中國(guó)MEMS傳感器行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀及未來發(fā)展趨勢(shì)分析

中國(guó)MEMS傳感器行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀及未來發(fā)展趨勢(shì)分析

MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)（MicroelectroMechanicalSystems）在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過40多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。

過去幾年中，MEMS傳感器的銷售額一直保持著穩(wěn)步的增長(zhǎng)。2017年，全球MEMS傳感器和執(zhí)行器總體市場(chǎng)規(guī)模為115億美元，其中MEMS傳感器為61億美元，增長(zhǎng)17.3%，預(yù)計(jì)2018年，全球MEMS傳感器銷售額將增長(zhǎng)10%以上，達(dá)到68億美元。2016-2018年全球MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模及增速

美國(guó)是MEMS產(chǎn)業(yè)、技術(shù)和產(chǎn)品的發(fā)源地，其發(fā)展水平世界領(lǐng)先。上世紀(jì)60年代，斯坦福等大學(xué)就從事MEMS領(lǐng)域的研究開發(fā)，佐治亞理工學(xué)院和美國(guó)加利福尼亞大學(xué)洛杉磯分校等眾多美國(guó)大學(xué)幾乎都建立有自己的MEMS晶圓生產(chǎn)線。美國(guó)麻省理工學(xué)院、斯坦福大學(xué)、加利福尼亞大學(xué)伯克利分校、凱斯西儲(chǔ)大學(xué)等還開發(fā)用于MEMS研究的設(shè)備、儀器等，支撐其技術(shù)研究。各學(xué)校一邊研究探索，同時(shí)也相互不斷進(jìn)行技術(shù)與業(yè)務(wù)的交流，并與產(chǎn)業(yè)界組建成聯(lián)盟，促進(jìn)MEMS技術(shù)及時(shí)轉(zhuǎn)化成MEMS產(chǎn)品。

經(jīng)過長(zhǎng)期的發(fā)展，美國(guó)已發(fā)展為集官、產(chǎn)、學(xué)、研、金融等為一體的較為完整的MEMS產(chǎn)業(yè)體系。其用來進(jìn)行MEMS產(chǎn)品生產(chǎn)的晶圓尺寸目前基本與IC同步，呈現(xiàn)大口徑化、智能化，與人體神經(jīng)元和大腦信息互通互聯(lián)，與IC芯片、計(jì)算機(jī)軟件、數(shù)據(jù)采集和處理技術(shù)等多位一體化發(fā)展的趨勢(shì)。同時(shí)，應(yīng)用領(lǐng)域也不斷向軍事、醫(yī)療、生物、仿生學(xué)、航空航天等領(lǐng)域全方位快速滲透和發(fā)展。

目前，美國(guó)主要的MEMS傳感器公司有德州儀器（TI）、模擬器件（ADI）、飛思卡爾、樓氏電子（Knowles）、SiTime、惠普、IMT、SiliconMicrostructures（SMI）、GEInfrastructureSensing等。大部分半導(dǎo)體制造公司同時(shí)具有MEMS生產(chǎn)加工的業(yè)務(wù)。根據(jù)數(shù)據(jù)2017年全球MEMS傳感器銷售規(guī)模為61億美元，其中美國(guó)占比23.8%，即為14.5億美元。2016-2018年美國(guó)MEMS傳感器行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模（億美元）

歐洲各國(guó)政府積極制定相關(guān)規(guī)定推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)和技術(shù)的發(fā)展，歐洲國(guó)家政府要求2012年汽車必須采用電子穩(wěn)定控制（ESC）和輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。歐洲新車評(píng)估體系（NCAP）等汽車安全性評(píng)估系統(tǒng)雖然是一種自愿評(píng)估機(jī)制，但目前得到了歐洲各國(guó)政府、汽車俱樂部和消費(fèi)者組織的支持。在德國(guó)，汽車MEMS傳感器行業(yè)一直發(fā)展很好，企業(yè)RobertBosch仍是目前汽車MEMS傳感器的龍頭業(yè)者。

根據(jù)數(shù)據(jù)2017年全球MEMS傳感器銷售規(guī)模為61億美元，其中德國(guó)占比10.5%，即為8.7億美元。2016-2018年德國(guó)MEMS傳感器行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模（億美元）

日本政府從2007年起相繼推出了與MEMS相關(guān)的國(guó)家項(xiàng)目，推動(dòng)MEMS相關(guān)開發(fā)。例如，日本文部科學(xué)省科學(xué)技術(shù)及學(xué)術(shù)政策局推出“尖端融合領(lǐng)域革新創(chuàng)造基地的形成”計(jì)劃課題——“微系統(tǒng)融合研究開發(fā)”啟動(dòng)了產(chǎn)學(xué)合作項(xiàng)目。日本東北大學(xué)與理光、豐田汽車等11家公司共同啟動(dòng)了產(chǎn)學(xué)合作項(xiàng)目。目標(biāo)是通過走在MEMS領(lǐng)域前沿的研究小組與擁有具體應(yīng)用對(duì)象的企業(yè)合作，使各種MEMS技術(shù)盡快達(dá)到實(shí)用水平。

日本MEMS傳感器公司的最新技術(shù)發(fā)展動(dòng)向主要有：智能視覺傳感器、快速圖像檢索、人機(jī)接口MEMS器件、智能汽車感應(yīng)系統(tǒng)等。如：日本東京早稻田大學(xué)研制出通過肺、舌頭、聲帶和喉嚨發(fā)出聲音的機(jī)器人WT-4，使科學(xué)家們對(duì)大腦如何控制說話系統(tǒng)有了更深的了解。WT-4不僅使用機(jī)器肺臟與聲帶，還增加了機(jī)動(dòng)靈活的舌頭、柔軟的上腭、嘴唇和牙齒，能夠更加清晰地讀出日本字母發(fā)音等，能模仿人類的聲音。

目前，日本主要的MEMS公司有豐田電裝DENSO、松下、歐姆龍（Omron）、Matsushita、沖電氣（Oki）、村田制作所（Murata）、愛普生、三菱電