GB/T 34612-2017藍(lán)寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線測量方法

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34612—2017

藍(lán)寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線

測量方法

MeasurementmethodforX-raydoublecrystaldiffractionrockingcurve

ofsapphirecrystals

2017-10-14發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T34612—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所上海大恒光學(xué)精密機(jī)械有限公司中國科

:、、

學(xué)院新疆理化技術(shù)研究所新疆紫晶光電技術(shù)有限公司江蘇浩瀚藍(lán)寶石科技有限公司丹東新東方晶

、、、

體儀器有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人杭寅徐民潘世烈張方方趙興儉郭宏鶴趙松彬

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34612—2017

藍(lán)寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線

測量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了藍(lán)寶石晶體射線雙晶衍射搖擺曲線的測量方法

X。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍(lán)寶石晶體射線雙晶衍射搖擺曲線的測量

X。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

χ軸χaxis

傾斜樣品的軸由入射射線衍射射線束構(gòu)成的衍射平面與樣品表面相交而成

,X、X。

32

.

χ角χangle

樣品某晶面與樣品表面的夾角

。

33

.

φ角φangle

樣品臺(tái)繞樣品表面法線旋轉(zhuǎn)的角度

。

34

.

φ掃描φscan

連續(xù)改變角并記錄衍射強(qiáng)度的測量模式

φ。

35

.

ω角ωangle

入射射線與樣品表面夾角

X。

36

.

ω掃描ωscan

連續(xù)改變?chǔ)亟遣⒂涗浹苌鋸?qiáng)度的測量模式

。

4方法提要

41晶體是由空間間距為d的一系列平行的離子原子或分子平面構(gòu)成當(dāng)一束平行的單色射線

.、。X

射入該平面且射線在相鄰平面間的光程差為其波長的整數(shù)n倍時(shí)就會(huì)產(chǎn)生衍射反射當(dāng)入