超純水系統(tǒng)工藝流程圖

C自來(lái)進(jìn)水

取樣

保安濾器不合排放PPc

P原水

原水

機(jī)械濾器活炭過(guò)器

軟水

鹽箱

高壓

反滲裝置F

PR用水點(diǎn)過(guò)濾器

紫外殺菌

氮?dú)?/p>

紫外殺菌

RF不合排放Fk

純水口調(diào)壓P

FP

FP

P

過(guò)濾FI

化學(xué)量泵循環(huán)C

風(fēng)機(jī)濃水流或排

Fk

極濃水

純水拋光床

超純泵

氮封純水

極水放二級(jí)DI膜

過(guò)濾器

純水

脫氣箱符號(hào)明:

不合排放P

Pc

FRC

FK電磁

球閥

止回

壓力

壓力制器

流量

電阻表

電導(dǎo)表

流變制開圖3常的一級(jí)RO+級(jí)EDI+MB電I超純水統(tǒng)工藝配置圖適合于水硬度高，機(jī)物含量高，導(dǎo)率高（小于1000μs/cm求產(chǎn)水電阻～18.2MΩ·cm的超純水系統(tǒng)自來(lái)水進(jìn)水

P取樣

F保安過(guò)濾器不合格排放PPc

P原水箱

原水泵

機(jī)械過(guò)濾器活性炭過(guò)器

軟水器

鹽箱

高壓泵

反滲透裝置

P用水點(diǎn)0.1um過(guò)濾器

紫外線殺菌燈

氮?dú)馄?/p>

紫外線殺菌燈

F不合格排放Fk

純水出口調(diào)壓閥P

P

器FI

計(jì)量泵泵

風(fēng)機(jī)濃水回流或排放

Fk

極水濃水

純水超純水泵

氮封超純水

極水排放二級(jí)EDI膜堆

0.2um過(guò)濾器

純水泵

脫氣水箱符號(hào)說(shuō)明:

不合格排放P

Pc

FK電磁閥

球閥

止回閥

壓力表

壓力控制器

流量計(jì)

電阻率表

電導(dǎo)率表

流變控制開圖4常用一級(jí)RO+二EDI電子Ⅱ超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于水硬度高，機(jī)物含量高，導(dǎo)率（小于1000μs/cm求產(chǎn)水電阻率～18MΩ·cm的超純水系統(tǒng)C

F

C進(jìn)

F排P排放快速過(guò)濾器

P

P

置

裝F

P

放R用水點(diǎn)

RF排

口P

FP

FP

P

化學(xué)計(jì)量過(guò)濾器循環(huán)泵

0.1um

Fk

C流

Fk

水水

床

泵

純

放E

0.2um

明:

排P

Pc

FRC

FK

制

表

表

制圖5常用的一級(jí)RO+二EDI電子MB電子I級(jí)純水系統(tǒng)工藝配圖適合于水硬度低，機(jī)物含量低，導(dǎo)率高（小于1000μs/cm求產(chǎn)水電阻～18.2MΩ·cm的超純水系統(tǒng)C

F

C自水進(jìn)水

P

PFF不格排放P排放快速過(guò)濾器

P

Pc

P原箱

原泵

超裝置

高泵

反透裝置F

P

反排放水R用水點(diǎn)

紫線殺燈

紫線殺燈

RF不格排放

純出口調(diào)閥P

FP

FP

P

化學(xué)計(jì)量泵過(guò)濾器循環(huán)泵

風(fēng)過(guò)濾器

氮瓶

Fk

C濃回流或放

Fk

極濃

純超水泵

氮超純水

極排放二E膜

過(guò)濾器

純泵

純箱符說(shuō)明:

不格排放P

Pc

FRC

FK電閥

球

止閥

壓表

壓控制器

流計(jì)

電率表

電率表

流控制開圖6常的RO+二EDI子級(jí)超純水系統(tǒng)藝配置圖適合于水硬度低，機(jī)物含量低，導(dǎo)率高（小于1000產(chǎn)阻15～18MΩ·cm的超系統(tǒng)圖7是用的一級(jí)全系統(tǒng)組成圖自來(lái)水進(jìn)水

P

風(fēng)機(jī)取樣

F保安過(guò)濾器

Pc

不合格排放

P

P

PH調(diào)節(jié)P

P二級(jí)高壓泵原水箱

原水泵

機(jī)械過(guò)濾器活性炭過(guò)濾器

阻垢劑加藥

一級(jí)高壓泵級(jí)反滲透裝置

脫氣水箱

純水泵R

P

學(xué)計(jì)量泵

用水點(diǎn)0.1um濾器

氮?dú)馄?/p>

紫外線殺菌不合格排放

P

F極水

FP

FP濃水

濾器FI

環(huán)泵

風(fēng)機(jī)

不合格排放

FP

CP

純水

拋光混床

TOC解器

超純水泵

氮封超純水

一級(jí)EDI堆

0.2um濾器

純水泵

脫氣水箱

二級(jí)反滲透置符號(hào)說(shuō)明:P

Pc

FRC

不合格排放電磁閥

球閥

止回閥

壓力表

壓力控制器

流量計(jì)

電阻率表

電導(dǎo)率表圖7常用的產(chǎn)水水穩(wěn)定的二級(jí)RO+級(jí)EDI+MB電Ⅰ級(jí)超純水統(tǒng)組成圖適合于水硬度低，機(jī)物含量高，導(dǎo)率<1000μs/cm,TDS<時(shí)，要產(chǎn)水電阻率18～18.2MΩ·cm純水系統(tǒng)自來(lái)水進(jìn)水

P

風(fēng)機(jī)取樣

保安過(guò)濾器

Pc

不合格排放

PcP

P

PH調(diào)節(jié)P

P二級(jí)高壓泵原水箱

原水泵

機(jī)械過(guò)濾器

活性炭過(guò)濾器

阻垢劑加藥

一級(jí)高壓泵

一級(jí)反滲透裝置

脫氣水箱

純水泵R用水點(diǎn)0.1um過(guò)濾器

P氮?dú)馄?/p>

紫外線殺菌燈不合格排放

P

極水

PPc

P濃水

化計(jì)泵過(guò)器FI

風(fēng)機(jī)

不合格排放

bP

CP

純水

TOC分解器

超純水泵

氮封超純水箱

一級(jí)EDI膜堆

0.2um過(guò)濾器

純水泵

脫氣水箱

二級(jí)反滲透裝置符號(hào)說(shuō)明:P

Pc

FRC

不合格排放電磁閥

球閥

止回閥

壓力表

壓力控制器

流量計(jì)

電阻率表