺射離子泵及其測量技術提供了便利。通過遵循這些規(guī)定，不僅能夠提高濺射離子泵的質量控制水平，還能促進該領域內技術交流與發(fā)展。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2010-12-23 頒布
  • 2011-10-01 實施
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文檔簡介

ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標準

GB/T25755—2010

真空技術濺射離子泵性能參數(shù)的測量

Vacuumtechnology—Sputter-ionpumps—Measurementofperformance

characteristics

2010-12-23發(fā)布2011-10-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T25755—2010

前言

本標準由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標準起草單位北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司沈陽真空技術研究所

:、。

本標準主要起草人鄒蒙張勤德朱國精馬殿理李春影

:、、、、。

Ⅰ

GB/T25755—2010

真空技術濺射離子泵性能參數(shù)的測量

1范圍

本標準規(guī)定了濺射離子泵以下簡稱離子泵性能參數(shù)的測量方法

()。

本標準適用于名義體積流率大于的離子泵

10L/s。

本標準測量體積流率的壓力范圍從-3到-7

1.5×10Pa1×10Pa。

注本標準保證了離子泵性能參數(shù)的測量在相同的條件下按相同的方法進行由此做到由各制造廠家或各實驗室

:。

所作的測量與制造廠家在樣本中給定的資料是可比的

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款凡是注日期的引用文件其隨后所有

。,

的修改單不包括勘誤的內容或修訂版均不適用于本標準然而鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

(),,

是否可使用這些文件的最新版本凡是不注日期的引用文件其最新版本適用于本標準

。,。

真空技術術語

GB/T3163(GB/T3163—2007,ISO3529:1981,MOD)。

3術語和定義

確立的以及下列術語和定義適用于本標準

GB/T3163。

31

.

極限壓力ultimatepressure

測試罩中逐漸趨近的壓力值

。

注它是泵能獲得的最低壓力

1:。

注建議制造廠的說明書不要給出極限壓力值本標準中不給出極限壓力的測量程序但如果制造廠列出極限

2:。。

壓力則應當說明完成測量的工作條件

,。

32

.

最低工作壓力minimumoperationalpressure

p0

泵在關閉進氣閥烘烤過程結束后內在測試罩中逐漸接近的最低壓力

、48h。

體積流率volumeflowrate

qV

在理想條件下單位時間從測試罩流過離子泵入口的氣體體積

,。

注出于實際測量的原因離子泵對給定氣體的體積流率通常約定為等于該氣體的流量與給定點的平衡壓力之

1:,

商體積流率采用的單位為立方米每秒3或升每秒

,(m/s)(L/s)。

注有時用術語抽速和符號來代替體積流率

2:“”“s”。

33

.

名義抽速nominalpumpingspeed

S

n

對飽和的離子泵所測得的體積流率的最大值稱作名義抽速

。

注應給出在測此名義抽速時所測得的壓力p

1:。

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