標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 36504-2018 印刷線路板表面污染物分析 俄歇電子能譜》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，它規(guī)定了使用俄歇電子能譜（AES）技術(shù)對(duì)印刷線路板表面進(jìn)行污染物分析的方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于需要檢測(cè)和評(píng)估印刷線路板表面上可能存在的各種污染物質(zhì)的情況，包括但不限于有機(jī)物、無(wú)機(jī)鹽類(lèi)或其他形式的微粒污染。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，首先明確了術(shù)語(yǔ)定義及符號(hào)表示方法，確保在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中對(duì)于相關(guān)概念有一致的理解。接著詳細(xì)描述了樣品準(zhǔn)備的要求，強(qiáng)調(diào)了如何正確采集并處理待測(cè)樣品以保證測(cè)試結(jié)果的有效性與準(zhǔn)確性。此外，還具體介紹了儀器條件的選擇依據(jù)以及操作步驟，指導(dǎo)使用者如何設(shè)置合適的參數(shù)來(lái)進(jìn)行有效的俄歇電子能譜分析。

標(biāo)準(zhǔn)中還特別指出了數(shù)據(jù)處理與結(jié)果報(bào)告的方式，包括但不限于如何識(shí)別譜圖中的特征峰、計(jì)算元素濃度等關(guān)鍵信息，并要求最終報(bào)告應(yīng)包含所有必要的實(shí)驗(yàn)細(xì)節(jié)以便于復(fù)現(xiàn)或驗(yàn)證結(jié)果。同時(shí)，《GB/T 36504-2018》也提到了質(zhì)量控制的重要性，建議通過(guò)定期校準(zhǔn)設(shè)備、采用標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)等方式來(lái)保證長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性。

最后，該文件列出了附錄部分，提供了更多關(guān)于俄歇電子能譜基本原理的知識(shí)背景介紹，幫助讀者更好地理解和應(yīng)用這項(xiàng)技術(shù)。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2018-07-13 頒布
  • 2019-06-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS7104040

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T36504—2018

印刷線路板表面污染物分析

俄歇電子能譜

Guidefortheanalysisoftheprintedcircuitboardsurfacecontamination—

Augerelectronspectroscopy

2018-07-13發(fā)布2019-06-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T36504—2018

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)定義

3…………………1

方法概述

4…………………1

樣品制備與安裝

5…………………………2

分析步驟

6…………………3

測(cè)量報(bào)告

7…………………6

參考文獻(xiàn)

………………………7

GB/T36504—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位清華大學(xué)南京信息工程大學(xué)

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人姚文清楊立平騰飛徐同廣嚴(yán)楷李展平王雅君陳圣朱永法

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T36504—2018

引言

隨著高科技的發(fā)展需要提高電子產(chǎn)品的功能和性能高度集成化的工藝要求使印刷線路板越來(lái)越

,,

向微小精細(xì)的方向發(fā)展對(duì)于器件表面工藝技術(shù)有愈加苛刻的要求由此印刷線路板表面污染物分析

,。,

至關(guān)重要

。

俄歇電子能譜具有很高的表面靈敏度其檢測(cè)深度約為原子單層

(AES),3~10(0.4nm~5nm),

檢測(cè)極限為-3原子濃度空間分辨率可達(dá)到可用于分析除氫和氦以外元素的定性定

10,4nm,(Li-U)、

量分析廣泛用于材料的表面化學(xué)分析

,。

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種高分辨率俄歇電子能譜儀測(cè)量印刷線路板表面污染物的方法為印刷線路板的

,

失效分析提供了參考

。

Ⅱ

GB/T36504—2018

印刷線路板表面污染物分析

俄歇電子能譜

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種準(zhǔn)確測(cè)量印刷線路板鍍金手指表面污染物的方

PCB(printedcircuitboard)

法俄歇電子能譜法

———(AES)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于具有一定導(dǎo)電性固體表面納米尺度元素分布的準(zhǔn)確測(cè)量

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008

俄歇電子能譜分析方法通則

GB/T26533—2011

表面化學(xué)分析高分辨俄歇電子能譜儀元素和化學(xué)態(tài)分析用能量標(biāo)校準(zhǔn)

GB/T29731—2013

表面化學(xué)分析深度剖析濺射深度測(cè)量

GB/T29557—2013

表面化學(xué)分析分析樣品的制備和安裝方法指南

GB/T30815—2014

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜數(shù)據(jù)記錄與報(bào)告的規(guī)范要求

GB/T32565—2016(AES)

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜荷電控制與校正方法報(bào)告的規(guī)范要求

GB/T32998—2016

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4方法概述

41電離截面

.

電離截面是指原子中一個(gè)已被電子占據(jù)的殼層中將產(chǎn)生空位過(guò)程的截面是一束電子轟擊樣品

。

時(shí)具有能量的原電子束使原子內(nèi)殼層電離并形成空位的幾率

,。

根據(jù)半經(jīng)驗(yàn)方法計(jì)算電離截面可以用式來(lái)進(jìn)行計(jì)算

,(1)。

-

.×14abéUù

WWêú

Q=65110ê14-Uú

WE2?Uln.+.(1)?……(1)

W165235e

式中

:

Q原子的電離截面單位為平方厘米2

W———,

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