標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 32999-2016 表面化學(xué)分析 深度剖析 用機(jī)械輪廓儀柵網(wǎng)復(fù)型法測(cè)量濺射速率》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn),主要針對(duì)表面化學(xué)分析領(lǐng)域中利用機(jī)械輪廓儀通過柵網(wǎng)復(fù)型技術(shù)來測(cè)定材料表面在離子束濺射過程中的去除速率。該標(biāo)準(zhǔn)適用于各種固體材料,尤其是那些需要進(jìn)行精確表面深度剖析的樣品。
標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了實(shí)驗(yàn)所需的儀器設(shè)備、測(cè)試條件以及操作步驟。其中,機(jī)械輪廓儀是一種能夠高精度地測(cè)量物體表面形貌變化的工具,在此過程中扮演關(guān)鍵角色;而柵網(wǎng)復(fù)型法則是一種特殊的樣本制備方法,它允許研究人員更準(zhǔn)確地追蹤并量化由于濺射作用導(dǎo)致的表面形態(tài)改變情況。
按照該標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行時(shí),首先需準(zhǔn)備一個(gè)具有已知結(jié)構(gòu)特征(如特定圖案或紋理)的標(biāo)準(zhǔn)參考樣品,并在其上覆蓋一層薄金屬膜形成柵網(wǎng)。接著使用離子束對(duì)該樣品進(jìn)行處理,同時(shí)利用機(jī)械輪廓儀定期記錄下因?yàn)R射引起的變化。通過對(duì)這些數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,可以計(jì)算出單位時(shí)間內(nèi)材料被移除的具體量值,即所謂的“濺射速率”。
如需獲取更多詳盡信息,請(qǐng)直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。
....
查看全部
- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2016-10-13 頒布
- 2017-09-01 實(shí)施
下載本文檔
GB/T 32999-2016表面化學(xué)分析深度剖析用機(jī)械輪廓儀柵網(wǎng)復(fù)型法測(cè)量濺射速率-免費(fèi)下載試讀頁文檔簡(jiǎn)介
ICS7104040
G04..
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
表面化學(xué)分析深度剖析用機(jī)械輪
廓儀柵網(wǎng)復(fù)型法測(cè)量濺射速率
Surfacechemicalanalsis—Dethrofilin—Measurementofsutterinrate
yppgpg:
mesh-replicamethodusingamechanicalstylusprofilometer
(ISO/TR22335:2007,IDT)
2016-10-13發(fā)布2017-09-01實(shí)施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布
中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
目次
前言
…………………………Ⅲ
引言
…………………………Ⅳ
范圍
1………………………1
術(shù)語和定義
2………………1
符號(hào)和縮略語
3……………1
原理
4………………………2
方法
5………………………2
獲取柵網(wǎng)復(fù)型圖形
5.1…………………2
用輪廓儀測(cè)量濺射坑深度
5.2…………7
計(jì)算濺射速率
5.3………………………9
實(shí)驗(yàn)室間聯(lián)合比對(duì)結(jié)果總結(jié)
6……………9
附錄資料性附錄試樣表面和離子槍的幾何結(jié)構(gòu)配置
A()……………10
附錄資料性附錄柵網(wǎng)復(fù)型圖形與網(wǎng)孔尺寸的關(guān)系
B()………………13
參考文獻(xiàn)
……………………16
Ⅰ
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用表面化學(xué)分析深度剖析用機(jī)械輪廓儀柵網(wǎng)
ISO/TR22335:2007《
復(fù)型法測(cè)量濺射速率
》。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口
(SAC/TC38)。
本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位北京師范大學(xué)分析測(cè)試中心清華大學(xué)分析中心
:、。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人吳正龍姚文清
:、。
Ⅲ
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
引言
本標(biāo)準(zhǔn)給出了利用俄歇電子能譜和射線光電子能譜測(cè)定深度剖析離子濺射速率的
(AES)X(XPS)
方法試樣的離子濺射面積范圍為22首先在試樣上放置一個(gè)合適大小并和試樣表
,0.4mm~3.0mm。
面接觸的柵網(wǎng)通過離子濺射在試樣表面上復(fù)制一個(gè)柵網(wǎng)圖形然后通過機(jī)械輪廓儀測(cè)量出濺射深度
,。,
假設(shè)離子濺射速率恒定則濺射速率等于濺射深度除以濺射時(shí)間本標(biāo)準(zhǔn)提供了一種將深度剖析中離
,。
子濺射時(shí)間轉(zhuǎn)換為濺射深度的方法
。
Ⅳ
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
表面化學(xué)分析深度剖析用機(jī)械輪
廓儀柵網(wǎng)復(fù)型法測(cè)量濺射速率
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用俄歇電子能譜和射線光電子能譜測(cè)定深度剖析離子濺射速率的
(AES)X(XPS)
方法試樣的離子濺射面積范圍為22本標(biāo)準(zhǔn)只適用于橫向均勻的體相材料或單層
,0.4mm~3.0mm。
材料其離子濺射速率由濺射深度與濺射時(shí)間確定濺射深度通過機(jī)械探針輪廓儀測(cè)得
,,。
本標(biāo)準(zhǔn)提供了一種將深度剖析中的離子濺射時(shí)間轉(zhuǎn)換為濺射深度的方法并假設(shè)濺射速率恒定
,。
本方法不是為掃描探針顯微系統(tǒng)設(shè)計(jì)的因此不能用掃描探針顯微系統(tǒng)評(píng)價(jià)該方法本方法不適用于
,。
濺射面積小于2的情況也不適用于濺射誘導(dǎo)的表面粗糙度與被測(cè)區(qū)域的濺射深度相比較明顯
0.4mm,
的情況
。
2術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件
。
21
.
濺射時(shí)間sputteringtime
離子轟擊試樣表面的時(shí)間
。
22
.
濺射深度sputtereddepth
被分析試樣原始表面與經(jīng)深度剖析剝離一定量物質(zhì)后的表面之間的垂直距離[1]
。
23
.
濺射速率sputteringrate
濺射深度與濺射時(shí)間的比值
溫馨提示
- 1. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)文本僅供個(gè)人學(xué)習(xí)、研究之用,未經(jīng)授權(quán),嚴(yán)禁復(fù)制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡(luò)傳播等,侵權(quán)必究。
- 2. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)均為PDF格式電子版文本(可閱讀打?。驍?shù)字商品的特殊性,一經(jīng)售出,不提供退換貨服務(wù)。
- 3. 標(biāo)準(zhǔn)文檔要求電子版與印刷版保持一致,所以下載的文檔中可能包含空白頁,非文檔質(zhì)量問題。
最新文檔
- 農(nóng)業(yè)現(xiàn)代化發(fā)展與技術(shù)創(chuàng)新路徑
- 保育員如何培養(yǎng)幼兒良好的進(jìn)餐習(xí)慣
- 青島職業(yè)技術(shù)學(xué)院《電視節(jié)目導(dǎo)播》2023-2024學(xué)年第一學(xué)期期末試卷
- 青島遠(yuǎn)洋船員職業(yè)學(xué)院《鳥類生態(tài)學(xué)》2023-2024學(xué)年第一學(xué)期期末試卷
- 青島幼兒師范高等專科學(xué)?!冬F(xiàn)場(chǎng)訪談技能》2023-2024學(xué)年第一學(xué)期期末試卷
- 創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新策略與實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)分享匯報(bào)
- 蜜雪冰城產(chǎn)品定價(jià)策略分析
- 國際物流與跨境貿(mào)易的挑戰(zhàn)與機(jī)遇
- 青島農(nóng)業(yè)大學(xué)《儒商之道》2023-2024學(xué)年第一學(xué)期期末試卷
- 青島理工大學(xué)《景觀建筑小品設(shè)計(jì)》2023-2024學(xué)年第一學(xué)期期末試卷
- 出車前的安全檢查
- 山東省煙臺(tái)市2023-2024學(xué)年高一上學(xué)期期末考試 化學(xué) 含解析
- 科研入門講座模板
- 2024年度護(hù)士長(zhǎng)工作總結(jié)
- 餐飲服務(wù)電子教案 學(xué)習(xí)任務(wù)4 擺臺(tái)技能(1)-中餐零點(diǎn)餐臺(tái)擺臺(tái)
- 公司外部合作伙伴管理制度
- 11-三角形-八大題型(拔尖)
- 節(jié)能環(huán)保協(xié)議書
- 《籃球:原地持球交叉步突破》教案(三篇)
- 環(huán)境保護(hù)與可持續(xù)發(fā)展
- 掐絲琺瑯課程設(shè)計(jì)
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論