標準解讀

GB/T 26250-2010《電子工業(yè)用氣體 砷化氫》是一項國家標準，旨在規(guī)定電子工業(yè)中使用砷化氫氣體的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和貯存的要求。該標準適用于半導體材料生長過程中作為摻雜劑使用的高純度砷化氫氣體。

根據(jù)標準內(nèi)容，對于砷化氫氣體的純度提出了具體要求，包括主成分含量和其他雜質(zhì)的最大允許濃度。此外，還詳細列出了檢測這些參數(shù)所需的方法和技術(shù)條件，確保產(chǎn)品符合安全性和性能上的高標準需求。

在質(zhì)量控制方面，標準明確了抽樣檢驗的原則與程序，保證了每批次產(chǎn)品的質(zhì)量一致性。同時，對如何正確標識產(chǎn)品信息（如生產(chǎn)日期、批號等）、采用何種方式包裝以保障運輸過程中的安全性等方面也給出了指導性意見。

關(guān)于儲存與運輸，標準強調(diào)了應(yīng)采取適當措施避免泄露或意外釋放，推薦使用專用容器，并且在操作時需遵守相關(guān)的安全操作規(guī)程和個人防護裝備佩戴指南，以減少對人體健康和環(huán)境可能造成的危害。


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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2011-01-14 頒布
  • 2011-05-01 實施
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文檔簡介

ICS71.100.20G86中華人民共和國國家標準GB/T26250—2010電子工業(yè)用氣體砷化氫Gasesforelectronicindustry-Arsine2011-01-14發(fā)布2011-05-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布中國國家標準化餐理委員會

GB/T26250—2010前本標準的附錄A和附錄B為規(guī)范性附錄本標準由全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出本標準由全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會（SAC/TC203/SC1)歸口本標準起草單位：西南化工研究設(shè)計院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計院。本標準主要起草人：孫福楠、方華、周鵬云、莊鴻濤、李建浩。

GB/T26250—2010電子工業(yè)用氣體砷化氫1范圍本標準規(guī)定了砷化氫的技術(shù)要求、試驗方法以及包裝、標志、運及安全本標準適用于砷化合物與酸反應(yīng)獲得的砷化氫。在半導體器件制備過程中，砷化氫用于摻雜以及化合物半導體外延分子式：AsH：相對分子質(zhì)量：77.94542（按2007年國際相對原子質(zhì)量計算）規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件.其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標準,然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。GB190危險貨物包裝標志GB/T3723工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T5832.1氣體濕度的測定第1部分：電解法GB7144氣瓶顏色標志GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法GB/T11640鋁合金無縫氣瓶GB14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定GB/T26571特種氣體儲存期規(guī)范《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布.2000年)技術(shù)要求神化氫的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求。技術(shù)指標種化氫（AsH。）純度(體積分數(shù)）/10-99.999氧(O.)十氫(Ar)含量(體積分數(shù))/10—氮(N.)含量(體積分數(shù))/10--氧化碳(CO)含量(體積分數(shù))/10-二氧化碳(CO.）含量(體積分數(shù))/10-甲烷(CH,)含量(體積分數(shù))/10-水（H.O)含量(體積分數(shù)）/10化氫(P

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