半導(dǎo)體器件可靠性與失效分析微電子

半導(dǎo)體器件可靠性與失效分析

2011-2012-1教材：付桂翠,陳穎等,<電子元器件可靠性技術(shù)教程>

北京航空航天大學(xué)出版社,2010年7月第一版.(普通高?！笆晃濉币?guī)劃教材)參考書:孔學(xué)東,恩云飛,<電子元器件失效分析與典型案例>,國防工業(yè)出版社,2006年9月第一版.王蘊輝,于宗光等,<電子元器件可靠性設(shè)計>,科學(xué)出版社.孫青等,<電子元器件可靠性工程>,電子工業(yè)出版社.

理論教學(xué)內(nèi)容1.元器件概述(1)2.元器件制造工藝與缺陷(1)3.微電子封裝技術(shù)與失效(1)4.可靠性試驗與評價技術(shù)(3)5.使用可靠性設(shè)計(2)6.元器件的降額設(shè)計與熱設(shè)計(4)7.靜電放電損傷及防護(2)8.可靠性篩選(2)9.破壞性物理分析與失效分析(6)10.失效分析案例(4)

實驗教學(xué)內(nèi)容名稱：集成壓電類器件的破壞性物理分析學(xué)時：4學(xué)時實驗性質(zhì)：綜合性實驗元器件：選擇包括有電阻電容等元件、集成電路等器件及其連接的較復(fù)雜、綜合性強的集成類壓電器件，例如(有源)壓電蜂鳴器進行分析。

第一章元器件概述1.1元器件的定義與分類定義：歐洲空間局ESA標準中的定義：完成某一電子、電氣和機電功能，并由一個或幾個部分構(gòu)成而且一般不能被分解或不會破壞的某個裝置。GJB4027-2000《軍用電子元器件破壞性物理分析方法》中的定義：在電子線路或電子設(shè)備中執(zhí)行電氣、電子、電磁、機電或光電功能的基本單元，該基本單元可由一個或多個零件組成，通常不破壞是不能將其分解的。分類：兩大類元件：在工廠生產(chǎn)加工時不改變分子成分的成品，本身不產(chǎn)生電子，對電壓、電流無控制和變換作用。器件：在工廠生產(chǎn)加工時改變了分子結(jié)構(gòu)的成品，本身能產(chǎn)生電子，對電壓電流的控制、變換(放大、開關(guān)、整流、檢波、振蕩和調(diào)制等)，也稱電子器件。分類(來源：2007年版的《軍用電子元器件合格產(chǎn)品目錄》)電阻最可靠的元件之一失效模式：開路、機械損傷、接點損壞、短路、絕緣擊穿、焊接點老化造成的電阻值漂移量超過容差電位器失效模式：接觸不良、滑動噪聲大、開路等二極管集成電路失效模式：漏電或短路，擊穿特性劣變，正向壓降劣變，開路可高阻失效機理：電遷移，熱載流子效應(yīng)，與時間相關(guān)的介質(zhì)擊穿(TDDB)，表面氧化層缺陷，絕緣層缺陷，外延層缺陷聲表面波器件MEMS壓力傳感器MEMS器件的主要失效機理1.粘附----兩個光滑表面相接觸時，在力作用下粘附在一起的現(xiàn)象；2.蠕變----機械應(yīng)力作用下原子緩慢運動的現(xiàn)象；變形、空洞；3.微粒污染----阻礙器件的機械運動；4.磨損----尺寸超差，碎片卡入；5.疲勞斷裂----疲勞裂紋擴展失效。真空電子器件(vacuumelectronicdevice)指借助電子在真空或者氣體中與電磁場發(fā)生相互作用，將一種形式電磁能量轉(zhuǎn)換為另一種形式電磁能量的器件。具有真空密封管殼和若干電極，管內(nèi)抽成真空，殘余氣體壓力為10-4～10-8帕。有些在抽出管內(nèi)氣體后，再充入所需成分和壓強的氣體。廣泛用于廣播、通信、電視、雷達、導(dǎo)航、自動控制、電子對抗、計算機終端顯示、醫(yī)學(xué)診斷治療等領(lǐng)域。真空電子器件按其功能分為：實現(xiàn)直流電能和電磁振蕩能量之間轉(zhuǎn)換的靜電控制電子管；將直流能量轉(zhuǎn)換成頻率為300兆赫～3000吉赫電磁振蕩能量的微波電子管；利用聚焦電子束實現(xiàn)光、電信號的記錄、存儲、轉(zhuǎn)換和顯示的電子束管；利用光電子發(fā)射現(xiàn)象實現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換的光電管；產(chǎn)生X射線的X射線管；管內(nèi)充有氣體并產(chǎn)生氣體放電的充氣管；以真空和氣體中粒子受激輻射為工作機理，將電磁波加以放大的真空量子電子器件等。

自20世紀60年代以后，很多真空電子器件已逐步為固態(tài)電子器件所取代，但在高頻率、大功率領(lǐng)域，真空電子器件仍然具有相當生命力，而電子束管和光電管仍將廣泛應(yīng)用并有所發(fā)展。[1]

真空電子器件里面就包含真空斷路器，真空斷路器具有很多優(yōu)點，所以在變電站上應(yīng)用很多。真空斷路器已被快易優(yōu)收錄，由于采用了特殊的真空元件，隨著近年來制造水平的提高，滅弧室部分的故障明顯降低。真空滅弧室無需檢修處理，當其損壞時，只能采取更換。真空斷路器運行中發(fā)生的故障以操作機構(gòu)部分所占比重較大，其次為一次導(dǎo)電部分，觸頭導(dǎo)電桿等。

第二章

元器件制造工藝與缺陷2.1芯片加工中的缺陷與成品率預(yù)測芯片制造缺陷的分類：全局缺陷：光刻對準誤差、工藝參數(shù)隨機起伏、線寬變化等；在成熟、可控性良好的工藝線上，可減少到極少，甚至幾乎可以消除。局域缺陷：氧化物針孔等點缺陷，不可完全消除，損失的成品率更高。點缺陷：冗余物、丟失物、氧化物針孔、結(jié)泄漏來源：灰塵微粒、硅片與設(shè)備的接觸、化學(xué)試劑中的雜質(zhì)顆粒。

2.2混合集成電路的失效混合集成電路工藝：

IC工藝：氧化、擴散、鍍膜、光刻等厚膜工藝：基板加工、制版、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)、激光調(diào)阻、分離元器件組裝等薄膜工藝：基板加工、制版、薄膜制備、光刻、電鍍等失效原因：元器件失效：31%

互連失效：23%，引線鍵合失效、芯片粘結(jié)不良等；沾污失效：21%關(guān)于混合集成電路：按制作工藝，可將集成電路分為:1.半導(dǎo)體集成電路(基片：半導(dǎo)體)

即:單片集成電路(固體電路)

工藝:半導(dǎo)體工藝(擴散、氧化、外延等)

2.膜集成電路(基片：玻璃、陶瓷等絕緣體)

工藝：薄膜集成電路真空蒸鍍?yōu)R射化學(xué)氣相沉積技術(shù)厚膜集成電路漿料噴涂在基片上經(jīng)燒結(jié)而成(絲網(wǎng)印刷技術(shù))

3.混合集成電路(HybridIntegratedCircuit)

特點：充分利用半導(dǎo)體集成電路和膜集成電路各自的優(yōu)點，達到優(yōu)勢互補的目的．

工藝：用膜工藝制作無源元件，用半導(dǎo)體IC或晶體管制作有源器件．三種集成電路的比較

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混合IC膜IC半導(dǎo)體IC成本低批量時成本下降在批量時下降可靠性好可靠性好可靠性最好自由度大自由度較大自由度受限制設(shè)計周期短設(shè)計周期較短設(shè)計周期長1~1M1~10M101~101k1~10F1.2F50pF10mH100H不能實現(xiàn)

混合IC膜IC半導(dǎo)體IC無源元件精度：≥±10%有源器件精度：±10～20%無源元件精度：≥±５%有源器件精度：±10～20%無源元件精度：≥±20～30%差有源器件精度：±20~30%差集成度較低集成度較高集成度最高超高頻、大(極低)功率、高壓大電流、元件類型多的電路含無源元件多、阻值范圍寬、精度高、跟蹤溫度系數(shù)好的模擬電路有源器件多，數(shù)字電路，脈沖電路，標準化模擬電路

3.微電子封裝技術(shù)與失效3.1微電子封裝的分級：零級封裝：通過互連技術(shù)將芯片焊區(qū)與各級封裝的焊區(qū)連接起來；一級封裝(器件級封裝)：將一個或多個IC芯片用適宜的材料封裝起來，并使芯片的焊區(qū)與封裝的外引腳用引線鍵合(WB)、載帶自動焊(TAB)和倒裝焊(FC)連接起來，使之成為有功能的器件或組件，包括單芯片組件SCM和多芯片組件MCM兩大類

二級封裝(板極封裝)：將一級微電子封裝產(chǎn)品和無源元件一同安裝到印制板或其他基板上，成為部件或整機。三級封裝(系統(tǒng)級封裝)：將二極封裝產(chǎn)品通過選層、互連插座或柔性電路板與母板連接起來，形成三維立體封裝，構(gòu)成完整的整機系統(tǒng)(立體組裝技術(shù))3.2微電子的失效機理1.熱/機械失效熱疲勞熱疲勞失效主要是由于電源的閉合和斷開引起熱應(yīng)力循環(huán)，造成互連焊點變形，最終產(chǎn)生裂紋失效分析例子3-1連接器的過機械應(yīng)力疲勞損傷樣品：SMA連接器(陰極)現(xiàn)象：外部插頭(陽極)與該SMA接頭連接不緊，裝機前插拔力檢驗合格失效模式：接觸不良半圓弧夾片明顯偏離(孔學(xué)東,恩云飛主編的電)插孔周邊絕緣介質(zhì)有較深的插痕(孔學(xué)東,恩云飛主編的電)偏離的半圓夾片根部有裂紋(孔學(xué)東,恩云飛主編的電)半圓片裂紋斷面(孔學(xué)東,恩云飛主編的電)蠕變----材料在長時間恒溫、恒壓下，即使應(yīng)力沒有達到屈服強度，也會慢慢產(chǎn)生塑性變形的現(xiàn)象蠕變導(dǎo)致焊點斷裂脆性斷裂當應(yīng)力超過某一值時，陶瓷、玻璃和硅等脆性材料易發(fā)生脆性斷裂。斷裂一般發(fā)生在有初始裂紋和刻痕的地方，當原有裂紋擴展到器件的有源區(qū)時，器件將失效。塑性變形當應(yīng)力超過材料的彈性限度或屈服點時，將發(fā)生塑性變形(永久)：金屬：電阻升高或開裂陶瓷等脆性材料：開裂

MEMS系統(tǒng)：影響精度甚至不能正常工作封裝界面層分層

----粘連在一起的不同層之間出現(xiàn)剝離或分離的現(xiàn)象原因：表面缺陷表面存在水汽和揮發(fā)物材料不均或表面粗糙等塑封件因熱膨脹系數(shù)不同，溫度變化大時會出現(xiàn)；塑封件因吸收過多潮氣，在受熱例如焊接過程中出現(xiàn)分層(爆米花現(xiàn)象)；

BGA封裝中，模塑料與基體界的界面及粘膠處易發(fā)生水汽爆裂。應(yīng)力遷移(StressMigration)

引子：銅互連替代鋁互連，雖然銅的電阻率較低，抗電遷移和應(yīng)力遷移能力強，但應(yīng)力遷移誘生空洞，導(dǎo)致電阻增大甚至完全斷裂出現(xiàn)條件：應(yīng)力梯度—絕緣介質(zhì)與銅之間的熱失配所致位置：通孔和金屬連線邊緣等應(yīng)力集中區(qū)域影響因素：應(yīng)力、應(yīng)力梯度、互連結(jié)構(gòu)、工作溫度、金屬介質(zhì)界面粘附性、互連材料的微觀結(jié)構(gòu)銅導(dǎo)線上的應(yīng)力遷移空洞2.電致失效電遷移(ElectronicMigration)

強電流經(jīng)過金屬線時，金屬離子等會在電流及其他因素相互作用下移動并在線內(nèi)形成孔隙或裂紋的現(xiàn)象原因：電場作用下金屬離子擴散所致，不同材料機制不同：焊點：晶格擴散鋁互連線：晶界擴散銅互連線：表面擴散驅(qū)動力：電子與離子動量交換和外電場產(chǎn)生的綜合力、非平衡態(tài)離子濃度產(chǎn)生的擴散力、機械應(yīng)力、熱應(yīng)力影響因素：幾何因素：長度、線寬、轉(zhuǎn)角、臺階、接觸孔等材料性質(zhì)：銅最好、鋁較差、鋁銅合金介于其中金屬遷移失效模式：金屬互連線電阻值增大或開路失效機理：電子風(fēng)效應(yīng)產(chǎn)生條件：電流密度大于10E5A/cm2

高溫糾正措施：高溫淀積，增加鋁顆粒直徑，摻銅，降低工作溫度，減少階梯，銅互連、平面化工藝

互連線和焊點的電遷移閂鎖效應(yīng)(Latch-up)----寄生PNPN效應(yīng)由于MOS管存在寄生晶體管效應(yīng)(CMOS管下面會構(gòu)成多個晶體管，它們自身可能構(gòu)成一個電路)，若電路偶然出現(xiàn)使該寄生晶體管開通的條件，則寄生電路會極大影響正常電路的動作，使原MOS電路承受大于正常狀態(tài)很大的電流，可使電路迅速燒毀。閂鎖狀態(tài)下器件在電源與地之間形成短路，造成大電流、過電應(yīng)力和器件損壞通信接口集成電路的閂鎖失效(例子3-2)(孔學(xué)東,恩云飛主編的電)現(xiàn)象：信號通訊異常

熱載流子效應(yīng)(HotCarrierInjection

柵極電壓Vg小于漏極電壓Vd時，柵極絕緣膜下的溝道被夾斷，漏極附近電場增高；源極流經(jīng)此區(qū)的電子成為熱電子，碰撞增多---漏極雪崩熱載流子；注入柵極二氧化硅膜中，使其產(chǎn)生陷阱和界面能級，閾值電壓增加，氧化層電荷增加或波動不穩(wěn)，器件性能退化與時間相關(guān)的介質(zhì)擊穿(TimeDependentDielectricBreakdron)擊穿模型：I/E(空穴擊穿)，E(熱化學(xué)擊穿)I/E模型：電子穿越氧化膜產(chǎn)生電子陷阱和空穴陷阱+電子空穴對空穴隧穿回氧化層，形成電流空穴易被陷阱俘獲在氧化層中產(chǎn)生電場缺陷處局部電流不斷增加，形成正反饋陷阱互相重疊并連成一個導(dǎo)電通道時，氧化層被擊穿。E模型：熱動力學(xué)過程，處于熱應(yīng)力和外加電場下的偶極子相互作用破壞了Si-O鍵而產(chǎn)生擊穿。3.電化學(xué)失效金屬遷移----從鍵合焊盤處開始的金屬枝晶生長，是一金屬離子從陽極區(qū)向陰極區(qū)遷移的電解過程。現(xiàn)象：橋連區(qū)的泄漏電流增加，甚至短路遷移離子：Ag,Pb,Sn,Au,Cu預(yù)防銀遷移的方法：使用銀合金；在布線布局設(shè)計時，避免細間距相鄰導(dǎo)體間的電流電位差過高；設(shè)置表面保護層；清洗助焊劑殘留物腐蝕出現(xiàn)條件：封裝內(nèi)存在潮氣和離子沾污物本質(zhì)：電化學(xué)反應(yīng)

例子3-3混合集成電路的電化學(xué)腐蝕(孔、恩的電)

金屬間化合物優(yōu)點：提高結(jié)合力缺點：過量的金屬間化合物會使局部脆化附錄資料：不需要的可以自行刪除日常設(shè)備點檢與潤滑點檢的定義：為了維持生產(chǎn)設(shè)備原有的機能、確保設(shè)備和生產(chǎn)的順利進行，滿足客戶的要求，按照設(shè)備的特性，通過人的“五感”和簡單的工具、儀器，對設(shè)備的規(guī)定部位（點），按照預(yù)先設(shè)定的技術(shù)標準和觀察周期，對該點進行精心的、逐點的周密檢查，查找有無異狀的隱患和劣化，使設(shè)備的隱患和劣化能夠得到“早期發(fā)現(xiàn)、早期預(yù)防、早期修復(fù)的效果；2.點檢與傳統(tǒng)設(shè)備檢查的區(qū)別（1）點檢管理的特點設(shè)備點檢，完全改變了設(shè)備檢查的業(yè)務(wù)機構(gòu)，改變了設(shè)備傳統(tǒng)性檢查的業(yè)務(wù)層次和業(yè)務(wù)流程，創(chuàng)造了基礎(chǔ)管理的新形勢，點檢管理與傳統(tǒng)的設(shè)備檢查形式的不同之處做如下所述：1）體現(xiàn)了設(shè)備管理思想的更新，現(xiàn)代化的技術(shù)裝備擔(dān)負著社會大生產(chǎn)的重要使命，生產(chǎn)的產(chǎn)量、質(zhì)量和經(jīng)濟效益將完全借助與生產(chǎn)設(shè)備來實現(xiàn)，往往一個小的故障，將會導(dǎo)致自動化設(shè)備的全線停產(chǎn)，其損失之大不可估計；因此，實行設(shè)備點檢的主要目的，其實就是實現(xiàn)針對性維修；2）達到以管為主，全員參加管理的目的。3）實現(xiàn)了維修的最佳化目標；（通過點檢，將設(shè)備故障消滅在萌芽狀態(tài)）4）成為了標準化的設(shè)備基礎(chǔ)管理作業(yè)方法；（2）傳統(tǒng)設(shè)備檢查的幾種形式1）事后檢查；設(shè)備在發(fā)生突發(fā)性故障以后，為恢復(fù)其故障部位的工作性能，以決定合理的修復(fù)方案和確定具體的內(nèi)容進行的對應(yīng)性檢查；2）巡回檢查；按照預(yù)先設(shè)定的檢查部位和主要內(nèi)容實行粗劣的巡視工作；3）計劃檢查；根據(jù)預(yù)先設(shè)定的周期和檢查項目對設(shè)備進行檢查或?qū)Σ考M行解體檢查；4）特殊性檢查；零部件的品質(zhì)、精度等5）法定檢查；壓力容器、起重設(shè)備等（3）點檢與傳統(tǒng)設(shè)備檢查的區(qū)別；設(shè)備點檢完全區(qū)別于傳統(tǒng)的設(shè)備檢查，他使隱患和異常都能在故障發(fā)生前得到前當?shù)锰幚?，做到既?jīng)濟，又正確，因此，設(shè)備點檢，其實就是預(yù)防性的主動的設(shè)備檢查；另外“點檢”是一種管理制度，而傳統(tǒng)的設(shè)備檢查僅是一種進行檢查的方法。（4）如何點檢？按照全員設(shè)備管理的要求，操作人員必須參與設(shè)備的維修活動，其活動范圍及內(nèi)容，與管轄本區(qū)域設(shè)備的點檢員以協(xié)議的形式確定。因此，生產(chǎn)方在進行生產(chǎn)操作、檢查的的同時，要進行設(shè)備的狀態(tài)檢查。日常點檢內(nèi)容：利用“五感”點檢：依靠人的五官，對運轉(zhuǎn)中的設(shè)備進行良否。通常對溫度、壓力、流量、振動、異音、動作狀態(tài)、松動、龜裂、異常及電器線路的損壞、熔絲熔斷、異味、泄漏、腐蝕等內(nèi)容的點檢。邊檢查邊清掃：清除在生產(chǎn)運行過程中產(chǎn)生的廢料（液），防止被掩埋了的設(shè)備性能劣化或損壞，此項工作應(yīng)在生產(chǎn)巡檢時及時進行，按程序及時處理劣化的設(shè)備，防止故障的擴大。做好緊固與調(diào)整：在五官點檢過程中，如已發(fā)現(xiàn)松動和變化時，在確認可以實施恢復(fù)和力所能及的前提下，應(yīng)該給予緊固和調(diào)整，并記錄在案，及時的報告和傳遞信息。日常點檢的方法和技巧點檢表的確認：按設(shè)定的日常點檢表逐項檢查，逐項確認；點檢結(jié)果的處理：點檢結(jié)果，按照固定的符號記入日常點檢表內(nèi)，在交接班時交代清楚并向上級匯報，對發(fā)現(xiàn)的異常情況處理完畢，則要把處理過程、結(jié)果立即記入作業(yè)日志內(nèi)；對正在觀察、未處理結(jié)束的項目，必須連續(xù)記入符號，不能在未說明情況下自行取消記號，每班的點檢結(jié)果，生產(chǎn)班組長、工段長都要認真確認、簽字；不同要求的三種點檢：根據(jù)不同崗位，不同要求，一般每個作業(yè)班，都要進行三種點檢：靜態(tài)點檢：停機點檢，要求要做到逐項逐點進行；動態(tài)點檢：不停機點檢，要求要做到逐項逐點進行；重點點檢：隨機進行，重點部位認真檢查；2）良否點檢在使用“五官點檢法”，需要判別檢查點良否的知識如下：振動：人體對振動的感覺極限，一般在適當?shù)霓D(zhuǎn)速下，振幅在5微米時，就不容易感覺到。當一臺19～90千瓦、3000r/min交流電機，安裝在牢固的基礎(chǔ)上，其單振幅允許在50微米以下。用手判別振動良否，可以用一只鉛筆，筆尖放在振動體上，如果垂直放置的鉛筆，發(fā)生激烈的上下跳動，而且向前移動時，就有超值的可能，需要用專用的“振動儀”測定振動值。溫度：使用溫度計在設(shè)備點檢過程中，往往采用手指觸摸發(fā)熱體來判別溫升值是否屬于正常，用手指觸摸判別溫度的技巧是：用食指和中指放在被測的物體上，根據(jù)手指按放以后，人能忍受時間的長短，來大致判斷物體的溫度：具體參數(shù)如下，具體運用過程要考慮到人的皮膚質(zhì)感，季節(jié)的不同：設(shè)備溫度(攝氏度）觸摸忍受時間（秒）設(shè)備溫度(攝氏度）觸摸忍受時間（秒）5060以上70253約30751.55510～12801605850.5653松動知識：用目視觀看螺栓是否松動，一般在緊固螺桿上總沾有油灰，在存在松動螺栓上的油灰、形態(tài)有別于松動的螺栓，往往會出現(xiàn)新色、脫落的痕跡；用手錘敲擊被檢查的螺栓，若敲擊聲出現(xiàn)低沉沙啞的情況，同時觀察螺栓周圍所積油灰出現(xiàn)崩落的現(xiàn)象，基本上能判斷出是否存在松動現(xiàn)象，對存在懷疑的螺栓用扳手緊固確認；最好在緊固螺栓時，用有色筆在螺栓和固定座之間劃一道直線，再次點檢時，若發(fā)現(xiàn)直線對不準，說明螺栓已經(jīng)松動；聲音知識：對傳動設(shè)備是否存在缺油、斷油、精度損失，可以用側(cè)聽聲音的辦法來判別其狀態(tài)，常用的是“聽音棒”，判斷的正確取決于各人的經(jīng)驗。軸承：軸承的正常轉(zhuǎn)動聲音是均勻、圓滑的轉(zhuǎn)動聲，若出現(xiàn)周期性的金屬碰撞聲，則預(yù)示著軸承的滾道、保持架有異常，當出現(xiàn)高頻聲，則往往是少油、缺油現(xiàn)象，結(jié)合溫升進行綜合判斷。對電動機的磁聲判別：正常的磁聲是連續(xù)的、輕微的、均勻的沙沙響聲，有異物進入定轉(zhuǎn)子的間隙或偏心時，這種連續(xù)聲被破壞，不在出現(xiàn)；聽聲時，一定要集中思想，腦子要專心捕捉特定頻率的聲音，這樣當其它頻率的聲音進入耳中時才會被濾掉。味覺知識：通常不太常用“嘗”，因要進入口中需要特別謹慎，除非在特殊的場合，如電化學(xué)，急需鑒別酸性、堿性時，在確保對身體無害時，方可實施。引起設(shè)備故障原因分析1）造成設(shè)備性能劣化的原因；a:使用原因：設(shè)備的負荷運行造成劣化，但運行條件、操作方法的不同造成劣化程度不同；b：自然原因：潮濕生銹，天長日久的自然磨損、變形，時效老化等；C：災(zāi)害原因：天災(zāi)、狂風(fēng)暴雨、地震等等；上述的原因引起設(shè)備的結(jié)果就出現(xiàn)了由于磨損、腐蝕等的減損，由于沖擊、疲勞等的破壞，由于原料黏附灰塵引起的污損等現(xiàn)象，直至設(shè)備原有性能不能充分發(fā)揮，這就叫做設(shè)備性能劣化；2）機能劣化：a:轉(zhuǎn)動和滑動部分出現(xiàn)機能劣化：磨損：由于運動摩擦引起接觸面的磨損；如齒輪、軸承、軸套等；損壞：由于磨損或受力作用（彎曲、剪切）而斷裂等；旋轉(zhuǎn)不好：轉(zhuǎn)動不靈活、滑動面粗糙等造成運動不靈活；操作不良：操作不正確或不按操作規(guī)程操作設(shè)備，或誤操作而造成故障；異聲：由于潤滑不良或異物落入造成轉(zhuǎn)動部位發(fā)生異聲；振動：轉(zhuǎn)動或滑動部位各種異常振動；漏油：潤滑部位出現(xiàn)泄漏；b:固定部分機能劣化現(xiàn)象和原因：松弛脫落：連接部位螺釘出現(xiàn)松弛和脫落；變形斷開：結(jié)構(gòu)或構(gòu)件變形或切斷、折損等現(xiàn)象；腐蝕、龜裂、受腐部位或構(gòu)件龜裂；c:電器部分劣化現(xiàn)象和原因：電器燒損、絕緣不良等；線路接點的短路或斷路；電器整流不良；電參數(shù)的漂移；設(shè)備出現(xiàn)劣化，原因較多，除了上述的原因，還可能有工藝熔損、機件或其它部分出現(xiàn)剝落或破斷造成設(shè)備故障；（3）上述原因從設(shè)備本體質(zhì)量、維修質(zhì)量、點檢質(zhì)量和操作保養(yǎng)等方面來分析，這些原因又可歸納為以下四個方面：1）設(shè)備本身原因：設(shè)備本體素質(zhì)不高，設(shè)計不合理，機件強度不夠，形狀結(jié)構(gòu)不良，使用材料不當，零部件性能低下，集體剛性欠佳造成斷裂、疲勞和蠕變等現(xiàn)象。2）日常維護的原因：點檢、維護質(zhì)量不高，污垢異物混入機內(nèi)，設(shè)備潤滑不良。緊固不良、絕緣接觸不良，造成機件性能低下，機件配合松動，短路、得不到及時改善和調(diào)整等現(xiàn)象。3）修理質(zhì)量的原因：維修質(zhì)量低劣，修后設(shè)備安裝不好，零配件配合不良，裝配粗糙，組裝精度不高，選擇配合不合要求，造成偏心，中心失常、振動、平衡不佳等現(xiàn)象；4）操作及其它原因：操作水平低、操作保養(yǎng)質(zhì)量差，超負荷運轉(zhuǎn)，工藝調(diào)整不良，誤操作，拼設(shè)備、不清掃、溫濕控制差，欠保養(yǎng)，風(fēng)沙、浸水、地震，造成設(shè)備運轉(zhuǎn)失常等現(xiàn)象。設(shè)備潤滑常識一、使用潤滑油過程中油品變黑是否正常?答：油品發(fā)黑原因有三：

(一)潤滑油變質(zhì)，(二)零件磨損，(三)雜質(zhì)進入油箱，如果使用過程中無雜質(zhì)進入油箱，則可以認為潤滑油本身質(zhì)量有問題，應(yīng)更換油的品牌，潤滑油使用一段時間后顏色略有加深屬正常，但不應(yīng)變得很黑。二、舊設(shè)備可以用差一些的油?

答：一般情況下，設(shè)備的磨損件是經(jīng)過表面處理的，因此零件表面硬度較高，不易磨損，但零件內(nèi)部較軟，舊設(shè)備有的零件表面已有磨損，因此用較差潤滑油更會加速零件的磨損。我們建議不要用較低級的或較差的潤滑油。三、為什么其他油品不能代替齒輪油?

答：我們發(fā)現(xiàn)個別用戶有用抗磨液壓油、導(dǎo)軌油、汽輪機油（透平油）或普通機械油代替齒輪油的現(xiàn)象。這都是不正確的，因為整個機器的動力都是通過齒輪變速傳動的，齒輪齒面上的嚙合線承受了巨大的負荷，要求潤滑油有極壓性，而其他油品不含極壓添加劑，起不到保護齒面的作用，因此會導(dǎo)致齒面產(chǎn)生點蝕、斷裂等現(xiàn)象。四、只要粘度相同，不同類型齒輪油可以相互替代?

答：不可以！同是齒輪油級別有高低，重負荷齒輪油可以替代輕負荷齒輪油，相反則不可以，目前國產(chǎn)普通齒輪油多屬中負荷或以下齒輪油，不適合高速高負荷設(shè)備使用。五、油品發(fā)白是怎祥造成的?

答：一般情況下油品發(fā)白是由于油箱進水后造成的，是一乳化現(xiàn)象，應(yīng)避免水進入潤滑油箱體或避免雨水進入已開封的油桶中，具體操作中，設(shè)備應(yīng)檢查油封是否損壞，換油時檢查箱體內(nèi)是否有水，油桶存放在避雨的地方。六、使用潤滑油不重要，只要設(shè)備有油就行，市場上隨便買一些就可以用?

答：絕對要重視潤滑油的使用，潤滑油好比人體的血液，不良的潤滑油將損壞您昂貴的設(shè)備，不同的潤滑油含有不同的添如劑以滿足設(shè)備不同部位的需要，例：抗氧劑防止油品氧化，防繡劑防止設(shè)備生銹，抗磨劑防止設(shè)備磨損等。七、使用期滿后更換下來的潤滑油是否可以再用?

答：有的用戶將換下的油經(jīng)沉淀處理后重復(fù)使用，這是不妥當?shù)?，油品?jīng)使用后各項性能都會降低，使用換下的油品相當于使用不合格產(chǎn)品。八、換油期到時可否采用放去一部分潤滑油再加入部分潤滑油的方式?

答：應(yīng)該盡量將油放盡，用過的潤滑油和