GB/T 26570.1-2011氣體中顆粒含量的測定光散射法第1部分：管道氣體中顆粒含量的測定

ICS7104040

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T265701—2011

.

氣體中顆粒含量的測定光散射法

第1部分管道氣體中顆粒含量的測定

:

Determinationofparticleingases—Light-scatteringmethod—

Part1Determinationofarticleinielineases

:pppg

2011-06-16發(fā)布2011-11-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T265701—2011

.

前言

氣體中顆粒含量的測定光散射法分為以下部分

GB/T26570《》:

第部分管道氣體中顆粒含量的測定

———1:;

第部分瓶裝氣體中顆粒含量的測定

———2:。

本部分是的第部分

GB/T265701。

本部分由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出

(SAC/TC203)。

本部分由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口

(SAC/TC203/SC1)。

本部分起草單位上海計量測試技術研究院西南化工研究設計院

:、。

本部分主要起草人陳鷹周鵬云

:、。

Ⅰ

GB/T265701—2011

.

氣體中顆粒含量的測定光散射法

第1部分管道氣體中顆粒含量的測定

:

1范圍

本部分規(guī)定了氣體中顆粒含量測定的術語和定義方法原理儀器要求試驗步驟校準和量值溯

、、、、

源結果計算和判別報告

、、。

本部分適用于通過管道輸送的氣體中顆粒大小及含量的測定顆粒直徑的檢測范圍

。:0.1μm~

10μm。

本部分不適用于瓶裝氣體及以液相狀態(tài)存在的氣體

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過的本部分的引用而成為本部分的條款凡是注日期的引用文

GB/T26570。

件其隨后所有的修改單不包括勘誤的內容或修訂版均不適用于本部分然而鼓勵根據(jù)本部分達成

,(),,

協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本凡是不注日期的引用文件其最新版本適用于本

。,

部分

。

塵埃粒子計數(shù)器計量校準規(guī)范

JJF1190

3術語和定義

下列術語和定義適用于本部分

。

31

.

背景測定值backgroundcountXB

()

不含有等于或大于規(guī)定粒徑的被測氣體通過粒子計數(shù)器時儀器的測定值

。

32

.

樣品體積gassamplevolumeVMVB

(,)

每次測定時通過顆粒計數(shù)器的樣品體積以標準狀態(tài)下立方米來表示標準狀態(tài)

,(:0℃,1.01×

5

10Pa)。

33

.

顆粒含量particleconcentration

測得的等于或大于規(guī)定粒徑的顆?？倲?shù)除以樣品體積而得出的值

。

34

.

粒度/顆粒直徑particlesize/particlediameter

通過光散射顆粒計數(shù)器測定得到的光學當量直徑

。

35

.

規(guī)定粒徑permissibleparticlesize

供需雙方商定的或氣體使用者規(guī)定的氣體中顆粒物的最大顆粒直徑

。

4方法原理

光在行進過程中遇到粉體顆粒