光學(xué)薄膜膜系設(shè)計

光學(xué)薄膜膜系設(shè)計第一頁，共二十五頁，2022年，8月28日1、減反射薄膜的設(shè)計光學(xué)元件表面反射造成的問題光能量損失，使像的亮度降低；雜散光造成像的襯度降低，分辨率下降。第二頁，共二十五頁，2022年，8月28日第三章光學(xué)薄膜膜系設(shè)計1、減反射薄膜的設(shè)計2、高反膜的設(shè)計3、中心分束膜的設(shè)計4、截至濾光片的設(shè)計5、帶通濾光片的設(shè)計6、偏振薄膜第三頁，共二十五頁，2022年，8月28日1、減反射薄膜的設(shè)計1.1單層減反射薄膜的設(shè)計1.2雙層減反射薄膜的設(shè)計1.3多層減反射薄膜的設(shè)計1.4高折射率基地上減反膜設(shè)計1.5防眩光吸收膜第四頁，共二十五頁，2022年，8月28日1.1單層減反射薄膜的設(shè)計規(guī)整膜系：各層薄膜的光學(xué)厚度為設(shè)計波長的四分之一。設(shè)計波長（參考波長、中心波長）膜系：G/HLM/A，G代表基底H（L、M）代表高（低、中）折射率膜層并且光學(xué)厚度為設(shè)計波長的四分之一A代表出設(shè)介質(zhì)（一般為空氣）第五頁，共二十五頁，2022年，8月28日1.1單層減反射薄膜的設(shè)計第六頁，共二十五頁，2022年，8月28日例子折射率為1.52的玻璃，要在波長500納米處垂直入射.得到零反射率，需要做什么樣的膜層，也就是如何選擇折射率和薄膜的光學(xué)厚度？第七頁，共二十五頁，2022年，8月28日缺點：1、剩余反射率還太高；

2、破壞色平衡單層減反射膜G/L/A1.52/1.38/1第八頁，共二十五頁，2022年，8月28日1.2雙層減反射薄膜的設(shè)計1.521.71.3811.38第九頁，共二十五頁，2022年，8月28日1.2雙層減反射薄膜的設(shè)計缺點：1、剩余反射率還太高

2、破壞色平衡

3、通帶越來越窄（和單層膜比較）V型雙層減反射膜G/HL/A1.52/1.7,1.38/1第十頁，共二十五頁，2022年，8月28日1.2雙層減反射薄膜的設(shè)計

1.521.71.3811.381.7第十一頁，共二十五頁，2022年，8月28日

與無關(guān)。即:

B.存在C.D.

特點:

可得到W形透射光譜曲線。第十二頁，共二十五頁，2022年，8月28日1.2雙層減反射薄膜的設(shè)計W型雙層減反射膜G/HHL/A缺點：明顯的反射峰（中心波長）第十三頁，共二十五頁，2022年，8月28日1.3三層減反射薄膜的設(shè)計11.382.051.62R1R21.52第十四頁，共二十五頁，2022年，8月28日三層減反射膜G/MHHL/AG/M2HL/A第十五頁，共二十五頁，2022年，8月28日

下圖是此膜系的一條可能的曲線。

注意：在薄膜光學(xué)中，為了使一次具體的計算結(jié)果不被局限在一個特定的波段，引入了一個中間變量——相對波數(shù)，。第十六頁，共二十五頁，2022年，8月28日a.對g=1，三層膜中有一層虛設(shè)層2H，致使對λ0的有效膜堆是

顯然，此值小于膜堆的R值；

b.對g≠1的其它相當(dāng)寬的波數(shù)段，R值比任何一種兩層膜都低。各層膜參數(shù)對膜系總體性能的影響規(guī)律a.改變(N2d2)，可使Tmax移到不同的波長；

b.改變N1、

N3、

d1、

d3、中任何一個，可改變減反射帶寬（波段寬度）和T-λ曲線波形。第十七頁，共二十五頁，2022年，8月28日四層和四層以上增透膜的設(shè)計通常遇到的問題：a.三層膜系的增透波段不夠?qū)?，或剩余反射率還太高；

b.滿足設(shè)計要求的三種材料無法找全。第十八頁，共二十五頁，2022年，8月28日

解決的辦法

a.在2H層兩側(cè)增加新膜層。每加一層，應(yīng)對可能的組合進(jìn)行計算對比，直至滿足要求；

b.以兩種材料為基礎(chǔ)，按照先簡后繁的原則：“用兩層厚的H.L替代M層”；“用不等厚的H.L替代M層”；“用對稱（不一定等厚）的三層膜LHL替代M層”；直到滿足要求。

第十九頁，共二十五頁，2022年，8月28日C替代層技術(shù)等效定律任意一個周期性對稱膜系都存在一個單層膜與之等效。等效折射率就是基本周期的等效折射率；等效相位厚度等于基本周期的等效相位厚度的周期數(shù)倍。第二十頁，共二十五頁，2022年，8月28日光學(xué)薄膜膜系的計算機(jī)優(yōu)化優(yōu)化一個可達(dá)到指標(biāo)的最少層數(shù)的1/4膜系結(jié)構(gòu)；用三層對稱膜系合成折射率不易實現(xiàn)的膜層；再次優(yōu)化膜層厚度，以補償合成所帶來的特性下降。第二十一頁，共二十五頁，2022年，8月28日K9/MH1H2H3L/AnM=1.63,nH1=1.95,nH2=2.32,nH3=1.87,NL=1.38nH1=1.950.379H22nH320.288LK9/M0.379H22

H220.288L

L/AK9/1.14M0.364H22

21.14

L/A第二十二頁，共二十五頁，2022年，8月28日1.4高折射率基底的減反射膜遞減法膜層厚度均為1/4波長；折射率從基底到空氣依次減??；K層膜實現(xiàn)k個波長位置的零反射；反射點