激光多普勒干涉儀介紹

激光多普勒干涉儀介紹第1頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一美國光動(dòng)公司

OPTODYNE，INC.2第2頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一美國光動(dòng)公司總裁王正平教授3第3頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一激光干涉儀測量原理比較激光多普勒干涉儀其它激光于涉儀測量基準(zhǔn)激光波長激光波長測量原理多普勒效應(yīng)分光干涉測量方法測量多普勒頻率偏移(測量相位差)測量干涉條紋數(shù)雙頻(FM)LDDMHP技術(shù)發(fā)明年代1985年單頻激光干涉儀1960年雙頻激光干涉儀1975年4第4頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一邁克遜干涉儀1860年MICHELSON干涉儀白光參考鏡反射鏡分光鏡探測器產(chǎn)生干涉測量光束參考光束5第5頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一單頻激光干涉儀1960年單頻激光干涉儀激光角錐反射鏡角錐反射鏡分光鏡探測器測量光束參考光束產(chǎn)生干涉6第6頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一線偏振光線偏振光雙頻激光干涉儀1970年雙頻激光干涉儀激光角錐反射鏡角錐反射鏡偏振分光鏡探測器測量光束參考光束產(chǎn)生干涉7第7頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一激光多普勒干涉儀1985年LDDM電光調(diào)制、外差式激光角錐反射鏡探測器光電調(diào)制8第8頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一位移測量安裝比較9第9頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一對光方便10第10頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一MCV-500主要技術(shù)指標(biāo)序號技術(shù)指標(biāo)名稱指標(biāo)1激光穩(wěn)定性0.1ppm(特殊訂貨可小于0.05ppm)2分辨率0.01微米3測量精度(不確定度)1ppm(特殊訂貨可小于0.5ppm)4測量范圍15米(特殊訂貨可加長到100米)5光靶最大移動(dòng)速度3.6米/秒6電源電壓90～265VAC7電源頻率50～60赫8操作環(huán)境溫度5～38℃9高度0～3000米10相對濕度0～95%11第11頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一MCV-500選購附件的測量功能振動(dòng)測量角偏測量滾珠絲杠動(dòng)態(tài)測量圓形軌跡主軸精度分軸步進(jìn)對角線位移測量12第12頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一直線位移測量靶標(biāo)反射鏡MCV-500反射鏡移動(dòng)方向13第13頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一非接觸主軸精度測量MCV-500主軸聚光鏡MCV-500+DI-50014第14頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一陀羅徑向跳動(dòng)曲線采樣：2000點(diǎn)/秒15第15頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一低頻振動(dòng)測量適用于最高為100Hz的低頻振動(dòng)測量16第16頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一中頻振動(dòng)測量適用于最高為100KHz的中頻振動(dòng)測量17第17頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一高頻振動(dòng)測量適用于極高頻率的振動(dòng)測量18第18頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一MCV-5000系列激光干涉儀19第19頁，共21頁，2023年，2月20日，星期一X