




版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
聚焦離子束系統(tǒng)虛擬仿真實驗報告姓名余丹洋 學(xué)號 專業(yè)班級應(yīng)物一班一、實驗?zāi)康牧私饩劢闺x子束系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)和工作原理;掌握掃描電鏡參數(shù)設(shè)置和操作流程;品的相互作用以及其產(chǎn)生的信號在測試分析中的作用;體驗?zāi)M方法在聚焦離子束系統(tǒng)實驗中的應(yīng)用。二、實驗原理3D聚焦離子束系統(tǒng)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀觀測手段1所示。背反射電子是指被固體樣品原子反射回來的一部分入射電子。背反射電子的產(chǎn)生范圍在100nm-1mm深度,如圖2所示。背反射電子束成像分辨率一般為50-200nm(與電子束斑直徑相當(dāng))。背反5-10nm的區(qū)域,能0-50eVX500nm-5mm圖1電子束和樣品表面作用的現(xiàn)象 圖2電子束在樣品中的散射現(xiàn)象1x入射電子束斑的大小,成像信號(二次電子、背散射電子等)。表1各種信號成像分辨率(單位:nm)信號信號二次電子背散射電子吸收電子x俄歇電子分辨率5~1050~200100~1000100~10005~10和As的放大倍數(shù)。聚焦離子束刻蝕是指當(dāng)定向高能離子向固體靶撞擊時100nm以下,最少的達到10nm小,并能以較快的速度進行小于50nm的刻蝕,故而聚焦離子束刻蝕是納米加工的一種理想三、實驗儀器和材料MicroscopeControlbuild2898HeliosNexTGenVacuumcontrol四、實驗內(nèi)容樣品的制備和裝載。樣品室抽真空。電鏡掃描參數(shù)設(shè)置,觀測樣品、調(diào)節(jié)并獲取掃描圖像。離子束刻蝕和離子束沉積。五、實驗步驟和操作流程1開始實驗2樣品制備3裝載樣品充入氮氣。點擊場景中的樣品腔,打開樣品腔。(4)(5)點擊樣品腔艙門,關(guān)閉樣品腔。(6)樣品室抽真空。4觀察樣品軟件系統(tǒng)開機MicroscopeControl4(窗口,離子束觀察窗口,樣品導(dǎo)航窗口和樣品室觀察窗口)和1低倍下先初步將樣品聚焦,調(diào)好亮度,對比度。根據(jù)樣品性質(zhì)在菜單欄中選擇合適的電流、電壓。用蒙太奇掃描方法找到要觀察的部位。5調(diào)試圖像及照相低倍率下調(diào)節(jié)電子像的亮度、對比度。將樣品放大至所需倍數(shù),聚焦,調(diào)亮度、對比度,使圖像完好。保存電子束掃描照片。點擊beam6刻蝕和沉積操作(2)調(diào)整樣品臺角度T至52°,此時點擊“”按鈕,暫停掃描窗口(當(dāng)前選擇的活動窗口還是離子束窗口)。(1)On”焦距值,使得樣品臺Z(2)調(diào)整樣品臺角度T至52°,此時點擊“”按鈕,暫停掃描窗口(當(dāng)前選擇的活動窗口還是離子束窗口)。(此處以Circle為例畫出需要刻蝕形狀。調(diào)節(jié)需要刻蝕的參數(shù)。Application參數(shù)選擇Cdep。CdepGasInjection中,對應(yīng)GIS就變成灰色。點擊“BeamOnUp加熱前務(wù)必關(guān)閉離子束。氣體變?yōu)榧訜釥顟B(tài)。右擊Flow”打開氣體,釋放GIS針管內(nèi)可能存有的未釋放氣體(離子束為關(guān)閉狀態(tài))。點擊“Beam(7)點擊“ ”按鈕,開始沉積。(8)點擊“”啟動離子掃描觀察窗口,可以看見沉積后的圖案。沉積完成以后,其他變?yōu)?7)點擊“ ”按鈕,開始沉積。(8)點擊“”啟動離子掃描觀察窗口,可以看見沉積后的圖案。沉積現(xiàn)象如圖39“Delete”鍵,刪除被選中的形狀。(11)點擊beamon,關(guān)閉離子束,結(jié)束實驗。六、實驗數(shù)據(jù)(插入實驗結(jié)果圖像)掃描圖像1掃描圖像1(100倍)選擇合適掃描圖像2(5,0000倍)1.掃描電鏡觀測樣品掃描圖像(200000倍)樣品臺圖像T傾角 0電壓10KV選擇合適電流pA100樣品臺Z軸4.0592mm表2離子束刻蝕和沉積的實驗數(shù)據(jù)和實驗現(xiàn)象記錄表選擇合適選擇合適刻蝕前圖像刻蝕后圖像電壓30KV2.離子束電pA流800刻蝕樣品臺Z軸 4.0592 mmTT傾角51.9000 ?選用物質(zhì)選擇合適sio沉積前圖像沉積后圖像電壓 30KV電流pA8003.離子束沉積樣品臺Z軸 4.0592mmT傾51.90000角?選用物質(zhì)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- T/SXGX 002-2021熱成形焊接空心球類節(jié)點技術(shù)規(guī)程
- 兒科門診霧化吸入護理實踐專家共識解讀
- 貧血護理疾病查房
- 心肌疾病患者的護理
- T/SHPTA 071.2-2023高壓電纜附件用橡膠材料第2部分:半導(dǎo)電橡膠材料
- 2025合同能源管理項目商業(yè)策劃書
- 新聞稿活動培訓(xùn)
- 2025解除協(xié)議合同書格式
- 2025物業(yè)保安勞動合同范本
- 2025室內(nèi)裝修工程勞務(wù)承包合同(試行)
- 2025年蘇州市中考英語二模模擬試題(六)(含解析)
- 2025年耐熱玻璃器皿行業(yè)深度研究報告
- 護理影像學(xué)試題及答案總結(jié)
- DB65-T 4623-2022 分散式風(fēng)電接入電力系統(tǒng)管理規(guī)范
- 水電使用合同協(xié)議書
- 退休終止勞動合同協(xié)議書
- 中國獸藥典三部 2020年版
- NB/T 11646-2024井工煤礦采空區(qū)自然發(fā)火監(jiān)測預(yù)警技術(shù)規(guī)范
- 實驗室質(zhì)量管理體系與試題
- 嬰幼兒期的食物過敏識別與管理考核試題及答案
- 江蘇省宿遷市2024年中考道德與法治真題試卷含解析答案
評論
0/150
提交評論