集成電路實(shí)習(xí)基地檢修與改造-集成電路制造工藝實(shí)訓(xùn)中心維護(hù)改造2022_第1頁(yè)
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集成電路制造工藝實(shí)訓(xùn)中心維護(hù)改造去離子水處理系統(tǒng)改造原水桶增設(shè)上、下液位傳感器和控制部分，起到報(bào)警和保護(hù)功能。原凈化樹(shù)脂桶已破損，必須新購(gòu)替換。凈化設(shè)備下增設(shè)接液盤(pán)，防止漏液外溢。硬件采購(gòu)費(fèi)用預(yù)計(jì)*萬(wàn)元；勞務(wù)費(fèi)用預(yù)計(jì)*萬(wàn)元（含專(zhuān)用工具）；合計(jì)約*萬(wàn)元。鍍膜設(shè)備檢修電子腔電源異常，高壓無(wú)法加載，必須檢查維修。腔室閥門(mén)和氣缸動(dòng)作異常，需檢修或采購(gòu)更換。前、后級(jí)真空泵需檢查維修。氣、液體管路需要檢修更換。預(yù)計(jì)硬件費(fèi)用*萬(wàn)元；勞務(wù)費(fèi)用預(yù)計(jì)*萬(wàn)元；合計(jì)約*萬(wàn)元。擴(kuò)散爐檢修（6管）溫控異常：檢查電源；檢查溫控器；檢查熱偶；檢查所有連線。檢查爐體，損壞涉及定制更換。檢查石英，損壞涉及定制更換。溫控異常檢查工作量大，熱偶、爐體、石英價(jià)格昂貴。硬件采購(gòu)費(fèi)用預(yù)計(jì)*萬(wàn)/管。勞務(wù)費(fèi)用預(yù)計(jì)*萬(wàn)/管。合計(jì)約*萬(wàn)元（6管）。氣房檢修改造氣瓶閥銹蝕，更換；空壓機(jī)銹蝕，更換；地板、墻面損壞嚴(yán)重，需處理。材料費(fèi)用預(yù)計(jì)*萬(wàn)元；勞務(wù)費(fèi)用預(yù)計(jì)*萬(wàn)元；合計(jì)約*萬(wàn)元?？偨Y(jié)&建議上述設(shè)備長(zhǎng)期未進(jìn)行維保，系統(tǒng)啟動(dòng)異常，部分功能已失效，通過(guò)上述檢修和改造，可恢復(fù)其基本功能，同時(shí)，因設(shè)備老舊，恢復(fù)后也必須在資深人員的指導(dǎo)下操作。為適應(yīng)國(guó)內(nèi)集成電路行業(yè)的高速發(fā)展，建議適時(shí)配置一些新型的設(shè)備，比如：鍍膜設(shè)備、擴(kuò)散爐等設(shè)備，國(guó)產(chǎn)化的價(jià)格大多在每臺(tái)*~*萬(wàn)之間

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